【技術實現步驟摘要】
本技術涉及單晶硅生產,特別涉及一種單晶爐籽晶穩定裝置及單晶爐。
技術介紹
1、在單晶爐中,重錘上方連接有拉繩,重錘下部設有用于夾持單晶籽晶的夾頭。當前的直拉單晶過程中,采用多次復投硅料的方式進行單爐次多顆單晶拉制,即一次拉制完成后,二次加料,再進行晶體拉制。通過加料筒二次加料后,副室需要旋轉歸位,由于重錘由拉繩連接,拉繩多為鎢絲繩,副室旋轉會引起拉繩、重錘和籽晶擺動。現有技術中每次副室歸位后均需要人為穩定籽晶的擺動,勞動強度大,費時費力。
技術實現思路
1、本技術的目的在于克服上述技術問題,提供一種單晶爐籽晶穩定裝置及單晶爐,能夠實現籽晶的自動穩定,自動化程度高,節約人力與工時。
2、為實現上述目的,本申請提供如下技術方案:
3、一種單晶爐籽晶穩定裝置,包括:
4、固定板,所述固定板適于與副室內重錘接觸;
5、伸縮機構,所述伸縮機構的伸縮桿與所述固定板連接,所述伸縮機構設于所述副室的觀察窗內,所述伸縮機構驅動所述固定板伸入所述副室內與所述重錘接觸。
6、可選的,所述副室的一側設有觀察窗,所述固定板和伸縮機構對應設置為一組。
7、可選的,所述副室的兩側分別設有觀察窗,所述固定板和伸縮機構對應設置為一組或兩組。
8、可選的,所述重錘的橫截面為圓形,所述固定板為與所述重錘的外周面相適配的弧形板。
9、可選的,所述固定板與所述重錘軸向的中部或下部位置接觸。
10、可選的,所述伸縮機構
11、可選的,所述伸縮機構的伸縮桿與所述固定板的中部連接。
12、一種單晶爐,包括如前所述的單晶爐籽晶穩定裝置。
13、綜上,本技術至少具有如下技術效果和優點:本申請通過穩定裝置代替人工勞動力,實現了籽晶的穩定由人工完成變成由單晶爐完成切換,降低勞動力強度,提高工作效率,節約人力與工時。
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1.一種單晶爐籽晶穩定裝置,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的單晶爐籽晶穩定裝置,其特征在于:所述副室的一側設有觀察窗,所述固定板和伸縮機構對應設置為一組。
3.根據權利要求1所述的單晶爐籽晶穩定裝置,其特征在于:所述副室的兩側分別設有觀察窗,所述固定板和伸縮機構對應設置為一組或兩組。
4.根據權利要求1所述的單晶爐籽晶穩定裝置,其特征在于:所述重錘的橫截面為圓形,所述固定板為與所述重錘的外周面相適配的弧形板。
5.根據權利要求1所述的單晶爐籽晶穩定裝置,其特征在于:所述固定板與所述重錘軸向的中部或下部位置接觸。
6.根據權利要求1所述的單晶爐籽晶穩定裝置,其特征在于:所述伸縮機構為伸縮氣缸或伸縮液壓缸。
7.根據權利要求1所述的單晶爐籽晶穩定裝置,其特征在于:所述伸縮機構的伸縮桿與所述固定板的中部連接。
8.一種單晶爐,其特征在于:包括如權利要求1-7任一項所述的單晶爐籽晶穩定裝置。
【技術特征摘要】
1.一種單晶爐籽晶穩定裝置,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的單晶爐籽晶穩定裝置,其特征在于:所述副室的一側設有觀察窗,所述固定板和伸縮機構對應設置為一組。
3.根據權利要求1所述的單晶爐籽晶穩定裝置,其特征在于:所述副室的兩側分別設有觀察窗,所述固定板和伸縮機構對應設置為一組或兩組。
4.根據權利要求1所述的單晶爐籽晶穩定裝置,其特征在于:所述重錘的橫截面為圓形,所述固定板為與所述重錘的外周面相...
【專利技術屬性】
技術研發人員:郭強,馮遠見,李雪峰,景吉祥,趙志遠,王春東,韓寶林,李海軍,
申請(專利權)人:內蒙古中環晶體材料有限公司,
類型:新型
國別省市:
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