【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于化學機械拋光，尤其涉及一種綠色化學機械拋光組合物及其制備方法，特別適用于鈷互連結構的化學機械拋光。
技術介紹
1、芯片中存在晶體管等多種微型元件，目前一般使用金屬銅將它們連接在一起，實現信號的傳輸，形成所謂的銅互連結構。但是，在芯片特征尺寸縮小到納米級時，銅線電阻率顯著提升，導致rc延遲和熱效應加劇等問題；同時，電子散射幾率增加，進一步增加rc延遲、提高電遷移的風險。因此，銅互連結構逐漸逼近性能極限，迫切需要引入新材料和新技術。
2、金屬鈷具有較小的電子平均自由程、優異的臺階覆蓋性和抗電遷移性能等優勢，被認為是代替銅的最有前景的互連材料之一，intel?7技術中就使用了鈷互連結構，有效改善了電遷移的問題。但是，鈷的應用在化學機械拋光(cmp)等芯片生產環節中產生了一系列問題。cmp工藝結合了拋光液研磨顆粒的機械作用和其他添加劑的化學作用，能實現晶圓表面的高度平坦化，有助于實現多層金屬互連結構、提高芯片的性能和良率。由于鈷的化學性質更活潑、硬度更高，常見的拋光液容易導致腐蝕嚴重或去除速率慢，嚴重影響器件的性能和生產效率。此外，商用拋光液中使用的添加劑往往容易污染環境，與綠色制造的理念不符。因此，選擇合適的添加劑，在綠色環保的前提下實現低腐蝕和高速去除之間的平衡，是一個亟待解決的問題。
技術實現思路
1、針對技術問題，本專利技術提供了一種綠色化學機械拋光組合物及其制備方法，通過添加麥芽酚、乙基麥芽酚作為絡合劑，有效提高鈷的拋光速率，且拋光后表面質量高。
...【技術保護點】
1.一種綠色化學機械拋光組合物，其特征在于，按照質量分數計算包括研磨顆粒0.1-5wt％，氧化劑0.01-3wt％和絡合劑0.01-5wt％，余量為水，
2.根據權利要求1所述的綠色化學機械拋光組合物，其特征在于，按照質量分數計算包括研磨顆粒3wt％，氧化劑0.6wt％和絡合劑0.5-1wt％。
3.根據權利要求1或2所述的綠色化學機械拋光組合物，其特征在于，按照質量分數計算包括研磨顆粒3wt％，氧化劑0.6wt％和絡合劑0.5wt％；或研磨顆粒3wt％，氧化劑0.6wt％和絡合劑1wt％；或研磨顆粒1wt％，氧化劑0.6wt％和絡合劑1wt％；或研磨顆粒3wt％，氧化劑1.5wt％和絡合劑1wt％。
4.根據權利要求1所述的綠色化學機械拋光組合物，其特征在于，所述研磨顆粒選自二氧化硅或二氧化硅溶膠。
5.根據權利要求4所述的綠色化學機械拋光組合物，其特征在于，所述研磨顆粒的粒徑為20-200nm。
6.根據權利要求1所述的綠色化學機械拋光組合物，其特征在于，所述氧化劑選自過氧化氫。
7.根據權利要求1所述的
8.根據權利要求7所述的綠色化學機械拋光組合物，其特征在于，所述pH調節劑選自氫氧化鉀或氫氧化鈉。
9.一種如權利要求1-8任意一項所述的綠色化學機械拋光組合物的制備方法，其特征在于，包括：根據質量配比，將絡合劑添加到去離子水中混合成溶液，再加入研磨顆粒和氧化劑，獲得所述的拋光組合物。
10.根據權利要求9所述的綠色化學機械拋光組合物的制備方法，其特征在于，包括：根據質量配比，將絡合劑添加到去離子水中混合成溶液，再加入研磨顆粒和氧化劑，隨后加入pH調節劑將其pH值調節至8-12，獲得所述的拋光組合物。
...【技術特征摘要】
1.一種綠色化學機械拋光組合物，其特征在于，按照質量分數計算包括研磨顆粒0.1-5wt％，氧化劑0.01-3wt％和絡合劑0.01-5wt％，余量為水，
2.根據權利要求1所述的綠色化學機械拋光組合物，其特征在于，按照質量分數計算包括研磨顆粒3wt％，氧化劑0.6wt％和絡合劑0.5-1wt％。
3.根據權利要求1或2所述的綠色化學機械拋光組合物，其特征在于，按照質量分數計算包括研磨顆粒3wt％，氧化劑0.6wt％和絡合劑0.5wt％；或研磨顆粒3wt％，氧化劑0.6wt％和絡合劑1wt％；或研磨顆粒1wt％，氧化劑0.6wt％和絡合劑1wt％；或研磨顆粒3wt％，氧化劑1.5wt％和絡合劑1wt％。
4.根據權利要求1所述的綠色化學機械拋光組合物，其特征在于，所述研磨顆粒選自二氧化硅或二氧化硅溶膠。
5.根據權利要求4所述的綠色化學機械拋光組合物，其特征在于，所述研...
【專利技術屬性】
技術研發人員：杭弢，常鵬飛，呂諾，陳宇龍，陳益凡，
申請(專利權)人：上海交通大學，
類型：發明
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。