【技術實現步驟摘要】
本技術屬于蒸鍍設備,具體地說,本技術涉及一種蒸鍍材料回收裝置。
技術介紹
1、有機發光顯示面板的發光層是由多種功能層堆疊組成的發光器件,制備過程中需要進行蒸鍍。
2、蒸鍍時需要使用到蒸鍍機,現有蒸鍍機中的有機材料利用率低,利用率低的原因是蒸鍍腔體中需要有晶圓且對位完成后才會進行打開shutter(蒸鍍工藝中采用的擋板)鍍膜,且source(蒸鍍源)在共有6個鍍膜時不會同時進行打開,所以導致很多材料蒸鍍到腔體壁和擋板上浪費,因此量產線使用的點源材料利用率約為5%,線源材料利用率約為40%,利用率低,然而有機材料單價較高,存在較多資源的浪費。
3、如公開號為cn114481035a的專利文獻公開了一種蒸鍍裝置,包括蒸鍍源、限制板以及阻擋件,蒸鍍源包括用于放置蒸鍍材料的蒸鍍腔和位于蒸鍍腔在第一方向上一側、并與蒸鍍腔連通的至少一個蒸鍍孔。至少兩個限制板分設于蒸鍍孔在第二方向上的兩側,第一方向與第二方向相交;阻擋件位于限制板靠近蒸鍍孔的一側,阻擋件朝向蒸鍍孔的一側具有沿第二方向內凹形成的多個沉積孔。其中,蒸鍍材料經由蒸鍍孔向外膨化形成預設蒸發區域,限制板包括位于預設蒸發區域內的第一部分,阻擋件在限制板的正投影與第一部分至少部分交疊,以使至少部分蒸鍍材料沉積于阻擋件。該專利文獻公開的技術方案也無法解決上述記載的技術問題。
技術實現思路
1、本技術旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此,本技術提供一種蒸鍍材料回收裝置,目的是提高蒸鍍材料利用率。
2、為
3、所述吸附機構包括第一吸附件,第一吸附件設置于所述集塵盒的內壁面上。
4、所述第一吸附件為活性炭,且活性炭為蜂窩狀結構。
5、所述吸附機構包括第二吸附件,第二吸附件設置于所述集塵盒的底部,第二吸附件的高度小于所述集塵盒的進氣口的高度,第二吸附件的材質為金屬。
6、所述第二吸附件為球狀結構,第二吸附件設置多個。
7、所述第二吸附件的材質為碳化硅。
8、所述冷卻機構包括冷卻管道,冷卻管道設置于所述集塵盒的外壁面上,冷卻管道中通入冷卻水。
9、所述的蒸鍍材料回收裝置還包括與所述集塵盒連接且用于控制集塵盒進行轉動的旋轉機構。
10、所述旋轉機構包括與所述集塵盒連接的旋轉臂和與旋轉臂連接的驅動電機。
11、本技術的蒸鍍材料回收裝置,通過集塵盒與吸附機構和冷卻機構的配合,可以實現蒸鍍材料的高效回收,提高蒸鍍材料利用率。
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1.蒸鍍材料回收裝置,其特征在于:包括集塵盒、設置于集塵盒內部且用于吸附有機材料的吸附機構和對集塵盒進行降溫的冷卻機構,吸附機構與集塵盒的內壁面相接觸,冷卻機構與集塵盒的外壁面相接觸。
2.根據權利要求1所述的蒸鍍材料回收裝置,其特征在于:所述吸附機構包括第一吸附件,第一吸附件設置于所述集塵盒的內壁面上。
3.根據權利要求2所述的蒸鍍材料回收裝置,其特征在于:所述第一吸附件為活性炭,且活性炭為蜂窩狀結構。
4.根據權利要求2所述的蒸鍍材料回收裝置,其特征在于:所述吸附機構包括第二吸附件,第二吸附件設置于所述集塵盒的底部,第二吸附件的高度小于所述集塵盒的進氣口的高度,第二吸附件的材質為金屬。
5.根據權利要求4所述的蒸鍍材料回收裝置,其特征在于:所述第二吸附件為球狀結構,第二吸附件設置多個。
6.根據權利要求4所述的蒸鍍材料回收裝置,其特征在于:所述第二吸附件的材質為碳化硅。
7.根據權利要求1至6任一所述的蒸鍍材料回收裝置,其特征在于:所述冷卻機構包括冷卻管道,冷卻管道設置于所述集塵盒的外壁面上,冷卻管道中通
8.根據權利要求1至6任一所述的蒸鍍材料回收裝置,其特征在于:還包括與所述集塵盒連接且用于控制集塵盒進行轉動的旋轉機構。
9.根據權利要求8所述的蒸鍍材料回收裝置,其特征在于:所述旋轉機構包括與所述集塵盒連接的旋轉臂和與旋轉臂連接的驅動電機。
...【技術特征摘要】
1.蒸鍍材料回收裝置,其特征在于:包括集塵盒、設置于集塵盒內部且用于吸附有機材料的吸附機構和對集塵盒進行降溫的冷卻機構,吸附機構與集塵盒的內壁面相接觸,冷卻機構與集塵盒的外壁面相接觸。
2.根據權利要求1所述的蒸鍍材料回收裝置,其特征在于:所述吸附機構包括第一吸附件,第一吸附件設置于所述集塵盒的內壁面上。
3.根據權利要求2所述的蒸鍍材料回收裝置,其特征在于:所述第一吸附件為活性炭,且活性炭為蜂窩狀結構。
4.根據權利要求2所述的蒸鍍材料回收裝置,其特征在于:所述吸附機構包括第二吸附件,第二吸附件設置于所述集塵盒的底部,第二吸附件的高度小于所述集塵盒的進氣口的高度,第二吸附件的材質為金屬。
【專利技術屬性】
技術研發人員:崔普杰,李維維,李林杰,卞建業,張亞東,
申請(專利權)人:安徽熙泰智能科技有限公司,
類型:新型
國別省市:
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