【技術實現步驟摘要】
本公開涉及用于檢查基板中異物的異物檢查方法、檢查裝置、成型方法、成型裝置以及物品制造方法。
技術介紹
1、可以通過使用投影曝光裝置和/或諸如壓印裝置的成型裝置來制造諸如半導體器件或微機電系統(mems)器件的具有精細結構的物品。在這種微加工裝置中，基板上的異物可能會導致要制造的物品中出現缺陷。特別是在通過使模具與組合物接觸來成型基板上的組合物(可固化組合物)的成型裝置中，基板上的異物可能會破壞模具或縮短模具的壽命。
2、為了減少模具的破損或模具壽命的縮短，預先使用基板檢查裝置(異物檢查裝置)來檢查基板中的異物。典型的基板檢查裝置(如日本特開第2022-29829號公報中公開的裝置)被構造為通過用斜入射的檢查光照射基板并通過光電檢測器接收由異物散射的光來檢測異物是否存在。
3、日本專利第6541518號公開了一種將具有突起和凹陷的透明模具以壓印方式與液體壓印抗蝕劑接觸的技術。該技術還包括透過模具拍攝干涉條紋的圖像，以基于干涉條紋的異常圖案來檢測異物。
4、已知的異物檢查裝置(例如日本特開第2022-29829號公報中所公開的裝置)的分辨率有限，并且需要大量時間來進行檢查。
5、在日本專利第6541518號中公開的該技術被布置為在壓印過程中檢測夾在模具與抗蝕劑之間的異物存在。
技術實現思路
1、本公開提供了一種與用于檢查基板中異物的異物檢查方法有關的新技術。已知的異物檢查裝置(例如，日本特開第2022-29829號公報或日本專利第6541
2、本公開的一個方面提供了一種用于檢查異物的異物檢查方法，所述異物檢查方法包括：使第一基板的第一表面與第二基板的第二表面接觸，以使第一表面和第二表面彼此面對；獲得來自相互接觸的第一表面和第二表面的反射光的圖像；以及基于所獲得的圖像確定異物存在、異物不存在或者異物位置。
3、根據以下參照附圖對示例實施例的描述，本公開的進一步特征將變得顯而易見。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種用于檢查異物的異物檢查方法，所述異物檢查方法包括：
2.根據權利要求1所述的異物檢查方法，其中，第一基板包含透光材料。
3.根據權利要求2所述的異物檢查方法，所述異物檢查方法還包括：
4.根據權利要求1所述的異物檢查方法，其中，接觸步驟包括：使第一基板的第一表面與第二基板的第二表面接觸，以形成第一表面與第二表面相互接觸的接觸區域，以及由于異物而導致第一表面與第二表面不相互接觸的非接觸區域。
5.根據權利要求4所述的異物檢查方法，其中，獲得步驟包括：獲得在使第一表面和第二表面中的至少一者彎曲的異物周圍擴展的非接觸區域的圖像。
6.根據權利要求3所述的異物檢查方法，其中，第二基板包含對光不透明的材料。
7.根據權利要求6所述的異物檢查方法，其中，第一基板是檢查對象基板。
8.根據權利要求6所述的異物檢查方法，其中，第二基板是檢查對象基板。
9.根據權利要求2所述的異物檢查方法，其中，第一基板是石英玻璃晶片。
10.根據權利要求6所述的異物檢查方法，其中，第二基板是硅晶片
11.根據權利要求1所述的異物檢查方法，其中，第一基板的第一表面和第二基板的第二表面具有相同的尺寸。
12.根據權利要求1所述的異物檢查方法，其中，第一基板的第一表面的尺寸小于第二基板的第二表面的尺寸，并且在第一表面與第二表面之間的接觸位置正在移動的同時對第二表面的多個區域重復進行檢查。
13.根據權利要求3所述的異物檢查方法，其中，光是單色光。
14.一種成型方法，其包括：
15.一種成型方法，其包括：
16.一種成型方法，其包括：
17.一種用于檢查異物的異物檢查裝置，所述異物檢查裝置包括：
18.根據權利要求17所述的異物檢查裝置，所述異物檢查裝置還包括：
19.一種成型裝置，其包括：
20.一種物品制造方法，其包括：
...【技術特征摘要】
1.一種用于檢查異物的異物檢查方法，所述異物檢查方法包括：
2.根據權利要求1所述的異物檢查方法，其中，第一基板包含透光材料。
3.根據權利要求2所述的異物檢查方法，所述異物檢查方法還包括：
4.根據權利要求1所述的異物檢查方法，其中，接觸步驟包括：使第一基板的第一表面與第二基板的第二表面接觸，以形成第一表面與第二表面相互接觸的接觸區域，以及由于異物而導致第一表面與第二表面不相互接觸的非接觸區域。
5.根據權利要求4所述的異物檢查方法，其中，獲得步驟包括：獲得在使第一表面和第二表面中的至少一者彎曲的異物周圍擴展的非接觸區域的圖像。
6.根據權利要求3所述的異物檢查方法，其中，第二基板包含對光不透明的材料。
7.根據權利要求6所述的異物檢查方法，其中，第一基板是檢查對象基板。
8.根據權利要求6所述的異物檢查方法，其中，第二基板是檢查對象基板。
9.根據權利要求2所述的異...
【專利技術屬性】
技術研發人員：伊藤俊樹，今村成希，松島雛子，勝田健，
申請(專利權)人：佳能株式會社，
類型：發明
國別省市：
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