【技術實現步驟摘要】
本申請涉及半導體設備領域，尤其是涉及一種芯片開封設備。
技術介紹
1、芯片開封的主要目的是進行深入的技術分析和研究，通過去除芯片外部的封裝材料，可以直接觀察和分析芯片內部的電路結構、制造工藝以及材料特性，從而進行失效分析、逆向工程、可靠性評估或安全性檢查。這一操作對于提升芯片設計水平、優化生產工藝、確保產品質量和安全性具有重要意義。
2、目前，在芯片開封時，使用激光在塑封器件的表面加工出一個大于芯片大小的凹槽，使用滴管將化學腐蝕液滴在凹槽中?；瘜W腐蝕液腐蝕塑封器件表面后，將塑封器件放入含丙酮溶液中，在超聲波機中清洗2-5分鐘，然后取出塑封器件再次滴入化學腐蝕液。重復上述步驟，直到芯片完全暴露出來，即可完成芯片開封。
3、由于芯片與塑封器件為膠粘固定，當芯片厚度極小時，化學腐蝕液在腐蝕塑封器件的過程中，芯片內會產生應力，導致腐蝕過程中芯片受損，因此需要每次滴入極少量的化學腐蝕液并減緩塑封器件的腐蝕速度，然而滴管滴入的化學腐蝕液劑量難以精準控制，因此極易造成芯片受損。
技術實現思路
1、為了減少芯片開封過程中芯片受損的情況，本申請提供一種芯片開封設備。
2、本申請提供的一種芯片開封設備采用如下的技術方案：
3、一種芯片開封設備，包括工作臺，所述工作臺上設置有立柱，所述立柱上轉動套設有轉環，所述轉環外側壁的相對兩側設置有激光發射機構和滴液機構，所述工作臺上設置有驅動機構，所述驅動機構的驅動端上設置有用于夾持固定塑封器件的夾持工裝，所述激光發
4、通過采用上述技術方案，塑封器件固定在夾持工裝內，將夾持工裝固定在驅動機構上，轉動轉環使得激光發射機構移動至夾持工裝上方，激光發射機構在塑封器件的上表面激光燒蝕出凹槽，再轉動轉環使得滴液機構移動至夾持工裝上方，滴液機構少量多次地將定量的化學腐蝕液滴在凹槽內，再次轉動轉環使得激光發射機構和滴液機構均不位于夾持工裝上方，驅動機構帶動夾持工裝移動進入清洗池內，從而對塑封器件進行清洗，多次重復上述步驟，即可完成芯片開封。如此設置，使用滴液機構少量多次地將定量的化學腐蝕液滴在凹槽內，使得塑封器件的腐蝕速度降低，從而減少了芯片受損的情況。
5、優選的，所述滴液機構包括滴液盒、拉桿、第一傳動部、第二傳動部、第一活塞、供液盤和滴管，所述滴液盒內形成有儲液腔和壓力腔，所述供液盤轉動設置在滴液盒內，部分供液盤位于儲液腔內，另一部分供液盤位于壓力腔內，所述供液盤內沿自身周向等間距開設有多個供液孔，所述拉桿滑動設置在滴液盒內，所述第一傳動部件設置在滴液盒內并傳動連接拉桿和供液盤，所述滴液盒位于壓力腔的底壁上開設有蓄液槽，當拉桿朝滴液盒外方向移動時，拉桿通過第一傳動部件帶動供液盤轉動，供液盤的供液孔移動經過蓄液槽時，供液孔內的腐蝕液流入蓄液槽內；所述滴液盒內開設有與壓力腔連通的第一滑孔，所述第一活塞滑動設置在第一滑孔內，所述第二傳動部件設置在滴液盒內并傳動連接拉桿和供液盤，所述滴管設置在滴液盒內，所述滴管的頂端連通蓄液槽，底端穿出滴液盒，當拉桿朝滴液盒內方向移動時，拉桿通過第二傳動部件帶動第一活塞朝靠近壓力腔方向移動，壓力腔內氣壓升高并將蓄液槽內的腐蝕液壓入滴管內滴落。
6、通過采用上述技術方案，朝滴液盒外部方向拉動拉桿，拉桿通過第一傳動部件帶動供液盤轉動，供液盤帶動供液孔轉動，供液孔從儲液腔移動至壓力腔內，且供液孔內的腐蝕液流入蓄液槽內，通過控制拉桿的拉動距離能夠控制供液盤的轉動角度，進而控制蓄液槽內腐蝕液的劑量，使得每次滴入腐蝕液的劑量更加精準；朝滴液盒內部方向推動拉桿，拉桿通過第二傳動部件帶動第一活塞滑動，第一活塞移動并使壓力腔內的氣壓升高，壓力腔作用于蓄液槽，使得蓄液槽內的腐蝕液流入滴管內，腐蝕液再從滴管滴落至塑封器件的凹槽內。
7、優選的，所述第一傳動部件包括第一齒輪、同步軸和第一驅動齒條，所述第一驅動齒條設置在拉桿的側壁上，所述第一齒輪轉動設置在滴液盒內，所述同步軸的兩端分別固定連接第一齒輪和供液盤，當拉桿朝滴液盒外部方向移動時，第一驅動齒條與第一齒輪嚙合，當拉桿朝滴液盒內部方向移動時，第一驅動齒條與第一齒輪不嚙合。
8、通過采用上述技術方案，當拉桿朝滴液盒外部方向移動時，第一驅動齒條與第一齒輪嚙合并帶動第一齒輪轉動，第一齒輪再通過同步軸帶動供液盤轉動，當拉桿朝滴液盒內部方向移動時，第一驅動齒條與第一齒輪不嚙合，此時，第一驅動齒條移動不會帶動第一齒輪轉動。
9、優選的，所述第一驅動齒條包括齒條本體、多個齒體和彈性復位件，所述齒條本體固定設置在拉桿的側壁上，多個所述齒體沿齒條本體的長度方向等間距轉動設置在齒條本體內，多個所述彈性復位件設置在齒條本體內，所述彈性復位件連接齒條本體和齒體并用于帶動齒體轉動復位，當拉桿朝滴液盒外部方向移動時，齒體與第一齒輪嚙合，當拉桿朝滴液盒內部方向移動時，齒體轉動不與第一齒輪嚙合。
10、通過采用上述技術方案，當拉桿朝滴液盒外部方向移動時，齒體與第一齒輪嚙合，從而能夠帶動供液盤轉動；當拉桿朝滴液盒內部方向移動時，第一齒輪推動齒體轉動，使得齒體不與第一齒輪嚙合；當齒體與第一齒輪分離后，彈性復位件帶動齒體轉動復位。
11、優選的，所述同步軸的一端穿過供液盤，所述同步軸穿過供液盤的端部固定設置有限位盤，所述限位盤的外側壁上沿自身周向等間距開設有多個限位槽，多個所述限位槽與多個供液孔對應，所述滴液盒內沿限位盤的直徑方向滑動設置有限位塊，所述滴液盒內設置有用于推動限位塊進入限位槽內的第一彈性件，且所述限位塊的端部呈弧形。
12、通過采用上述技術方案，當拉桿朝滴液盒外部方向移動并帶動供液盤轉動時，限位盤隨供液盤同步轉動，當供液盤的供液孔移動至蓄液槽正上方時，限位盤帶動限位槽移動至限位塊處，第一彈性件推動限位塊進入限位槽內，從而能夠對限位盤進行限位，進而對供液盤的轉動進行限位，使得供液盤每次轉動時，供液孔均能處于蓄液槽的正上方，限位塊的端部呈弧形便于限位塊從限位槽內滑出；當拉桿朝滴液盒內部方向移動時，限位塊通過限位槽對供液盤進行限位，使得供液盤不會發生轉動。
13、優選的，所述第二傳動部件包括第二齒輪、絲桿和第二驅動齒條，所述第二驅動齒條設置在拉桿遠離第一驅動齒條的側壁上，所述第二齒輪轉動設置在滴液盒內并與第二驅動齒條嚙合，所述絲桿沿第一滑孔的軸線方向轉動設置在滴液盒的第一滑孔內，所述絲桿與第二齒輪固定連接，且所述絲桿螺紋穿設第一活塞。
14、通過采用上述技術方案，當拉桿朝滴液盒外部方向移動時，第二驅動齒條帶動第二齒輪轉動，第二齒輪帶動絲桿轉動，絲桿帶動第一活塞朝遠離壓力腔方向移動；當拉桿朝滴液盒內部方向移動時，第一活塞朝靠近壓力腔方向移動，從而能夠將蓄液槽內的腐蝕液壓入滴管內。
15、優選的，所述滴液盒上設置有與壓力腔連接的單向閥，外部空氣本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種芯片開封設備，其特征在于：包括工作臺(1)，所述工作臺(1)上設置有立柱(2)，所述立柱(2)上轉動套設有轉環(3)，所述轉環(3)外側壁的相對兩側設置有激光發射機構(4)和滴液機構(5)，所述工作臺(1)上設置有驅動機構(6)，所述驅動機構(6)的驅動端上設置有用于夾持固定塑封器件的夾持工裝(7)，所述激光發射機構(4)對塑封器件進行激光燒蝕，所述滴液機構(5)對塑封器件進行定量滴液，所述工作臺(1)上位于驅動機構(6)下方設置有清洗池(8)，所述驅動機構(6)帶動夾持工裝(7)移動進出清洗池(8)。
2.根據權利要求1所述的一種芯片開封設備，其特征在于：所述滴液機構(5)包括滴液盒(51)、拉桿(52)、第一傳動部(53)、第二傳動部(54)、第一活塞(55)、供液盤(56)和滴管(57)，所述滴液盒(51)內形成有儲液腔(9)和壓力腔(10)，所述供液盤(56)轉動設置在滴液盒(51)內，部分供液盤(56)位于儲液腔(9)內，另一部分供液盤(56)位于壓力腔(10)內，所述供液盤(56)內沿自身周向等間距開設有多個供液孔(11)，所述拉桿(52)滑動設置
3.根據權利要求2所述的一種芯片開封設備，其特征在于：所述第一傳動部(53)件包括第一齒輪(531)、同步軸(532)和第一驅動齒條(533)，所述第一驅動齒條(533)設置在拉桿(52)的側壁上，所述第一齒輪(531)轉動設置在滴液盒(51)內，所述同步軸(532)的兩端分別固定連接第一齒輪(531)和供液盤(56)，當拉桿(52)朝滴液盒(51)外部方向移動時，第一驅動齒條(533)與第一齒輪(531)嚙合，當拉桿(52)朝滴液盒(51)內部方向移動時，第一驅動齒條(533)與第一齒輪(531)不嚙合。
4.根據權利要求3所述的一種芯片開封設備，其特征在于：所述第一驅動齒條(533)包括齒條本體(5331)、多個齒體(5332)和彈性復位件(5333)，所述齒條本體(5331)固定設置在拉桿(52)的側壁上，多個所述齒體(5332)沿齒條本體(5331)的長度方向等間距轉動設置在齒條本體(5331)內，多個所述彈性復位件(5333)設置在齒條本體(5331)內，所述彈性復位件(5333)連接齒條本體(5331)和齒體(5332)并用于帶動齒體(5332)轉動復位，當拉桿(52)朝滴液盒(51)外部方向移動時，齒體(5332)與第一齒輪(531)嚙合，當拉桿(52)朝滴液盒(51)內部方向移動時，齒體(5332)轉動不與第一齒輪(531)嚙合。
5.根據權利要求4所述的一種芯片開封設備，其特征在于：所述同步軸(532)的一端穿過供液盤(56)，所述同步軸(532)穿過供液盤(56)的端部固定設置有限位盤(14)，所述限位盤(14)的外側壁上沿自身周向等間距開設有多個限位槽(15)，多個所述限位槽(15)與多個供液孔(11)對應，所述滴液盒(51)內沿限位盤(14)的直徑方向滑動設置有限位塊(16)，所述滴液盒(51)內設置有用于推動限位塊(16)進入限位槽(15)內的第一彈性件(17)，且所述限位塊(16)的端部呈弧形。
6.根據權利要求3所述的一種芯片開封設備，其特征在于：所述第二傳動部(54)件包括第二齒輪(541)、絲桿(542)和第二驅動齒條(543)，所述第二驅動齒條(543)設置在拉桿(52)遠離第一驅動齒條(533)的側壁上，所述第二齒輪(541)轉動設置在滴液盒(51)內并與第二驅動齒條(543)嚙合，所述絲桿(542)沿第一滑孔(13)的軸線方向轉動設置在滴液盒(51)的第一滑孔(13)內，所述絲桿(5...
【技術特征摘要】
1.一種芯片開封設備，其特征在于：包括工作臺(1)，所述工作臺(1)上設置有立柱(2)，所述立柱(2)上轉動套設有轉環(3)，所述轉環(3)外側壁的相對兩側設置有激光發射機構(4)和滴液機構(5)，所述工作臺(1)上設置有驅動機構(6)，所述驅動機構(6)的驅動端上設置有用于夾持固定塑封器件的夾持工裝(7)，所述激光發射機構(4)對塑封器件進行激光燒蝕，所述滴液機構(5)對塑封器件進行定量滴液，所述工作臺(1)上位于驅動機構(6)下方設置有清洗池(8)，所述驅動機構(6)帶動夾持工裝(7)移動進出清洗池(8)。
2.根據權利要求1所述的一種芯片開封設備，其特征在于：所述滴液機構(5)包括滴液盒(51)、拉桿(52)、第一傳動部(53)、第二傳動部(54)、第一活塞(55)、供液盤(56)和滴管(57)，所述滴液盒(51)內形成有儲液腔(9)和壓力腔(10)，所述供液盤(56)轉動設置在滴液盒(51)內，部分供液盤(56)位于儲液腔(9)內，另一部分供液盤(56)位于壓力腔(10)內，所述供液盤(56)內沿自身周向等間距開設有多個供液孔(11)，所述拉桿(52)滑動設置在滴液盒(51)內，所述第一傳動部(53)件設置在滴液盒(51)內并傳動連接拉桿(52)和供液盤(56)，所述滴液盒(51)位于壓力腔(10)的底壁上開設有蓄液槽(12)，當拉桿(52)朝滴液盒(51)外方向移動時，拉桿(52)通過第一傳動部(53)件帶動供液盤(56)轉動，供液盤(56)的供液孔(11)移動經過蓄液槽(12)時，供液孔(11)內的腐蝕液流入蓄液槽(12)內；所述滴液盒(51)內開設有與壓力腔(10)連通的第一滑孔(13)，所述第一活塞(55)滑動設置在第一滑孔(13)內，所述第二傳動部(54)件設置在滴液盒(51)內并傳動連接拉桿(52)和供液盤(56)，所述滴管(57)設置在滴液盒(51)內，所述滴管(57)的頂端連通蓄液槽(12)，底端穿出滴液盒(51)，當拉桿(52)朝滴液盒(51)內方向移動時，拉桿(52)通過第二傳動部(54)件帶動第一活塞(55)朝靠近壓力腔(10)方向移動，壓力腔(10)內氣壓升高并將蓄液槽(12)內的腐蝕液壓入滴管(57)內滴落。
3.根據權利要求2所述的一種芯片開封設備，其特征在于：所述第一傳動部(53)件包括第一齒輪(531)、同步軸(532)和第一驅動齒條(533)，所述第一驅動齒條(533)設置在拉桿(52)的側壁上，所述第一齒輪(531)轉動設置在滴液盒(51)內，所述同步軸(532)的兩端分別固定連接第一齒輪(531)和供液盤(56)，當拉桿(52)朝滴液盒(51)外部方向移動時，第一驅動齒條(533)與第一齒輪(531)嚙合，當拉桿(52)朝滴液盒(51)內部方向移動時，第一驅動齒條(533)與第一齒輪(531)不嚙合。
4.根據權利要求3所述的一種芯片開封設備，其特征在于：所述第一驅動齒條(533)包括齒條本體(5331)、多個齒體(5332)和彈性復位件(5333)，所述齒條本體(5331)固定設置在拉桿(52)的側壁上，多個所述齒體(5332)沿齒條本體(5331)的長度方向等間距轉動設置在齒...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王楚帆，郝建雄，
申請(專利權)人：徠司儀器科技江蘇有限公司，
類型：發明
國別省市：
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