【技術實現步驟摘要】
本技術涉及的是一種硅芯爐爐蓋結構，屬于硅芯爐。
技術介紹
1、爐蓋是單晶生長過程中重要的硅芯爐組成部分，它承擔著保持高溫穩定環境、防止雜質進入爐內和防止爐膛內的氣體泄漏，保持良好的氣密性等重要功能。
2、現有技術硅芯爐爐蓋一般僅設置一個ccd相機和一個觀察窗，對于較大口徑硅芯爐，存在觀察視野狹窄，無法滿足晶體生長的測量及觀察需求的問題。
技術實現思路
1、本技術提出的是一種硅芯爐爐蓋結構，其目的旨在克服現有技術存在的上述不足，通過結構合理的雙觀察窗和ccd相機安裝位置設計，拓寬觀察視野，方便晶體生長的測量和觀察。
2、本技術的技術解決方案：一種硅芯爐爐蓋結構，其結構包括爐蓋本體，爐蓋本體上設有沿中心開口圓周方向相鄰設置的一對主觀察窗組件，兩主觀察窗組件外側沿中心開口圓周方向分別相鄰設置一ccd檢測口組件，ccd檢測口組件上安裝ccd相機，爐蓋本體上設有壓力表組件和泄壓口組件，爐蓋本體外沿設有蒸汽擋板。以上結構設計可滿足大口徑爐蓋晶體生長的測量及觀察需求。
3、優選的，為了進一步具體合理化結構設計，兩所述的主觀察窗組件與爐蓋本體中心的連線的夾角為58±5°，主觀察窗組件和對應相鄰的ccd檢測口組件與爐蓋本體中心的連線的夾角為32±5°。
4、優選的，所述的主觀察窗組件上裝有觀察窗防護蓋板。
5、優選的，所述的爐蓋本體上設有分水器組件，分水器組件分別外接冷卻水進回水管和連接均勻流經爐蓋本體、ccd檢測口組件和主觀察窗組件內側的
6、優選的，所述的爐蓋本體外沿設有蒸汽擋板。
7、本技術的優點：結構設計合理，設置雙觀察窗和雙ccd相機安裝位置，可滿足大口徑硅芯爐使用需求，拓寬觀察視野，有效滿足晶體生長的測量及觀察需求，保證生產穩定性。
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1.一種硅芯爐爐蓋結構，其結構包括爐蓋本體（1），其特征在于，所述的爐蓋本體（1）上設有沿中心開口圓周方向相鄰設置的一對主觀察窗組件（3），兩主觀察窗組件（3）外側沿中心開口圓周方向分別相鄰設置一CCD檢測口組件（2），CCD檢測口組件（2）上安裝CCD相機，爐蓋本體（1）上設有壓力表組件（6）和泄壓口組件（7），爐蓋本體（1）外沿設有蒸汽擋板（8）。
2.如權利要求1所述的一種硅芯爐爐蓋結構，其特征在于，兩所述的主觀察窗組件（3）與爐蓋本體（1）中心的連線的夾角為58±5°，主觀察窗組件（3）和對應相鄰的CCD檢測口組件（2）與爐蓋本體（1）中心的連線的夾角為32±5°。
3.如權利要求1所述的一種硅芯爐爐蓋結構，其特征在于，所述的主觀察窗組件（3）上裝有觀察窗防護蓋板（4）。
4.如權利要求1所述的一種硅芯爐爐蓋結構，其特征在于，所述的爐蓋本體（1）上設有分水器組件（5），分水器組件（5）分別外接冷卻水進回水管和連接均勻流經爐蓋本體（1）、CCD檢測口組件（2）和主觀察窗組件（3）內側的冷卻水管。
5.如權利要求1所述的一種硅芯
...【技術特征摘要】
1.一種硅芯爐爐蓋結構，其結構包括爐蓋本體（1），其特征在于，所述的爐蓋本體（1）上設有沿中心開口圓周方向相鄰設置的一對主觀察窗組件（3），兩主觀察窗組件（3）外側沿中心開口圓周方向分別相鄰設置一ccd檢測口組件（2），ccd檢測口組件（2）上安裝ccd相機，爐蓋本體（1）上設有壓力表組件（6）和泄壓口組件（7），爐蓋本體（1）外沿設有蒸汽擋板（8）。
2.如權利要求1所述的一種硅芯爐爐蓋結構，其特征在于，兩所述的主觀察窗組件（3）與爐蓋本體（1）中心的連線的夾角為58±5°，主觀察窗組件（3）和對應相鄰的ccd檢...
【專利技術屬性】
技術研發人員：薛金鑫，李方，李鋒偉，張懌，許建剛，
申請(專利權)人：連城凱克斯科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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