【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種長晶爐供氣結構，具體涉及一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置及使用方法。
技術介紹
1、碳化硅是自然界的一種礦石材料，隨著科技的進步對其進行人工合成干預能夠將其純度提高到99％以，這也造就了碳化硅能夠應用在眾多的不同領域當中，而碳化硅在常用的領域就是電子芯片領域，且是很好的芯片制作材料，在進行生產時需要借助碳化硅生長爐制備處晶錠，然后在進行切割等處理生產出晶圓，再次生長過程中需要在爐體內填充氣體，用于保證分子順利的接觸石墨坩堝頂部結成晶體。
2、現在生長爐的供氣口基本都設立在底部，但是進氣是通過單一管道輸送供給的，這就導致進入爐體內的氣體會先擴散，然后在上升，但是靠近進氣口位置的氣體上升的速度必然比其他區域的快，這就會在爐體內形成紊流，直接影響分子的上升穩定性，最終影響晶圓的成品質量，為此提出一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置及使用方法。
技術實現思路
1、本專利技術要解決的技術問題是現在生長爐供氣分布不均，上升氣體流速不同影響晶錠的生長以及晶圓的質量，提供一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置及使用方法，使其能夠均勻的將氣體送進爐體內，且保證氣體上升也處于均勻狀態，保證分子穩定的上升。
2、本專利技術解決技術問題采用的技術方案是：一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置，包括底座，所述底座頂部側壁可拆卸式連接有爐體，所述底座內部開設有底槽，所述底槽內頂部側壁放置有氣罐，所述氣罐靠近定端的一側側壁可拆卸式連接有承接板，所述承接板頂部且遠離氣罐的一側側壁
3、作為本專利技術的一種優選技術方案，所述分流柱為中空結構，所述分流柱底部側壁中間固定連接有螺紋環，所述螺紋環為環形結構，所述輸送柱兩端且靠近邊沿處均開設有螺槽，所述螺槽與螺紋環相對應，所述螺紋環螺紋連接在螺槽內，所述輸送柱的中間貫通開設有貫通孔，所述貫通孔內壁固定連接有密封圈。
4、優選的，通過貫通孔能夠將氣體順著貫通孔送到分流柱內，將螺紋環螺紋連接在螺槽內能夠提高輸送柱與分流柱之間連接的便利性，便于后期的維護拆卸。
5、作為本專利技術的一種優選技術方案，所述分流柱內頂部側壁固定連接有錐形柱，所述錐形柱靠近外邊沿的內部貫通開設有引導槽，所述錐形柱為錐形結構，所述錐形柱的底端固定連接有插管，所述插管與貫通孔相對應且插接在貫通孔內，所述插管插進貫通孔內一端外壁與密封圈緊密貼合，所述引導槽與氣孔相對應，所述支流管通過氣孔與引導槽相通。
6、優選的，隨著輸送柱與分流柱的連接插管也會插進貫通孔內，因為在貫通孔內壁固定密封圈能夠保證連接的密封性，避免氣體的泄漏，通過引導槽能夠對氣體進行均勻的分流，從而將氣體均勻的通過氣孔送進對應的支流管內。
7、作為本專利技術的一種優選技術方案，所述連接軟管可拆卸式調節有穩壓環，所述穩壓環為環形結構，所述穩壓環內部開設有環形槽，所述環形槽的兩側側壁中間均固定連接有彈性片，所述支流管與環形槽相對的一側貫通開設有連通口，所述支流管內部通過連通口與彈性片相通，所述連通口下邊沿通過扭簧轉動連接有封堵板，且扭簧為雙向轉動結構。
8、優選的，在支流管上連接一個穩壓環，當支流管內氣壓過高或者過低時就會頂開封堵板，從而實現泄壓和增壓的效果，保證支流管內部的氣壓穩定，從而保證所有支流管內流動的氣體流速處于相同的狀態，保證氣體的均勻供給。
9、作為本專利技術的一種優選技術方案，所述爐體底部側壁均勻的貫通開設有進氣口，所述進氣口的位置與連接軟管相對應，所述進氣口與連接軟管遠離支流管的一端可拆卸式連接，所述爐體內底部可拆卸式連接有坩堝，所述進氣口環繞在坩堝四周的底部側壁上。
10、優選的，將連接軟管的一端與進氣口連接，這樣能將氣體順利的送進爐體內，且因為進氣口均勻的分布在坩堝的四周，能保證周圍的上升氣體其上升速率相同，避免速率差距過大而產生紊流，確保分子上升的平穩性。
11、作為本專利技術的一種優選技術方案，所述爐體內靠近頂部側壁固定連接有引導板，所述引導板為錐形結構，所述爐體頂部可拆卸式連接有封板，所述封板靠近兩側邊沿處均貫通開設有外接口，所述外接口與爐體內部相通且可拆卸式連接有排放管，所述封板與坩堝相對的側壁可拆卸式連接有生長基座，所述引導板頂端與生長基座之間留有縫隙。
12、優選的，通過設立的引導板能夠對上升的氣體連通分子進行引導，最大程度保證分子與生長基座粘附結晶的穩定，從而提高結晶的效率，通過設立的縫隙能夠保證上升氣體的流動，避免氣體積累在引導板內造成紊流，而繼續上升的氣體會順著外接口在經由排放管排出，保證爐體內氣體的流動性。
13、作為本專利技術的一種優選技術方案，所述泵箱內部可拆卸式連接有氣泵，所述氣泵的進氣端與三通閥上的管道一端可拆卸式連接，所述輸送柱的一端延伸進泵箱內且與氣泵的出氣端可拆卸式連接。
14、優選的，啟動氣泵能夠對三通閥內的氣體進行抽吸輸送，保證氣體具有足夠的動力上升，從而確保氣體順利的注入進爐體內。
15、優選的，一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣方法，具體步驟如下：
16、第一步、通過氣泵將氣體抽出，氣體順著貫通孔上升，最后穿過插管進入引導槽內，氣體通過錐形柱的分流后繼續上升，然后穿過氣孔進入支流管內，被均分的氣體能保證每個支流管內的氣體量也是相近的；
17、第二步、氣體順著支流管上升，通過連接在支流管上的穩壓環能夠對其內部氣壓進行調節控制，保證每個支流管內的氣壓相同，從而保證每個支流管內上升的氣流流速相同，保證氣體均勻的注入進爐體內；
18、第三步、通過進氣口均勻的分布，且環繞在坩堝四周，能夠使氣體更快的充滿爐體內部空間，同時通過環繞的上升氣體能夠對分子進行穩定推動，從而提高生產的穩定性，避免因為產生紊流而影響生產的效率和效果。
19、本專利技術具有以下優點：在分流柱上連接多個支流管，通過多個支流管形成多通道功能，這樣就能將氣體通過多個支流管進行分開獨立輸送，同時能將支流管環繞在坩堝的四周，避免了單一供氣口導致的氣體上升速率不同而產生紊流，且多個支流管同時輸送能夠更快的將氣體充滿爐體內部的空間，提高效率，同時因為所有的支流管氣體上升速率相同，且分布均勻，能夠驅動分子平穩的上升，提高結晶的效率和質量；
20、氣體順著貫通孔和插管注入進引導槽內，因為錐形柱為錐形結構，因此進入引導槽內的氣體會順著錐形柱均勻的分流擴散，而擴散的氣體繼續上升就會通過氣孔進入支流管內，同時因為這些氣體是已經被均勻后的，所以最大程度保證進入支流管內的氣體都是相同的，從而實現所有支流管均勻送氣的功能本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)頂部側壁可拆卸式連接有爐體(2)，所述底座(1)內部開設有底槽(5)，所述底槽(5)內頂部側壁放置有氣罐(6)，所述氣罐(6)靠近定端的一側側壁可拆卸式連接有承接板(8)，所述承接板(8)頂部且遠離氣罐(6)的一側側壁可拆卸式連接有泵箱(9)，所述泵箱(9)頂部側壁穿插連接有輸送柱(10)，所述輸送柱(10)的頂端可拆卸式連接有分流柱(11)；
2.如權利要求1所述的一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置，其特征在于，所述分流柱(11)為中空結構，所述分流柱(11)底部側壁中間固定連接有螺紋環(15)，所述螺紋環(15)為環形結構，所述輸送柱(10)兩端且靠近邊沿處均開設有螺槽(12)，所述螺槽(12)與螺紋環(15)相對應，所述螺紋環(15)螺紋連接在螺槽(12)內，所述輸送柱(10)的中間貫通開設有貫通孔(13)，所述貫通孔(13)內壁固定連接有密封圈(14)。
3.如權利要求1所述的一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置，其特征在于，所述分流柱(11)內頂部側壁固定連接有錐形柱
4.如權利要求1所述的一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置，其特征在于，所述連接軟管(18)可拆卸式調節有穩壓環(17)，所述穩壓環(17)為環形結構，所述穩壓環(17)內部開設有環形槽(22)，所述環形槽(22)的兩側側壁中間均固定連接有彈性片(23)，所述支流管(16)與環形槽(22)相對的一側貫通開設有連通口(24)，所述支流管(16)內部通過連通口(24)與彈性片(23)相通，所述連通口(24)下邊沿通過扭簧轉動連接有封堵板(25)，且扭簧為雙向轉動結構。
5.如權利要求1所述的一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置，其特征在于，所述爐體(2)底部側壁均勻的貫通開設有進氣口(27)，所述進氣口(27)的位置與連接軟管(18)相對應，所述進氣口(27)與連接軟管(18)遠離支流管(16)的一端可拆卸式連接，所述爐體(2)內底部可拆卸式連接有坩堝(28)，所述進氣口(27)環繞在坩堝(28)四周的底部側壁上。
6.如權利要求1所述的一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置，其特征在于，所述爐體(2)內靠近頂部側壁固定連接有引導板(31)，所述引導板(31)為錐形結構，所述爐體(2)頂部可拆卸式連接有封板(3)，所述封板(3)靠近兩側邊沿處均貫通開設有外接口(30)，所述外接口(30)與爐體(2)內部相通且可拆卸式連接有排放管(4)，所述封板(3)與坩堝(28)相對的側壁可拆卸式連接有生長基座(29)，所述引導板(31)頂端與生長基座(29)之間留有縫隙。
7.如權利要求1所述的一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置，其特征在于，所述泵箱(9)內部可拆卸式連接有氣泵(26)，所述氣泵(26)的進氣端與三通閥(7)上的管道一端可拆卸式連接，所述輸送柱(10)的一端延伸進泵箱(9)內且與氣泵(26)的出氣端可拆卸式連接。
8.一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣方法，采用權利要求1所述的一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置，其特征在于，具體步驟如下：
...【技術特征摘要】
1.一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)頂部側壁可拆卸式連接有爐體(2)，所述底座(1)內部開設有底槽(5)，所述底槽(5)內頂部側壁放置有氣罐(6)，所述氣罐(6)靠近定端的一側側壁可拆卸式連接有承接板(8)，所述承接板(8)頂部且遠離氣罐(6)的一側側壁可拆卸式連接有泵箱(9)，所述泵箱(9)頂部側壁穿插連接有輸送柱(10)，所述輸送柱(10)的頂端可拆卸式連接有分流柱(11)；
2.如權利要求1所述的一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置，其特征在于，所述分流柱(11)為中空結構，所述分流柱(11)底部側壁中間固定連接有螺紋環(15)，所述螺紋環(15)為環形結構，所述輸送柱(10)兩端且靠近邊沿處均開設有螺槽(12)，所述螺槽(12)與螺紋環(15)相對應，所述螺紋環(15)螺紋連接在螺槽(12)內，所述輸送柱(10)的中間貫通開設有貫通孔(13)，所述貫通孔(13)內壁固定連接有密封圈(14)。
3.如權利要求1所述的一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置，其特征在于，所述分流柱(11)內頂部側壁固定連接有錐形柱(19)，所述錐形柱(19)靠近外邊沿的內部貫通開設有引導槽(20)，所述錐形柱(19)為錐形結構，所述錐形柱(19)的底端固定連接有插管(21)，所述插管(21)與貫通孔(13)相對應且插接在貫通孔(13)內，所述插管(21)插進貫通孔(13)內一端外壁與密封圈(14)緊密貼合，所述引導槽(20)與氣孔相對應，所述支流管(16)通過氣孔與引導槽(20)相通。
4.如權利要求1所述的一種碳化硅長晶爐多通道均勻供氣裝置，其特征在于，所述連接軟管(18)可拆卸式調節有穩壓環(17)，所述穩壓環(17)為環形結構，所述穩壓環(17...
【專利技術屬性】
技術研發人員：周春霞，計壘峰，白斌，李振，徐養毅，韓科選，
申請(專利權)人：蘇州步科斯新材料科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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