【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及微波等離子體，尤其涉及一種立式腔體等離子激發(fā)裝置。
技術(shù)介紹
1、等離子體是物質(zhì)的第四態(tài)，通常由氣體或高溫物質(zhì)中的離子和電子組成。當(dāng)氣體或物質(zhì)被加熱到足夠高的溫度時(shí)，原子中的電子會(huì)被剝離，形成帶正電的離子和自由電子。這些離子和自由電子組成了等離子體，它們具有電性和磁性，并且對(duì)電磁場(chǎng)具有響應(yīng)性，立式腔體設(shè)計(jì)使得等離子體能夠在裝置內(nèi)部形成并保持穩(wěn)定，從而實(shí)現(xiàn)高效能量傳輸，這種設(shè)計(jì)有助于集中激發(fā)能量并將其傳遞到待處理物質(zhì)，提高了能量利用率。
2、經(jīng)檢索在公告號(hào)為：cn219248146u中公開(kāi)了一種微波等離子體激發(fā)裝置，包括波導(dǎo)腔體，波導(dǎo)腔體包括依次相連通的第一腔體、第二腔體和第三腔體，第一腔體的截面積小于第三腔體的截面積，第二腔體的截面積沿著從第一腔體到第三腔體的方向逐漸增大，第一腔體穿過(guò)有石英管，與第一腔體交接處的石英管的內(nèi)壁處嵌套有輔助激發(fā)導(dǎo)體，石英管的一端設(shè)有連接套，連接套與載氣散熱模塊相連，載氣散熱模塊還與第三腔體相連，載氣散熱模塊內(nèi)設(shè)有磁控管，磁控管的輸出軸延伸到第三腔體的內(nèi)部，載氣散熱模塊能夠?qū)?duì)磁控管降溫的散熱介質(zhì)輸入到石英管內(nèi)。本技術(shù)的激發(fā)裝置減小了設(shè)備的復(fù)雜度，且提高了各功能模塊間的集成度。
3、上述申請(qǐng)中但是該裝置在使用的過(guò)程中不具有絕緣的組件和結(jié)構(gòu)，這可能導(dǎo)致在使用的過(guò)程中當(dāng)?shù)入x子體激活時(shí)，裝置與地面接近導(dǎo)致機(jī)器電流不穩(wěn)定的問(wèn)題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了彌補(bǔ)以上不足，本技術(shù)提供了一種立式腔體等離子激發(fā)裝置，旨在改善在使用的過(guò)程中不
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本技術(shù)提供了如下技術(shù)方案：
3、一種立式腔體等離子激發(fā)裝置，包括絕緣座，所述絕緣座的上表面固定連接有翻蓋支架，所述翻蓋支架的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的外壁固定連接有翻蓋本體，所述絕緣座的下表面固定連接有腔體底座，所述腔體底座的上表面固定連接有立式腔體本體，所述立式腔體本體的內(nèi)壁固定連接有下極板本體，所述腔體底座的內(nèi)壁固定連接有下極板高壓接線柱，所述腔體底座的內(nèi)壁固定連接有抽氣口，所述翻蓋本體的內(nèi)壁固定連接有進(jìn)氣口，所述翻蓋本體的內(nèi)壁固定連接有上極板高壓接線柱，所述翻蓋本體的內(nèi)壁固定連接有上極板本體，所述腔體底座的下表面設(shè)置有支撐組件。
4、優(yōu)選的，所述支撐組件包括頂板，所述頂板的上表面固定連接在腔體底座的下表面，所述頂板的下表面固定連接有連接塊。
5、優(yōu)選的，所述連接塊的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一滑柱，所述第一滑柱的外壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有曲桿。
6、優(yōu)選的，所述曲桿的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有滑塊，所述滑塊的外壁固定連接有第二滑柱。
7、優(yōu)選的，所述第二滑柱的外壁滑動(dòng)連接有底板，所述底板的內(nèi)壁開(kāi)設(shè)有滑槽。
8、優(yōu)選的，所述滑塊的外壁滑動(dòng)連接在滑槽的內(nèi)壁，所述滑塊的外壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有液壓缸。
9、優(yōu)選的，所述液壓缸的輸出端固定連接有連接板，所述連接板的外壁固定連接在曲桿的外壁。
10、優(yōu)選的，所述曲桿的外壁滑動(dòng)連接有限位板，所述限位板的上表面固定連接在頂板的下表面。
11、本技術(shù)具有如下有益效果：
12、1、本技術(shù)中，翻蓋可以翻開(kāi)或閉合，翻開(kāi)時(shí)大口徑的立式的腔體方便取放樣品，閉合時(shí)可以對(duì)腔體進(jìn)行密封，上極板安裝在翻蓋內(nèi)側(cè)，通過(guò)上極板高壓接線柱接入射頻電源，下極板安裝在腔體底座內(nèi)側(cè)，通過(guò)下極板高壓接線柱接入射頻電壓，通過(guò)上翻蓋設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)單，取放樣品方便，絕緣座設(shè)計(jì)，絕緣隔斷上下極，使用安全。
13、2、本技術(shù)中，通過(guò)液壓缸在滑塊的限位下驅(qū)動(dòng)連接板帶動(dòng)曲桿在限位板的內(nèi)壁滑動(dòng)，驅(qū)動(dòng)滑塊在滑槽的內(nèi)壁滑動(dòng)，在使用的過(guò)程中通過(guò)曲桿在第一滑柱的限位下對(duì)頂板達(dá)到了對(duì)頂板進(jìn)行高度調(diào)節(jié)的效果。
14、3、本技術(shù)中，閉合翻蓋，將抽氣口與真空泵相連接，當(dāng)立式腔體內(nèi)氣壓降至80pa以下時(shí)，接通上下極射頻電源，上下平行極板間產(chǎn)生等離子，發(fā)生輝光反應(yīng)、立式大口徑腔體，橫截底面積大，可放置的樣品多。
本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種立式腔體等離子激發(fā)裝置，包括絕緣座(1)，其特征在于：所述絕緣座(1)的上表面固定連接有翻蓋支架(2)，所述翻蓋支架(2)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸(3)，所述轉(zhuǎn)軸(3)的外壁固定連接有翻蓋本體(4)，所述絕緣座(1)的下表面固定連接有腔體底座(6)，所述腔體底座(6)的上表面固定連接有立式腔體本體(5)，所述立式腔體本體(5)的內(nèi)壁固定連接有下極板本體(12)，所述腔體底座(6)的內(nèi)壁固定連接有下極板高壓接線柱(7)，所述腔體底座(6)的內(nèi)壁固定連接有抽氣口(8)，所述翻蓋本體(4)的內(nèi)壁固定連接有進(jìn)氣口(10)，所述翻蓋本體(4)的內(nèi)壁固定連接有上極板高壓接線柱(9)，所述翻蓋本體(4)的內(nèi)壁固定連接有上極板本體(11)，所述腔體底座(6)的下表面設(shè)置有支撐組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種立式腔體等離子激發(fā)裝置，其特征在于：所述支撐組件包括頂板(23)，所述頂板(23)的上表面固定連接在腔體底座(6)的下表面，所述頂板(23)的下表面固定連接有連接塊(13)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種立式腔體等離子激發(fā)裝置，其特征在于：所述連接塊(13)的內(nèi)
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種立式腔體等離子激發(fā)裝置，其特征在于：所述曲桿(15)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有滑塊(16)，所述滑塊(16)的外壁固定連接有第二滑柱(17)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種立式腔體等離子激發(fā)裝置，其特征在于：所述第二滑柱(17)的外壁滑動(dòng)連接有底板(18)，所述底板(18)的內(nèi)壁開(kāi)設(shè)有滑槽(19)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種立式腔體等離子激發(fā)裝置，其特征在于：所述滑塊(16)的外壁滑動(dòng)連接在滑槽(19)的內(nèi)壁，所述滑塊(16)的外壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有液壓缸(20)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種立式腔體等離子激發(fā)裝置，其特征在于：所述液壓缸(20)的輸出端固定連接有連接板(21)，所述連接板(21)的外壁固定連接在曲桿(15)的外壁。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種立式腔體等離子激發(fā)裝置，其特征在于：所述曲桿(15)的外壁滑動(dòng)連接有限位板(22)，所述限位板(22)的上表面固定連接在頂板(23)的下表面。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種立式腔體等離子激發(fā)裝置，包括絕緣座(1)，其特征在于：所述絕緣座(1)的上表面固定連接有翻蓋支架(2)，所述翻蓋支架(2)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸(3)，所述轉(zhuǎn)軸(3)的外壁固定連接有翻蓋本體(4)，所述絕緣座(1)的下表面固定連接有腔體底座(6)，所述腔體底座(6)的上表面固定連接有立式腔體本體(5)，所述立式腔體本體(5)的內(nèi)壁固定連接有下極板本體(12)，所述腔體底座(6)的內(nèi)壁固定連接有下極板高壓接線柱(7)，所述腔體底座(6)的內(nèi)壁固定連接有抽氣口(8)，所述翻蓋本體(4)的內(nèi)壁固定連接有進(jìn)氣口(10)，所述翻蓋本體(4)的內(nèi)壁固定連接有上極板高壓接線柱(9)，所述翻蓋本體(4)的內(nèi)壁固定連接有上極板本體(11)，所述腔體底座(6)的下表面設(shè)置有支撐組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種立式腔體等離子激發(fā)裝置，其特征在于：所述支撐組件包括頂板(23)，所述頂板(23)的上表面固定連接在腔體底座(6)的下表面，所述頂板(23)的下表面固定連接有連接塊(13)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種立式腔體等離子激發(fā)裝置，其特征在于：所述連接塊...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：趙路寧，張洛瑜，滿忠坤，曹昭會(huì)，王海，滿耀遠(yuǎn)，牛曉倩，許寶峰，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：山東羅丹尼分析儀器有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：
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