【技術實現步驟摘要】
本公開涉及分流單元和液處理系統。
技術介紹
1、公知有以下系統：在罐和循環線中使處理液循環，并且從循環線向處理單元供給所需量的處理液(參照專利文獻1和專利文獻2)。
2、現有技術文獻
3、專利文獻
4、專利文獻1：日本特開2022－3666號公報
5、專利文獻2：國際公開第2022/009661號
技術實現思路
1、專利技術要解決的問題
2、在使處理液循環的系統中，有時溶解于處理液的氣體在罐內以氣泡的形式出現在處理液中。
3、處理液中的氣泡在經過臺階部等液流被擾亂的部位時容易成長而變大。因此，即使處理液中的氣泡在罐內具有比較小的尺寸，有時也會在從罐向循環線移動時、經過設于循環線的泵時成長得較大。
4、處理液與較大的尺寸的氣泡一起在循環線中流動(例如通過泵將較大的尺寸的氣泡吸入)并向處理單元供給，因而有時微粒突然增大。此外，即使是較小的尺寸的氣泡，若氣泡的數量變多，則也存在微粒增大的傾向。
5、本公開提供有利于將可能包含氣泡的液體以氣泡減少了的狀態送出的技術。
6、用于解決問題的方案
7、本公開的一技術方案涉及一種分流單元，其特征在于，該分流單元具備：分流主體部，其具有引導流路；流入部，其將液體向引導流路引導；以及第1流出部和第2流出部，其使液體從引導流路向外部流出，第1流出部位于比第2流出部靠上方的位置，當在引導流路內的液體存在氣泡的情況下，與經由第1流出部而與液
8、專利技術的效果
9、根據本公開，有利于將可能包含氣泡的液體以氣泡減少了的狀態送出。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種分流單元，其特征在于，
2.根據權利要求1所述的分流單元，其特征在于，
3.根據權利要求2所述的分流單元，其特征在于，
4.根據權利要求1所述的分流單元，其特征在于，
5.根據權利要求1所述的分流單元，其特征在于，
6.根據權利要求1所述的分流單元，其特征在于，
7.根據權利要求1所述的分流單元，其特征在于，
8.根據權利要求1所述的分流單元，其特征在于，
9.根據權利要求1所述的分流單元，其特征在于，
10.根據權利要求1所述的分流單元，其特征在于，
11.一種液處理系統，其特征在于，
12.根據權利要求11所述的液處理系統，其特征在于，
13.根據權利要求12所述的液處理系統，其特征在于，
14.根據權利要求11所述的液處理系統，其特征在于，
【技術特征摘要】
1.一種分流單元，其特征在于，
2.根據權利要求1所述的分流單元，其特征在于，
3.根據權利要求2所述的分流單元，其特征在于，
4.根據權利要求1所述的分流單元，其特征在于，
5.根據權利要求1所述的分流單元，其特征在于，
6.根據權利要求1所述的分流單元，其特征在于，
7.根據權利要求1所述的分流單元，其特征在于，
8.根...
【專利技術屬性】
技術研發人員：山下海誓，
申請(專利權)人：東京毅力科創株式會社，
類型：發明
國別省市：
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