【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及濾波器，具體地，涉及體聲波濾波器及其制備方法。
技術介紹
1、階梯型濾波器是一種利用體聲波諧振器(bulk?acoustic?wave?resonator，baw)實現信號濾波的器件，具有體積小、頻率高、損耗低、性能好等優點。它在無線通信、射頻(rf)和微波技術中有廣泛應用，特別是用于移動通信設備中的射頻前端模塊(rf?front-end?module)。
2、階梯型濾波器利用體聲波諧振器來構建一系列串聯和并聯諧振器的結構，以實現特定頻率范圍內的信號過濾。串聯諧振器直接連接在信號路徑上，負責設定濾波器的通帶。由于串聯諧振器的諧振頻率f0通常略高于并聯諧振器的諧振頻率f1，因此在濾波器的工作頻率范圍內，串聯諧振器可以使信號順利通過，而阻擋較低頻率的信號。并聯諧振器通常與地相連，并聯在串聯諧振器之間，它們的諧振頻率略低于串聯諧振器，主要用于抑制不需要的頻率成分，防止它們通過濾波器。
3、傳統的階梯型濾波器，通常只有兩種諧振頻率：串聯諧振器的諧振頻率f0和并聯諧振器的諧振頻率f1。隨著對濾波器性能要求的提高，為了擴展帶寬并改善帶外抑制性能，會在串聯諧振器或者并聯諧振器中引入微小的諧振頻率。例如，新增一個諧振頻率為f2的并聯諧振器，兩個諧振頻率不同的并聯諧振器之間的頻率差異很小。
4、為了實現這些細微的頻率調整，通常需要通過增加第一負載層的厚度來微調諧振器的頻率。由于f1和f2的頻率差異很小，因此新增的第一負載層厚度也必須非常薄。這樣的設計雖然能夠顯著提升濾波器的性能，但同時也對制造工藝
技術實現思路
1、鑒于上述問題，本專利技術的目的在于提供一種體聲波濾波器及其制備方法。
2、根據本專利技術的第一方面，提供一種體聲波濾波器，包括多個串聯諧振器和多個并聯諧振器，串聯諧振器和并聯諧振器的諧振頻率不同，串聯諧振器或并聯諧振器至少具有2個不同的諧振頻率；其中，所述串聯諧振器包括襯底、位于襯底上的布拉格反射層、第一電極層、壓電層、第二電極層以及鈍化層；所述并聯諧振器包括襯底、位于襯底上的布拉格反射層、第一電極層、壓電層、第一負載層、第二電極層以及鈍化層；至少一個串聯諧振器或者至少一個并聯諧振器還包括位于第二電極層和鈍化層之間的第二負載層。
3、可選地，第一負載層材料與第二電極層材料均為導電材料，第一負載層的厚度控制串聯諧振器和并聯諧振器之間的諧振頻率差異。
4、可選地，第二負載層材料與鈍化層材料均為介質材料，第二負載層的厚度控制不同串聯諧振器之間的諧振頻率差異和/或不同并聯諧振器之間的諧振頻率差異。
5、可選地，串聯諧振器之間的諧振頻率差異小于預設值；和/或，并聯諧振器之間的諧振頻率差異小于預設值。
6、可選地，多個串聯諧振器包括多個諧振頻率，多個相鄰諧振頻率之間的差異小于預設值；和/或，多個并聯諧振器包括多個諧振頻率，多個相鄰諧振頻率之間的差異小于預設值。
7、可選地，所述預設值為10mhz。
8、可選地，所述第二電極層的材料包括金、鋁、鈦、鎢、鈦鎢、鉬中的任意一種，所述鈍化層的材料包括氮化鋁、氮化硅和氧化硅中的任意一種。
9、可選地，第二負載層的厚度小于等于500埃。
10、根據本專利技術的另一方面，提供一種體聲波濾波器的制備方法，包括：在襯底上的第一區域上依次形成布拉格反射層、第一電極層、壓電層、第二電極層形成多個串聯諧振器；在襯底的第二區域上依次形成布拉格反射層、第一電極層、壓電層、第一負載層以及第二電極層形成多個并聯諧振器，串聯諧振器和并聯諧振器的諧振頻率不同；在至少一個串聯諧振器或者至少一個并聯諧振器的第二電極層上形成第二負載層，以使串聯諧振器或并聯諧振器至少具有2個不同的諧振頻率；在第二負載層和第二電極層上形成鈍化層。
11、有益效果
12、根據本專利技術實施例的體聲波濾波器及其制備方法，所述體聲波濾波器包括多個串聯諧振器和多個并聯諧振器，串聯諧振器和并聯諧振器的諧振頻率不同，串聯諧振器或并聯諧振器至少具有2個不同的諧振頻率；其中，所述串聯諧振器包括襯底、位于襯底上的布拉格反射層、第一電極層、壓電層、第二電極層以及鈍化層；所述并聯諧振器包括襯底、位于襯底上的布拉格反射層、第一電極層、壓電層、第一負載層、第二電極層以及鈍化層；至少一個串聯諧振器或者至少一個并聯諧振器還包括位于第二電極層和鈍化層之間的第二負載層。本申請通過第一負載層來調節串聯諧振器和并聯諧振器之間大的諧振頻率差異，通過第二負載層來調節多個串聯諧振器和/或多個并聯諧振器之間微小的諧振頻率差異，可以提高濾波器的帶寬和帶外抑制性能。
13、進一步地，第二負載層設置在第二電極層和鈍化層之間，第二負載層的厚度可以大大增加，以更精確地進行頻率差異的調節，同時可以在不犧牲諧振器性能的前提下，改善制造過程中的可控性和工藝容差。
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1.一種體聲波濾波器，其特征在于，包括多個串聯諧振器和多個并聯諧振器，串聯諧振器和并聯諧振器的諧振頻率不同，串聯諧振器或并聯諧振器至少具有2個不同的諧振頻率；
2.根據權利要求1所述的體聲波濾波器，其特征在于，第一負載層材料與第二電極層材料均為導電材料，第一負載層的厚度控制串聯諧振器和并聯諧振器之間的諧振頻率差異。
3.根據權利要求1所述的體聲波濾波器，其特征在于，第二負載層材料與鈍化層材料均為介質材料，第二負載層的厚度控制不同串聯諧振器之間的諧振頻率差異和/或不同并聯諧振器之間的諧振頻率差異。
4.根據權利要求3所述的體聲波濾波器，其特征在于，串聯諧振器之間的諧振頻率差異小于預設值；和/或，并聯諧振器之間的諧振頻率差異小于預設值。
5.根據權利要求4所述的體聲波濾波器，其特征在于，多個串聯諧振器包括多個諧振頻率，多個相鄰諧振頻率之間的差異小于預設值；和/或，多個并聯諧振器包括多個諧振頻率，多個相鄰諧振頻率之間的差異小于預設值。
6.根據權利要求4或5所述的體聲波濾波器，其特征在于，所述預設值為10MHz。
8.根據權利要求1所述的體聲波濾波器，其特征在于，第二負載層的厚度小于等于500埃。
9.一種體聲波濾波器的制備方法，其特征在于，包括：
...【技術特征摘要】
1.一種體聲波濾波器，其特征在于，包括多個串聯諧振器和多個并聯諧振器，串聯諧振器和并聯諧振器的諧振頻率不同，串聯諧振器或并聯諧振器至少具有2個不同的諧振頻率；
2.根據權利要求1所述的體聲波濾波器，其特征在于，第一負載層材料與第二電極層材料均為導電材料，第一負載層的厚度控制串聯諧振器和并聯諧振器之間的諧振頻率差異。
3.根據權利要求1所述的體聲波濾波器，其特征在于，第二負載層材料與鈍化層材料均為介質材料，第二負載層的厚度控制不同串聯諧振器之間的諧振頻率差異和/或不同并聯諧振器之間的諧振頻率差異。
4.根據權利要求3所述的體聲波濾波器，其特征在于，串聯諧振器之間的諧振頻率差異小于預設值；和/或，并聯諧振器之間的諧振頻率差...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張浩，范衛彬，崔魏巍，
申請(專利權)人：云際芯光珠海微電子有限公司，
類型：發明
國別省市：
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