【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及液體循環(huán)設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種用于掩模基板拋光機(jī)的拋光液循環(huán)供給系統(tǒng)。
技術(shù)介紹
1、掩模版在光刻機(jī)曝光系統(tǒng)中控制光路衍射與反射并最終幫助實(shí)現(xiàn)納米精度圖形轉(zhuǎn)移，決定了一款芯片的最小關(guān)鍵尺寸。掩模版主要由掩模基板、遮光層和保護(hù)模組成，其中基板（主要采用玻璃基材，包括石英和蘇打兩種材質(zhì)）占直接原材料成本比重達(dá)90%。掩模基板是制作微細(xì)光掩模圖形的感光空白板。
2、掩模基板的精度以及生產(chǎn)質(zhì)量對掩模版的生產(chǎn)至關(guān)重要，掩模基板的精度主要依靠拋光機(jī)來拋光來提升。掩模基板的拋光是一個(gè)復(fù)雜過程，需要經(jīng)過多道工序，每道工序都需要使用不同的拋光液。在拋光機(jī)待機(jī)過程中拋光機(jī)內(nèi)的拋光液容易產(chǎn)生團(tuán)簇現(xiàn)象，堵塞管路同時(shí)影響掩模基板的拋光精度。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本申請?zhí)峁┮环N用于掩模基板拋光機(jī)的拋光液循環(huán)供給系統(tǒng)，具有拋光液自循環(huán)以及管路自疏通功能。
2、本申請?zhí)峁┑囊环N用于掩模基板拋光機(jī)的拋光液循環(huán)供給系統(tǒng)采用如下的技術(shù)方案：
3、一種用于掩模基板拋光機(jī)的拋光液循環(huán)供給系統(tǒng)，包括支撐組件，所述支撐組件上設(shè)有用于供給拋光液的供給機(jī)構(gòu)，所述供給機(jī)構(gòu)包括用于存儲拋光液的桶體（、拋光液輸出管路組件、注水管路組件；
4、所述拋光液輸出管路組件與桶體以及拋光機(jī)相連接；在拋光機(jī)工作狀態(tài)下拋光液輸出管路組件與桶體以及拋光機(jī)均連通，所述拋光液輸出管路組件將桶體內(nèi)的拋光液輸出到拋光機(jī)上；在拋光機(jī)待機(jī)狀態(tài)下所述拋光液輸出管路組件與桶體相連通、所述拋光液輸出管路組件與
5、所述注水管路組件與桶體以及拋光液輸出管路組件相連接；在拋光機(jī)工作狀態(tài)下所述注水管路組件與桶體相連通、所述注水管路組件與拋光液輸出管路組件不連通，所述桶體注水管路組件往桶體內(nèi)注入去離子水；在拋光機(jī)待機(jī)狀態(tài)下所述注水管路組件與桶體以及拋光液輸出管路組件均不連通；在拋光機(jī)停機(jī)狀態(tài)下所述注水管路組件與桶體不連通、所述注水管路組件與拋光液輸出管路組件相連通，所述注水管路組件向拋光液輸出管路組件內(nèi)注入去離子水，去離子水在拋光液輸出管路組件內(nèi)循環(huán)流動(dòng)。
6、通過采用上述技術(shù)方案，在拋光機(jī)工作狀態(tài)下，注水管路組件往桶體內(nèi)注入去離子水，從而調(diào)控拋光液的濃度。在拋光機(jī)待機(jī)狀態(tài)下桶體內(nèi)的拋光液在桶體以及拋光液輸出管路組件之間循環(huán)流動(dòng)，從而預(yù)防拋光液團(tuán)簇現(xiàn)象，同時(shí)在拋光液循環(huán)過程中也能疏通拋光液輸出管路組件內(nèi)的管路，預(yù)防管路擁堵。在拋光機(jī)非工作狀態(tài)下，注水管路組件將去離子水注入到拋光液輸出管路組件內(nèi)，使得去離子水在拋光液輸出管路組件內(nèi)循環(huán)流動(dòng)，清潔拋光液輸出管路組件的管壁。
7、優(yōu)選的，所述拋光液輸出管路組件包括依次連接的拋光液泵出管道、下球閥、短彎管、泵、變徑接頭、泵出直管、拋光液泵出三通管接頭、后pfa接頭、濾前管道、左球閥、濾芯、右球閥、濾后管道、第一氣體藥液閥、輸出管道、安裝板、第一法蘭、輸出接口，所述拋光液泵出管道與桶體的內(nèi)腔的相連通，所述輸出接口通過外部管路與拋光機(jī)相連通；所述拋光液輸出管路組件還包括依次連接的輸入短彎管、上球閥、輸入長彎管、前pfa接頭、輸入短直管和輸入長直管，所述輸入短彎管與拋光液泵出三通管接頭相連接，所述拋光液泵出管道以及輸入長直管均伸入桶體的內(nèi)腔；在拋光機(jī)工作狀態(tài)或者待機(jī)狀態(tài)下所述拋光液泵出管道與桶體的內(nèi)腔相連通；在拋光機(jī)非工作狀態(tài)下所述拋光液泵出管道與桶體的內(nèi)腔不連通。
8、通過采用上述技術(shù)方案，拋光機(jī)待機(jī)狀態(tài)下，打開上球閥、右球閥關(guān)閉就能使得拋光液在拋光液輸出管路組件以及桶體之間的循環(huán)。拋光機(jī)工作狀態(tài)下上球閥關(guān)閉、右球閥打開就能將拋光液通過輸出接口輸入到拋光機(jī)內(nèi)；拋光機(jī)非工作狀態(tài)下，關(guān)閉右球閥、上球閥、拋光液泵出管道與桶體的連通口，注水管路組件向拋光液輸出管路組件內(nèi)注入去離子水，去離子水就會在拋光液輸出管路組件內(nèi)循環(huán)流動(dòng)。
9、優(yōu)選的，注水管路組件包括依次連接的注水輸出管、注水用短管、注水管路pfa接頭、注水用長彎管、減壓閥、注水用短彎管、球閥、注水輸入管、注水管路接頭，所述注水輸出管伸入桶體的內(nèi)腔，桶體所述注水輸出管上設(shè)有搭接管道，所述搭接管道與拋光液泵出管道相連接；在拋光機(jī)工作狀態(tài)以及待機(jī)狀態(tài)下所述注水輸出管連通桶體的內(nèi)腔、所述搭接管道不連通通注水輸出管與拋光液泵出管道；在拋光機(jī)非工作狀態(tài)下所述注水輸出管不連通桶體的內(nèi)腔、所述搭接管道連通注水輸出管與拋光液泵出管道。
10、通過采用上述技術(shù)方案，能完成對拋光液濃度的調(diào)整以及拋光液輸出管路組件的清潔。
11、優(yōu)選的，所述供給機(jī)構(gòu)還包括設(shè)于支撐組件上用于供給拋光液的拋光液輸入管路組件，所述拋光液輸入管路組件用于向桶體內(nèi)補(bǔ)充拋光液；所述光液輸入管路組件包括依次連接的輸入接口、設(shè)于安裝板上的第二法蘭、輸入管道、連接球閥長彎管、第二氣體藥液閥、短彎管、第二pfa接頭、短直管、長直管，所述長直管與桶體的內(nèi)腔相連接。
12、通過采用上述技術(shù)方案，能完成拋光液的自動(dòng)加注。
13、優(yōu)選的，所述供給機(jī)構(gòu)還包括排水管路組件，所述排水管路組件包括依次連接的排水頂部輸入管道、上pfa接頭、排水用長彎管、排水管路三通管接頭、排水用直管、排水管路接頭，所述排水頂部輸入管道連通桶體的內(nèi)腔，所述排水頂部輸入管道與桶體的連接口位于桶體的頂部；所述排水管路組件還包括與排水管路三通管接頭相連接的第三氣體藥液閥、與第三氣體藥液閥相連接的排水用短彎管、與排水用短彎管相連接的下pfa接頭、與下pfa接頭相連接的排水底部輸入管道，所述排水底部輸入管道與桶體的內(nèi)腔相連通，所述排水底部輸入管道與桶體的連接口位于桶體的底部。
14、通過采用上述技術(shù)方案，桶體內(nèi)的拋光液過滿時(shí)能通過排水頂部輸入管道排出桶體，預(yù)防拋光液過滿。平時(shí)桶體內(nèi)的拋光液能通過排水底部輸入。
15、優(yōu)選的，所述桶體上設(shè)有攪拌軸法蘭、攪拌軸、電機(jī)，所述攪拌軸通過攪拌軸法蘭與連接電機(jī)相連接。
16、通過采用上述技術(shù)方案，能對桶體內(nèi)的拋光液進(jìn)行攪拌和監(jiān)控，預(yù)防拋光液團(tuán)簇。
17、優(yōu)選的，所述支撐組件包括若干鋁型材構(gòu)成的安裝架和萬向輪。
18、通過采用上述技術(shù)方案，方便拋光液循環(huán)供給系統(tǒng)的位移。
19、優(yōu)選的，所述支撐組件上設(shè)有兩組供給機(jī)構(gòu)，兩組所述供給機(jī)構(gòu)對稱分布在支撐組件上。
20、本專利技術(shù)技術(shù)效果主要體現(xiàn)在以下方面：
21、1、本專利技術(shù)能拋光液自循環(huán)，預(yù)防拋光液團(tuán)簇現(xiàn)象；
22、2、本專利技術(shù)通過在機(jī)體休眠時(shí)往桶體內(nèi)注入去離子水來清潔管路以及預(yù)防拋光液團(tuán)簇；
23、3、本專利技術(shù)能對桶體內(nèi)的拋光液進(jìn)行攪拌和監(jiān)控，預(yù)防拋光液團(tuán)簇。
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1.一種用于掩模基板拋光機(jī)的拋光液循環(huán)供給系統(tǒng)，包括支撐組件（4），其特征在于：所述支撐組件（4）上設(shè)有用于供給拋光液的供給機(jī)構(gòu)（2），所述供給機(jī)構(gòu)（2）包括用于存儲拋光液的桶體（6-1）、拋光液輸出管路組件（9）、注水管路組件（7）；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于掩模基板拋光機(jī)的拋光液循環(huán)供給系統(tǒng)，其特征在于：所述拋光液輸出管路組件（9）包括依次連接的拋光液泵出管道（9-1）、下球閥（9-2）、短彎管（9-3）、泵（9-4）、變徑接頭（9-5）、泵出直管（9-6）、拋光液泵出三通管接頭（9-7）、后PFA接頭（9-8）、濾前管道（9-9）、左球閥（9-10）、濾芯（9-11）、右球閥（9-12）、濾后管道（9-13）、第一氣體藥液閥（9-14）、輸出管道（9-15）、輸出接口（9-16），所述拋光液泵出管道（9-1）與桶體（6-1）的內(nèi)腔的相連通，所述輸出接口（9-16）通過外部管路與拋光機(jī)相連通；所述拋光液輸出管路組件（9）還包括依次連接的輸入短彎管（9-17）、上球閥（9-18）、輸入長彎管（9-19）、前PFA接頭（9-20）、輸入短直管（9-21）和輸入
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于掩模基板拋光機(jī)的拋光液循環(huán)供給系統(tǒng)，其特征在于：注水管路組件（7）包括依次連接的注水輸出管（7-1）、注水用短管（7-2）、注水管路PFA接頭（7-3）、注水用長彎管（7-4）、減壓閥（7-5）、注水用短彎管（7-6）、球閥（7-7）、注水輸入管（7-8）、注水管路接頭（7-9），所述注水輸出管（7-1）伸入桶體（6-1）的內(nèi)腔，桶體所述注水輸出管（7-1）上設(shè)有搭接管道（7-10），所述搭接管道（7-10）與拋光液泵出管道（9-1）相連接；在拋光機(jī)工作狀態(tài)以及待機(jī)狀態(tài)下所述注水輸出管（7-1）連通桶體（6-1）的內(nèi)腔、所述搭接管道（7-10）不連通通注水輸出管（7-1）與拋光液泵出管道（9-1）；在拋光機(jī)非工作狀態(tài)下所述注水輸出管（7-1）不連通桶體（6-1）的內(nèi)腔、所述搭接管道（7-10）連通注水輸出管（7-1）與拋光液泵出管道（9-1）。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于掩模基板拋光機(jī)的拋光液循環(huán)供給系統(tǒng)，其特征在于：所述供給機(jī)構(gòu)（2）還包括設(shè)于支撐組件（4）上用于供給拋光液的拋光液輸入管路組件（10），所述拋光液輸入管路組件（10）用于向桶體（6-1）內(nèi)補(bǔ)充拋光液；所述光液輸入管路組件（10）包括依次連接的輸入接口（10-1）、輸入管道（10-2）、連接球閥（10-3）、長彎管（10-4）、第二氣體藥液閥（10-5）、短彎管（10-6）、第二PFA接頭（10-7）、短直管（10-8）、長直管（10-9），所述長直管（10-9）與桶體（6-1）的內(nèi)腔相連通。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于掩模基板拋光機(jī)的拋光液循環(huán)供給系統(tǒng)，其特征在于：所述供給機(jī)構(gòu)（2）還包括排水管路組件（8），所述排水管路組件（8）包括依次連接的排水頂部輸入管道（8-1）、上PFA接頭（8-2）、排水用長彎管（8-3）、排水管路三通管接頭（8-4）、排水用直管（8-9）、排水管路接頭（8-10），所述排水頂部輸入管道（8-1）連通桶體（6-1）的內(nèi)腔，所述排水頂部輸入管道（8-1）與桶體（6-1）的連接口位于桶體（6-1）的頂部；所述排水管路組件（8）還包括與排水管路三通管接頭（8-4）相連接的第三氣體藥液閥（8-5）、與第三氣體藥液閥（8-5）相連接的排水用短彎管（8-6）、與排水用短彎管（8-6）相連接的下PFA接頭（8-7）、與下PFA接頭（8-7）相連接的排水底部輸入管道（8-8），所述排水底部輸入管道（8-8）與桶體（6-1）的內(nèi)腔相連通，所述排水底部輸入管道（8-8）與桶體（6-1）的連接口位于桶體（6-1）的底部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于掩模基板拋光機(jī)的拋光液循環(huán)供給系統(tǒng)，其特征在于：所述桶體（6-1）上設(shè)有攪拌軸法蘭（6-2）、攪拌軸（6-3）、電機(jī)（6-4），所述攪拌軸（6-3）通過攪拌軸法蘭（6-2）與連接電機(jī)（6-4）相連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于掩模基板拋光機(jī)的拋光液循環(huán)供給系統(tǒng)，其特征在于：所述支撐組件（4）包括若干鋁型材構(gòu)成的安裝架（4-1）和萬向輪（4-2）。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一...
【技術(shù)特征摘要】
1.一種用于掩模基板拋光機(jī)的拋光液循環(huán)供給系統(tǒng)，包括支撐組件（4），其特征在于：所述支撐組件（4）上設(shè)有用于供給拋光液的供給機(jī)構(gòu)（2），所述供給機(jī)構(gòu)（2）包括用于存儲拋光液的桶體（6-1）、拋光液輸出管路組件（9）、注水管路組件（7）；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于掩模基板拋光機(jī)的拋光液循環(huán)供給系統(tǒng)，其特征在于：所述拋光液輸出管路組件（9）包括依次連接的拋光液泵出管道（9-1）、下球閥（9-2）、短彎管（9-3）、泵（9-4）、變徑接頭（9-5）、泵出直管（9-6）、拋光液泵出三通管接頭（9-7）、后pfa接頭（9-8）、濾前管道（9-9）、左球閥（9-10）、濾芯（9-11）、右球閥（9-12）、濾后管道（9-13）、第一氣體藥液閥（9-14）、輸出管道（9-15）、輸出接口（9-16），所述拋光液泵出管道（9-1）與桶體（6-1）的內(nèi)腔的相連通，所述輸出接口（9-16）通過外部管路與拋光機(jī)相連通；所述拋光液輸出管路組件（9）還包括依次連接的輸入短彎管（9-17）、上球閥（9-18）、輸入長彎管（9-19）、前pfa接頭（9-20）、輸入短直管（9-21）和輸入長直管（9-22），所述輸入短彎管（9-17）與拋光液泵出三通管接頭（9-7）相連接，所述拋光液泵出管道（9-1）以及輸入長直管（9-22）均伸入桶體（6-1）的內(nèi)腔；在拋光機(jī)工作狀態(tài)或者待機(jī)狀態(tài)下所述拋光液泵出管道（9-1）與桶體（6-1）的內(nèi)腔相連通；在拋光機(jī)非工作狀態(tài)下所述拋光液泵出管道（9-1）與桶體（6-1）的內(nèi)腔不連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于掩模基板拋光機(jī)的拋光液循環(huán)供給系統(tǒng)，其特征在于：注水管路組件（7）包括依次連接的注水輸出管（7-1）、注水用短管（7-2）、注水管路pfa接頭（7-3）、注水用長彎管（7-4）、減壓閥（7-5）、注水用短彎管（7-6）、球閥（7-7）、注水輸入管（7-8）、注水管路接頭（7-9），所述注水輸出管（7-1）伸入桶體（6-1）的內(nèi)腔，桶體所述注水輸出管（7-1）上設(shè)有搭接管道（7-10），所述搭接管道（7-10）與拋光液泵出管道（9-1）相連接；在拋光機(jī)工作狀態(tài)以及待機(jī)狀態(tài)下所述注水輸出管（7-1）連通桶體（6-1）的內(nèi)腔、所述搭接管道（7-10）不連通通注水輸出管（7-1）與拋光液泵出管道（9-1）；在拋光機(jī)非工作狀態(tài)下所述注水輸出管（7-1）不連通桶體（6-1）的內(nèi)腔、所述搭接管道（7-1...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：張振超，劉宗澤，嵇文超，徐學(xué)科，劉斌，
申請(專利權(quán))人：中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所，
類型：發(fā)明
國別省市：
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