【技術實現步驟摘要】
本技術涉及半導體領域，尤其涉及一種晶圓預抽真空裝置。
技術介紹
1、半導體設備前端模塊中的機械手會從晶圓傳送盒中抓取晶圓(wafer)，放到晶圓預抽真空腔體中。關閉晶圓預抽真空腔體與半導體設備前端模塊之間的真空閥門進行密封，再打開真空泵抽氣，將晶圓預抽真空腔體抽到真空狀態(大約-5pa)。打開晶圓預抽真空腔體與主反應室之間的真空閥門，主反應室中的機械手將晶圓從晶圓預抽真空腔體中取出，同時關閉晶圓預抽真空腔體的真空閥門。
2、真空鎖(load?lock)作為一種晶圓預抽真空腔體，當真空閥門關閉時腔體是真空狀態。但現有部分機臺的真空鎖的腔體內部的氣密性較差。由于真空鎖的腔體表面的真空閥門時常開閉，導致真空鎖的腔體內部存在水汽，機臺檢漏未通過，使得真空鎖的腔體內部沒有完全達到真空狀態，這可能會造成產品在處理過程中受到污染。
3、因此，設計一種新型的晶圓預抽真空裝置十分必要。
技術實現思路
1、本技術所要解決的技術問題是，提供一種晶圓預抽真空裝置，使得腔體內部的水汽含量維持在一個規定的范圍內，防止腔體內部水汽含量超標造成待處理晶圓被污染，從而影響待處理晶圓的加工處理效率和成功率。
2、為了解決上述問題，本技術提供了一種晶圓預抽真空裝置，包括：腔體，所述腔體用于放置待處理晶圓；水汽檢測機構，所述水汽檢測機構包括檢測器和控制器，所述檢測器耦接至所述腔體、用于檢測所述腔體內的水汽含量并輸出一檢測結果，所述控制器用于接收所述檢測器的檢測結果、并在所述腔體內的水汽
3、在一些實施例中，所述水汽檢測機構還包括電子信號發射器，所述電子信號發射器用于接收所述控制器輸出的所述控制信號并進行發射。
4、在一些實施例中，所述腔體表面設置有真空閥門。
5、在一些實施例中，所述水汽檢測機構還包括檢測管，所述檢測管連接在所述腔體和所述檢測器之間，所述檢測器通過所述檢測管檢測所述腔體內的水汽含量。
6、在一些實施例中，所述檢測管的材料為合金。
7、在一些實施例中，所述腔體側壁設置有用于連接所述檢測管的通孔。
8、在一些實施例中，所述驅動機構還包括抽氣管，所述抽氣管連接在所述腔體和所述真空泵之間，所述真空泵在啟動狀態下通過所述抽氣管對所述腔體進行抽氣。
9、在一些實施例中，所述腔體側壁設置有用于連接所述抽氣管的通孔。
10、在一些實施例中，所述水汽檢測機構和所述驅動機構分別設置于所述腔體外部的相對兩側。
11、在一些實施例中，所述裝置還包括底板，所述驅動器和所述真空泵均設置于所述底板上。
12、上述技術方案通過在晶圓預抽真空裝置的腔體側壁連接設置水汽檢測機構和驅動機構，水汽檢測機構能夠實時檢測所述裝置的腔體內部的水汽含量，并且能夠在所述裝置的腔體內部的水汽含量超過設定閾值時，及時控制驅動機構對所述腔體進行抽氣，防止腔體內部水汽含量超標污染位于腔體內部的待處理晶圓，極大地提高待處理晶圓的加工處理效率和成功率。
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1.一種晶圓預抽真空裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述水汽檢測機構還包括電子信號發射器，所述電子信號發射器用于接收所述控制器輸出的所述控制信號并進行發射。
3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述腔體表面設置有真空閥門。
4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述水汽檢測機構還包括檢測管，所述檢測管連接在所述腔體和所述檢測器之間，所述檢測器通過所述檢測管檢測所述腔體內的水汽含量。
5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述檢測管的材料為合金。
6.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述腔體側壁設置有用于連接所述檢測管的通孔。
7.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述驅動機構還包括抽氣管，所述抽氣管連接在所述腔體和所述真空泵之間，所述真空泵在啟動狀態下通過所述抽氣管對所述腔體進行抽氣。
8.根據權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述腔體側壁設置有用于連接所述抽氣管的通孔。
9.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述水汽檢測
10.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括底板，所述驅動器和所述真空泵均設置于所述底板上。
...【技術特征摘要】
1.一種晶圓預抽真空裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述水汽檢測機構還包括電子信號發射器，所述電子信號發射器用于接收所述控制器輸出的所述控制信號并進行發射。
3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述腔體表面設置有真空閥門。
4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述水汽檢測機構還包括檢測管，所述檢測管連接在所述腔體和所述檢測器之間，所述檢測器通過所述檢測管檢測所述腔體內的水汽含量。
5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述檢測管的材料為合金。
6.根據權利要求4所述的...
【專利技術屬性】
技術研發人員：黃寅捷，蔣文軍，閆曉暉，
申請(專利權)人：上海積塔半導體有限公司，
類型：新型
國別省市：
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