【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及晶圓加工，具體是一種用于觀察晶圓中心附件標記的方法。
技術介紹
1、由于左、右側對準系統是整體移動的，無論移動到晶圓y軸的哪一側，該側的物鏡會被移的更遠，無法觀察到“盲區”中該側的標記，只能通過對側的物鏡來觀察；如需觀察“盲區”中另一側的標記，需整體向對側移動，再通過本側物鏡來觀察。該方案無法同時觀察到“盲區”中左、右側的標記，且整體來回移動耗時較多。
技術實現思路
1、因此，為了解決上述不足，本專利技術在此提供一種用于觀察晶圓中心附件標記的方法。
2、本專利技術是這樣實現的，構造一種用于觀察晶圓中心附件標記的方法，包括以下步驟；
3、s1：晶圓上的標記通過通光孔反射至反光鏡上，反光鏡并將光線反射至左側物鏡上，并可觀察到晶圓y軸區域右側的標記；
4、s2：左側物鏡內的電動推桿運行時，電動推桿內的移動端移動時帶動凸塊移動，凸塊施加擠壓力帶動擠壓板向下移動，擠壓板施加擠壓力帶動復位彈簧并推動滑動變阻器上的滑片移動，使滑動變阻器控制警示燈運行，提醒反光鏡的角度調節到位置；
5、s3：并可控制承接盤內的多組電磁彈簧運行時的彈性，即可控制施加給承接盤的彈力，使承接盤在連接盤內進行微調，通過對承接盤來帶動對反光鏡進行角度的微調。
6、優選的，左側物鏡和右側物鏡內設有一反光鏡，左側物鏡和右側物鏡下方設有一通光孔。
7、優選的，右側物鏡與左側物鏡結構相同。
8、優選的，反光鏡通過旋轉軸與左側物鏡內轉動
9、優選的，電磁彈簧的另一端固定連接有連接盤，連接盤的表面與電動推桿轉動連接，電動推桿的另一端與左側物鏡內轉動連接。
10、優選的，電動推桿移動端側壁固定連接有一凸塊，且電動推桿內側壁滑動連接有一擠壓板，擠壓板通過一滑動桿與復位彈簧固定連接。
11、優選的，復位彈簧固定連接在電動推桿內，電動推桿內位于滑動桿的下方固定連接有一滑動變阻器，滑動變阻器上的滑片與滑動桿固定連接。
12、優選的，左側物鏡上設有一警示燈，警示燈通過線纜與滑動變阻器連接。
13、優選的，反光鏡與左側物鏡內固定連接，通光孔下方固定連接有反光棱鏡。
14、與現有技術相比，本專利技術的有益效果是：
15、(1)左側物鏡和右側物鏡內均設有反光鏡或反光棱鏡，使得光線能夠經過反光鏡的反射，進入物鏡并被觀察到；使得左、右側物鏡無需越過晶圓y軸即可同時觀察到“盲區”中的標記。
16、(2)當電動推桿運行時，其移動端會帶動凸塊和擠壓板移動，進而推動滑動變阻器上的滑片移動，從而控制與之連接的警示燈的運行狀態；警示燈的作用是在反光鏡的角度調節到位時給予提示，確保觀察的準確性。
17、(3)過控制電磁彈簧的運行時的彈性，即控制施加給承接盤的彈力，可以實現對反光鏡角度的精細調整，以滿足高精度觀察的需求。
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1.一種用于觀察晶圓中心附件標記的方法，其特征在于：包括以下步驟；
2.一種用于觀察晶圓中心附件標記的結構，用于實施如權利要求1所述的一種用于觀察晶圓中心附件標記的方法，其特征在于：左側物鏡和右側物鏡內設有一反光鏡，左側物鏡和右側物鏡下方設有一通光孔。
3.根據權利要求2所述一種用于觀察晶圓中心附件標記的結構，其特征在于：右側物鏡與左側物鏡結構相同。
4.根據權利要求2所述一種用于觀察晶圓中心附件標記的結構，其特征在于：反光鏡通過旋轉軸與左側物鏡內轉動連接，反光鏡另一端與承接盤轉動連接，承接盤外周壁固定連接有多組電磁彈簧。
5.根據權利要求4所述一種用于觀察晶圓中心附件標記的結構，其特征在于：電磁彈簧的另一端固定連接有連接盤，連接盤的表面與電動推桿轉動連接，電動推桿的另一端與左側物鏡內轉動連接。
6.根據權利要求5所述一種用于觀察晶圓中心附件標記的結構，其特征在于：電動推桿移動端側壁固定連接有一凸塊，且電動推桿內側壁滑動連接有一擠壓板，擠壓板通過一滑動桿與復位彈簧固定連接。
7.根據權利要求6所述一種用于觀察
8.根據權利要求7所述一種用于觀察晶圓中心附件標記的結構，其特征在于：左側物鏡上設有一警示燈，警示燈通過線纜與滑動變阻器連接。
9.根據權利要求2所述一種用于觀察晶圓中心附件標記的結構，其特征在于：反光鏡與左側物鏡內固定連接，通光孔下方固定連接有反光棱鏡。
...【技術特征摘要】
1.一種用于觀察晶圓中心附件標記的方法，其特征在于：包括以下步驟；
2.一種用于觀察晶圓中心附件標記的結構，用于實施如權利要求1所述的一種用于觀察晶圓中心附件標記的方法，其特征在于：左側物鏡和右側物鏡內設有一反光鏡，左側物鏡和右側物鏡下方設有一通光孔。
3.根據權利要求2所述一種用于觀察晶圓中心附件標記的結構，其特征在于：右側物鏡與左側物鏡結構相同。
4.根據權利要求2所述一種用于觀察晶圓中心附件標記的結構，其特征在于：反光鏡通過旋轉軸與左側物鏡內轉動連接，反光鏡另一端與承接盤轉動連接，承接盤外周壁固定連接有多組電磁彈簧。
5.根據權利要求4所述一種用于觀察晶圓中心附件標記的結構，其特征在于：電磁彈簧的另一端固定連接有連接盤，連接盤的表面與電動推桿轉動連接，...
【專利技術屬性】
技術研發人員：姜小光，
申請(專利權)人：上海圖雙精密裝備有限公司，
類型：發明
國別省市：
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