【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于熱學計量領域，具體涉及一種用于mems濕敏器件的測試與校準的變壓調濕裝置及方法。
技術介紹
1、隨著mems濕敏器件在各個領域的應用日益增加，國產化芯片行業不斷擴大，對于mems濕敏器件的大批量測校需求迫在眉睫。其中，需要濕度發生裝置實現特定濕度參數的快速激勵，以正確測試mems濕敏器件在當前工作條件下將物理輸入轉換為電輸出的能力。同時，mems濕敏器件測校還需要濕度發生裝置露點溫度范圍覆蓋-35℃～90℃，7×24h長時間運行不停機，mems濕敏器件測量腔內壓力可任意調節，并且流量可在0～30l/min范圍內任意調節，滿足大批量mems濕敏器件同時在線測校。
2、目前，濕度發生裝置大多用于發生常壓濕氣，一部分濕度發生裝置露點溫度切換速度快，但露點溫度范圍較窄、準確性低、穩定性較差；另一部分濕度發生裝置穩定性好、準確性高，但露點溫度切換速度較慢，因此現有濕度發生裝置均無法滿足mems濕敏器件的測校需求。
技術實現思路
1、本專利技術的目的是提供一種用于mems濕敏器件的測試與校準的變壓調濕裝置及方法，可實現寬范圍、高準確性、高穩定性特定濕度參數的快速響應，實現對mems濕敏器件的有效測校。
2、為了實現上述目的，本專利技術的一個方面提供一種用于mems濕敏器件的測試與校準的變壓調濕裝置，包括氣源、第一背壓式調壓閥、飽和器、恒溫系統及水路、第二背壓式調壓閥、質量流量控制器；
3、來自所述氣源的氣體經過所述第一背壓式調壓閥進入所述飽和器
4、所述第一背壓式調壓閥用于控制飽和器內壓力，所述第二背壓式調壓閥用于控制mems濕敏器件測量腔內壓力，所述恒溫系統及水路與所述飽和器連接，用于對所述飽和器進行溫度調節，所述飽和器產生的濕氣進入mems濕敏器件測量腔進行測量和校準；
5、所述恒溫系統及水路包括恒溫系統、儲液箱、進水水路和出水水路，恒溫系統用于控制儲液箱內溫度，產生溫度恒定的循環水，循環水通過進水水路進入飽和器，并經出水水路從飽和器返回儲液箱。
6、優選地，進水水路上設置有可調流量泵和單向閥，可調流量閥用于對飽和器內水的流量大小進行控制，單向閥用于避免因飽和器內壓力升高而產生水回流現象。
7、本專利技術的另一個方面提供一種用于mems濕敏器件的測試與校準的變壓調濕方法，利用上述的裝置進行mems濕敏器件的測試與校準，所述方法包括：
8、通過恒溫系統將飽和器溫度升溫至指定溫度并穩定后，關閉第二背壓式調壓閥，打開氣源，設置第一背壓式調壓閥升壓到與露點溫度對應的壓力并穩定后，設置質量流量控制器為指定流量，設置第二背壓式調壓閥為指定壓力，打開第二背壓式調壓閥，得到出氣為指定壓力下的露點溫度，輸送到mems濕敏器件測量腔對其進行測試和校準。
9、優選地，將恒溫系統分別設定為不同的溫度點，通過調節第一背壓式調壓閥和第二背壓式調壓閥，使得飽和器內壓力分別覆蓋0.1013～1.6743mpa、0.1013～1.5019mpa、0.3085～2.8022mpa范圍，實現露點溫度90～30℃、30～-10℃、-10～-35℃范圍。
10、優選地，將恒溫系統設定為90℃、30℃、5℃。
11、根據本專利技術上述方面的用于mems濕敏器件的測試與校準的變壓調濕裝置及方法，可實現寬范圍、高準確性、高穩定性特定濕度參數的快速響應，實現對mems濕敏器件的有效測校。
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1.一種用于MEMS濕敏器件的測試與校準的變壓調濕裝置，其特征在于，包括氣源、第一背壓式調壓閥、飽和器、恒溫系統及水路、第二背壓式調壓閥、質量流量控制器；
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，進水水路上設置有可調流量泵和單向閥，可調流量閥用于對飽和器內水的流量大小進行控制，單向閥用于避免因飽和器內壓力升高而產生水回流現象。
3.一種用于MEMS濕敏器件的測試與校準的變壓調濕方法，其特征在于，利用權利要求1或2所述的裝置進行MEMS濕敏器件的測試與校準，所述方法包括：
4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，將恒溫系統分別設定為不同的溫度點，通過調節第一背壓式調壓閥和第二背壓式調壓閥，使得飽和器內壓力分別覆蓋0.1013～1.6743MPa、0.1013～1.5019MPa、0.3085～2.8022MPa范圍，實現露點溫度90～30℃、30～-10℃、-10～-35℃范圍。
5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，將恒溫系統設定為90℃、30℃、5℃。
【技術特征摘要】
1.一種用于mems濕敏器件的測試與校準的變壓調濕裝置，其特征在于，包括氣源、第一背壓式調壓閥、飽和器、恒溫系統及水路、第二背壓式調壓閥、質量流量控制器；
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，進水水路上設置有可調流量泵和單向閥，可調流量閥用于對飽和器內水的流量大小進行控制，單向閥用于避免因飽和器內壓力升高而產生水回流現象。
3.一種用于mems濕敏器件的測試與校準的變壓調濕方法，其特征在于，利用權利要求1或2所述的裝置進行mem...
【專利技術屬性】
技術研發人員：柴塬，胡艷青，孟蘇，陳德奇，劉彬，陳潔新，
申請(專利權)人：中國航空工業集團公司北京長城計量測試技術研究所，
類型：發明
國別省市：
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