【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及電池生產(chǎn)制造，尤其涉及一種承載組件及石墨舟。
技術(shù)介紹
1、poly(polycrystalline?silicon，多晶硅)工序是生產(chǎn)太陽電池中的重要工序。在poly工序中，需要將硅片放入石墨舟的石墨舟片上，并通過導(dǎo)電部將硅片固定于石墨舟片的表面，同時通過導(dǎo)電部與硅片實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電，然后采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)的氣相沉積(pecvd，plasma?enhanced?chemical?vapor?deposition)方式在硅片沿自身厚度方向的一面(以下簡稱工作面)上依次形成介質(zhì)層與晶硅層。然而，由于導(dǎo)電部需要固定硅片，導(dǎo)電部與硅片的工作面會具有一定的接觸面積，在硅片的工作面與導(dǎo)電部接觸的位置上具有較強(qiáng)電場，從而導(dǎo)致硅片的工作面與導(dǎo)電部接觸的位置相對于硅片的工作面其余位置形成的介質(zhì)層的厚度較厚，進(jìn)而導(dǎo)致該位置的介質(zhì)層的針孔密度較低，影響該位置的鈍化效果，最終影響生產(chǎn)得到的電池片的品質(zhì)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本技術(shù)實(shí)施例公開了一種承載組件及石墨舟，能夠使得在poly工序中，硅片上形成的介質(zhì)層較為均勻，提高最終生產(chǎn)得到的電池片的品質(zhì)。
2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，第一方面，本技術(shù)公開了一種承載組件，所述承載組件用于承載硅片，所述承載組件包括：
3、石墨舟片，所述石墨舟片具有沿其自身厚度方向上的第一側(cè)；
4、導(dǎo)電部，所述導(dǎo)電部設(shè)于所述第一側(cè)，所述導(dǎo)電部用于抵接于所述硅片沿第一方向上的一側(cè)，且所述導(dǎo)電部與所述硅片電連接；以及
5、止擋部，所述止擋部設(shè)
6、其中，所述第一方向與所述厚度方向相交。
7、作為一種可選的實(shí)施方式，在本技術(shù)第一方面的實(shí)施例中，所述止擋部和所述導(dǎo)電部在所述第一側(cè)所在表面上間隔設(shè)置。
8、作為一種可選的實(shí)施方式，在本技術(shù)第一方面的實(shí)施例中，所述止擋部包括承托部分和止擋部分，所述承托部分設(shè)于所述第一側(cè)，且所述承托部分與所述導(dǎo)電部在所述第一側(cè)所在表面上間隔設(shè)置，所述承托部分用于承托所述硅片沿所述第一方向上的一側(cè)，所述止擋部分設(shè)于所述承托部分背離所述石墨舟片的一側(cè)，沿所述厚度方向上，所述承托部分在所述第一側(cè)上的投影位于所述止擋部分在所述第一側(cè)上的投影內(nèi)，所述止擋部分與所述第一側(cè)之間形成所述第一空間；其中，所述承托部分和所述止擋部分均為絕緣材質(zhì)。
9、作為一種可選的實(shí)施方式，在本技術(shù)第一方面的實(shí)施例中，所述第一側(cè)上設(shè)有第一安裝孔，所述導(dǎo)電部包括第一安裝部分及接觸部分，所述第一安裝部分設(shè)于所述第一安裝孔，所述接觸部分連接于所述第一安裝部分沿所述厚度方向的一側(cè)，所述接觸部分用于抵接于所述硅片沿所述第一方向上的一側(cè)，以與所述硅片電連接；
10、所述第一側(cè)上設(shè)有第二安裝孔，且所述第二安裝孔在所述第一側(cè)所在表面上間隔設(shè)置，所述止擋部還包括第二安裝部分，所述第二安裝部分設(shè)于所述第二安裝孔，所述承托部分背離所述止擋部分的一端連接于所述第二安裝部分沿所述厚度方向的一側(cè)。
11、作為一種可選的實(shí)施方式，在本技術(shù)第一方面的實(shí)施例中，所述石墨舟片還具有沿其自身厚度方向上的第二側(cè)，所述第一安裝孔貫通至所述第二側(cè)，所述接觸部分的數(shù)量為兩個，兩個所述接觸部分分別連接于所述第一安裝部分沿厚度方向的兩側(cè)；
12、所述第二安裝孔貫通至所述第二側(cè)，所述承托部分與止擋部分的數(shù)量均為兩個，兩個所述承托部分分別連接于所述第二安裝部分沿厚度方向的兩側(cè)，每個所述止擋部分分別連接于每個所述承托部分背離所述石墨舟片的一側(cè)。
13、作為一種可選的實(shí)施方式，在本技術(shù)第一方面的實(shí)施例中，所述止擋部設(shè)于所述導(dǎo)電部背離所述石墨舟片的一側(cè)。
14、作為一種可選的實(shí)施方式，在本技術(shù)第一方面的實(shí)施例中，所述止擋部包括止擋部分，所述止擋部分設(shè)于所述導(dǎo)電部背離所述石墨舟片的一側(cè)，沿所述厚度方向上，所述導(dǎo)電部在所述第一側(cè)上的投影位于所述止擋部分在所述第一側(cè)上的投影內(nèi)，所述止擋部分與所述第一側(cè)之間形成所述第一空間，所述止擋部分為絕緣材質(zhì)；
15、或者，所述止擋部包括止擋部分及隔離層，所述止擋部分設(shè)于所述導(dǎo)電部背離所述石墨舟片的一側(cè)，沿所述厚度方向上，所述導(dǎo)電部在所述第一側(cè)上的投影位于所述止擋部分在所述第一側(cè)上的投影內(nèi)，所述隔離層設(shè)于所述止擋部分朝向所述第一側(cè)的一面，所述隔離層與所述第一側(cè)之間形成所述第一空間，所述隔離層為絕緣材質(zhì)。
16、作為一種可選的實(shí)施方式，在本技術(shù)第一方面的實(shí)施例中，所述第一側(cè)上設(shè)有第一安裝孔，所述導(dǎo)電部包括第一安裝部分及接觸部分，所述第一安裝部分設(shè)于所述第一安裝孔，所述接觸部分連接于所述第一安裝部分沿所述厚度方向的一側(cè)，所述接觸部分用于抵接于所述硅片沿所述第一方向上的一側(cè)，以與所述硅片電連接，所述止擋部分設(shè)于所述接觸部分背離所述石墨舟片的一側(cè)。
17、作為一種可選的實(shí)施方式，在本技術(shù)第一方面的實(shí)施例中，所述石墨舟片還具有沿其自身厚度方向上與所述第一側(cè)相背的第二側(cè)，所述第一安裝孔貫通至所述第二側(cè)，所述接觸部分的數(shù)量為兩個，兩個所述接觸部分分別連接于所述第一安裝部分沿厚度方向的兩側(cè)，所述止擋部分的數(shù)量為兩個，每個所述止擋部分設(shè)于每個所述接觸部分背離所述石墨舟片的一端。
18、第二方面，本技術(shù)公開了一種石墨舟，包括多個如上述第一方面所述的承載組件，多個所述承載組件沿自身的厚度方向間隔設(shè)置。
19、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)的有益效果在于：
20、本技術(shù)實(shí)施例提供的承載組件及石墨舟，通過設(shè)置導(dǎo)電部與止擋部，導(dǎo)電部用于抵接于硅片沿第一方向的一側(cè)，并同時與硅片電連接，既能夠相對石墨舟片在第一方向上固定硅片，又能夠滿足poly工序中的向硅片通電的需求，止擋部與石墨舟片之間形成的第一空間能夠容納硅片，從而限制硅片相對石墨舟片在厚度方向上的移動。由于導(dǎo)電部是抵接于硅片沿第一方向的一側(cè)，硅片在厚度方向上的移動是由止擋部限制，且止擋部被配置為與硅片相互絕緣，在poly工序中，硅片的厚度方向上的一面與止擋部接觸(或臨近)的位置的電場相對于硅片的工作面其余位置的電場較為一致，使得硅片上形成的介質(zhì)層較為均勻，從而提高了最終生產(chǎn)得到的電池片的品質(zhì)。
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1.一種承載組件，其特征在于，所述承載組件用于承載硅片，所述承載組件包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載組件，其特征在于，所述止擋部和所述導(dǎo)電部在所述第一側(cè)所在表面上間隔設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的承載組件，其特征在于，所述止擋部包括承托部分和止擋部分，所述承托部分設(shè)于所述第一側(cè)，且所述承托部分與所述導(dǎo)電部在所述第一側(cè)所在表面上間隔設(shè)置，所述承托部分用于承托所述硅片沿所述第一方向上的一側(cè)，所述止擋部分設(shè)于所述承托部分背離所述石墨舟片的一側(cè)，沿所述厚度方向上，所述承托部分在所述第一側(cè)上的投影位于所述止擋部分在所述第一側(cè)上的投影內(nèi)，所述止擋部分與所述第一側(cè)之間形成所述第一空間；其中，所述承托部分和所述止擋部分均為絕緣材質(zhì)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的承載組件，其特征在于，所述第一側(cè)上設(shè)有第一安裝孔，所述導(dǎo)電部包括第一安裝部分及接觸部分，所述第一安裝部分設(shè)于所述第一安裝孔，所述接觸部分連接于所述第一安裝部分沿所述厚度方向的一側(cè)，所述接觸部分用于抵接于所述硅片沿所述第一方向上的一側(cè)，以與所述硅片電連接；
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的承載組件，
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載組件，其特征在于，所述止擋部設(shè)于所述導(dǎo)電部背離所述石墨舟片的一側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的承載組件，其特征在于，所述止擋部包括止擋部分，所述止擋部分設(shè)于所述導(dǎo)電部背離所述石墨舟片的一側(cè)，沿所述厚度方向上，所述導(dǎo)電部在所述第一側(cè)上的投影位于所述止擋部分在所述第一側(cè)上的投影內(nèi)，所述止擋部分與所述第一側(cè)之間形成所述第一空間，所述止擋部分為絕緣材質(zhì)；
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的承載組件，其特征在于，所述第一側(cè)上設(shè)有第一安裝孔，所述導(dǎo)電部包括第一安裝部分及接觸部分，所述第一安裝部分設(shè)于所述第一安裝孔，所述接觸部分連接于所述第一安裝部分沿所述厚度方向的一側(cè)，所述接觸部分用于抵接于所述硅片沿所述第一方向上的一側(cè)，以與所述硅片電連接，所述止擋部分設(shè)于所述接觸部分背離所述石墨舟片的一側(cè)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的承載組件，其特征在于，所述石墨舟片還具有沿其自身厚度方向上與所述第一側(cè)相背的第二側(cè)，所述第一安裝孔貫通至所述第二側(cè)，所述接觸部分的數(shù)量為兩個，兩個所述接觸部分分別連接于所述第一安裝部分沿厚度方向的兩側(cè)，所述止擋部分的數(shù)量為兩個，每個所述止擋部分設(shè)于每個所述接觸部分背離所述石墨舟片的一端。
10.一種石墨舟，其特征在于，包括多個如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的承載組件，多個所述承載組件沿自身的厚度方向間隔設(shè)置。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種承載組件，其特征在于，所述承載組件用于承載硅片，所述承載組件包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載組件，其特征在于，所述止擋部和所述導(dǎo)電部在所述第一側(cè)所在表面上間隔設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的承載組件，其特征在于，所述止擋部包括承托部分和止擋部分，所述承托部分設(shè)于所述第一側(cè)，且所述承托部分與所述導(dǎo)電部在所述第一側(cè)所在表面上間隔設(shè)置，所述承托部分用于承托所述硅片沿所述第一方向上的一側(cè)，所述止擋部分設(shè)于所述承托部分背離所述石墨舟片的一側(cè)，沿所述厚度方向上，所述承托部分在所述第一側(cè)上的投影位于所述止擋部分在所述第一側(cè)上的投影內(nèi)，所述止擋部分與所述第一側(cè)之間形成所述第一空間；其中，所述承托部分和所述止擋部分均為絕緣材質(zhì)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的承載組件，其特征在于，所述第一側(cè)上設(shè)有第一安裝孔，所述導(dǎo)電部包括第一安裝部分及接觸部分，所述第一安裝部分設(shè)于所述第一安裝孔，所述接觸部分連接于所述第一安裝部分沿所述厚度方向的一側(cè)，所述接觸部分用于抵接于所述硅片沿所述第一方向上的一側(cè)，以與所述硅片電連接；
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的承載組件，其特征在于，所述石墨舟片還具有沿其自身厚度方向上的第二側(cè)，所述第一安裝孔貫通至所述第二側(cè)，所述接觸部分的數(shù)量為兩個，兩個所述接觸部分分別連接于所述第一安裝部分沿厚度方向的兩側(cè)；
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【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王海全，周公慶，馬列，趙沙桐，
申請(專利權(quán))人：通威太陽能眉山有限公司，
類型：新型
國別省市：
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