【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及空氣通風，尤其涉及一種微波測試探針臺及其使用方法。
技術介紹
1、微波測量是對微波信號和微波電路有關參數的測量技術。主要測量對象有：功率、頻率或波長、波形與頻譜、噪聲電平、駐波、衰減和相移等，采用微波測量、自動控制和計算機等技術構成的快速、精確、多參數、多功能的綜合測的量系統，主要有兩種結構類型：自動網絡分析儀和六端口網絡分析儀。
2、微波測試探針臺是通過使用探針臺和探針來測量晶圓或芯片的微波射頻參數，探針臺是半導體行業重要的檢測裝備之一，在微波測試過程中探針臺將晶圓或芯片固定在安裝在平臺上的卡盤上，通過機械手將探針臂和探針尖端放置到待測物上的正確位置。探針尖端必須適合要執行的測試程序，并通過顯微鏡進行精確對準。
3、現有的微波測試探針臺上放置芯片的平臺在和探針對齊過程中，平臺主要是以橫向和縱向調節為主，調節方位有一定的局限性且操作繁瑣，不方便芯片和探頭快速精準對準，從而影響測試效率和精準度。
4、因此，有必要提供一種微波測試探針臺及其使用方法解決上述技術問題。
技術實現思路
1、本專利技術提供一種微波測試探針臺及其使用方法，解決了微波測試探針臺上放置芯片平臺如果只是以橫向或者縱向協助芯片和探針對齊調節方位有一定的局限性不方便芯片和探針快速精準對準影響測試效率和精準度的問題。
2、為解決上述技術問題，本專利技術提供的微波測試探針臺包括：支撐架；
3、測試臺，所述測試臺固定連接在支撐架的頂部，所述測試臺的頂部靠
4、負壓組件，所述負壓組件安裝在探針臺的背面，所述負壓組件的進口安裝有吸氣管，所述探針臺的頂部靠近兩側的位置均通過調節組件安裝有探針，所述探針臺的頂部通過調節底座安裝有采集模塊，所述測試臺的頂部靠近另一側的位置安裝有網絡分析儀；
5、放置口在探針臺的正面和頂部均有開口，抽拉組件類似于抽屜抽出的結構，對接環位于活動槽的內部，活動盤和對接環內壁的底部就接觸，如果有需要活動盤的底部可以安裝有滾珠，減少摩擦力，吸氣管有一定的長度可以滿足活動框前后的移動，吸氣管是軟管，調節底座可以根據需求調整采集模塊的位置，調節組件可以根據需求讓探針相互靠近和相互遠離，調節組件內部可以是通過氣缸驅動，網絡分析儀和探針之間通過線路連接。
6、優選的，所述測試臺的頂部靠近另一側的位置安裝有安裝架，所述安裝架的正面安裝有顯示屏；
7、顯示屏可以將采集模塊采集的圖像顯示出來。
8、優選的，所述采集模塊的頂部通過連接頭安裝有連接線，所述探針臺的正面靠近兩側的位置均開設有插口，所述對接板的背面靠近兩側的位置均安裝有插栓；
9、連接線的另一端與顯示屏和網絡分析儀連接，插栓是卡入到插口的內部。
10、優選的，所述測試臺的頂部安裝有底座，所述底座的頂部安裝有調節桿；
11、調節桿可以控制六個第二氣缸工作。
12、優選的，所述支撐架內壁的一側安裝有控制箱，所述控制箱的一側轉動連接有箱門；
13、控制箱的內部安裝有電力開關和控制設備運行的控制器。
14、優選的，所述負壓組件包含防護殼，所述防護殼的兩側均開設有散熱孔，所述防護殼的內部安裝有氣泵，所述氣泵的出口安裝有排氣管。
15、優選的，所述探針臺的頂部靠近兩側的位置均固定連接有固定板，所述固定板的頂部均通過轉動扣轉動連接有轉動盤；
16、轉動扣可以讓轉動盤進行角度調節劑。
17、優選的，所述轉動盤的頂部安裝有第三氣缸，所述第三氣缸的伸縮端均安裝有一個帶有固定螺栓的安裝扣，所述安裝扣的另一側均安裝有探針；
18、安裝扣配合固定螺栓是用來固定探針的，固定螺栓的一端設置有軟環。
19、優選的，所述固定板的一側安裝有連接架，所述連接架的一側通過活動扣轉動連接有伸縮桿；
20、伸縮桿的伸縮端通過活動扣和轉動盤的外表面連接。
21、一種微波測試探針臺的使用方法，所述微波測試探針臺在使用時需要用到微波測試探針臺的使用方法，包括以下步驟：
22、s1：在探針臺的放置口中通過抽拉組件安裝一個活動框，之后將對接環通過第一氣缸安裝在活動框上的活動槽中，通過第一氣缸的伸縮可以帶動對接環上的結構根據需求進行上下位置的調節，而在對接環的外表面安裝有六個第二氣缸，之后將帶有活動盤的活動柱通過留個連接扣和留個第二氣缸伸縮端的固定環連接好，通過活動盤和對接環接觸，增加活動柱進行方位調節時的穩定性；
23、s2：而透氣孔的平臺是安裝在活動柱上，并且讓平臺通過對接頭和負壓組件的吸氣管連接好，通過負壓組件抽氣讓平臺上放置的芯片通過負壓的原理固定在平臺上，增加測試穩定性；
24、s3：在進行芯片微波測試時，先在網絡分析儀上設定測試參數和進行校準，之后通過調節組件調節兩個探針之間的間距，準備玩出抽出活動框將需要測試的芯片放到平臺上，同時啟動負壓組件讓平臺上形成負壓將芯片固定好，之后推動活動框復位，就可以配合采集模塊對帶有芯片的平臺進行方位調整，這個過程中對接環外表面的留個第二氣缸根據需求配合展開或者收縮，就可以帶動活動柱進行全方位調節，直至芯片和探針對齊即可，之后啟動第一氣缸推動對接環向上移動，就可以讓對齊后的芯片和探針接觸進行測試。
25、與相關技術相比較，本專利技術提供的微波測試探針臺及其使用方法具有如下
26、有益效果：
27、本專利技術提供一種微波測試探針臺，為了讓微波測試探針臺的平臺可以快速精準的調節方位，在探針臺的放置口中通過抽拉組件安裝一個活動框，之后將對接環通過第一氣缸安裝在活動框上的活動槽中，通過第一氣缸的伸縮可以帶動對接環上的結構根據需求進行上下位置的調節，而在對接環的外表面安裝有六個第二氣缸，之后將帶有活動盤的活動柱通過留個連接扣和留個第二氣缸伸縮端的固定環連接好，通過活動盤和對接環接觸，增加活動柱進行方位調節時的穩定性，之后將帶有透氣孔的平臺安裝在活動柱上，并且讓平臺通過對接頭和負壓組件的吸氣管連接好，通過負壓組件抽氣讓平臺上放置的芯片通過負壓的原理固定在平臺上，增加測試穩定性，通過該設計可以讓平臺在探針臺上可以進行多方位精準快速且穩定的的調節方位，可以更快更高效的讓探針和芯片對齊，從而有利于提高芯片測試的效率。
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1.一種微波測試探針臺，其特征在于，包括：支撐架；
2.根據權利要求1所述的微波測試探針臺，其特征在于，所述測試臺的頂部靠近另一側的位置安裝有安裝架，所述安裝架的正面安裝有顯示屏。
3.根據權利要求1所述的微波測試探針臺，其特征在于，所述采集模塊的頂部通過連接頭安裝有連接線，所述探針臺的正面靠近兩側的位置均開設有插口，所述對接板的背面靠近兩側的位置均安裝有插栓。
4.根據權利要求1所述的微波測試探針臺，其特征在于，所述測試臺的頂部安裝有底座，所述底座的頂部安裝有調節桿。
5.根據權利要求1所述的微波測試探針臺，其特征在于，所述支撐架內壁的一側安裝有控制箱，所述控制箱的一側轉動連接有箱門。
6.根據權利要求1所述的微波測試探針臺，其特征在于，所述負壓組件包含防護殼，所述防護殼的兩側均開設有散熱孔，所述防護殼的內部安裝有氣泵，所述氣泵的出口安裝有排氣管。
7.根據權利要求1所述的微波測試探針臺，其特征在于，所述探針臺的頂部靠近兩側的位置均固定連接有固定板，所述固定板的頂部均通過轉動扣轉動連接有轉動盤。
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