【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及微納米機器人驅動控制，特別是涉及一種微納米機器人驅控裝置及其制備方法。
技術介紹
1、隨著微納米制造和操作系統的進步，各種微納米機器人陸續出現，這些機器人通過消耗周圍介質中的燃料，或利用外部能源，如光、電場、磁場，或它們的組合將外部能量轉化為自身的動能。
2、目前常采用的方法是在微納機器人表面修飾磁性材料，通過外加磁場的方向，控制微納機器人的方向，但這種方法需要使微納機器人具備磁性，以及需要設置旋轉的磁場，驅動控制不方便。
技術實現思路
1、本專利技術的目的是提供一種微納米機器人驅控裝置及其制備方法，以解決上述現有技術存在的問題，便于對微納米機器人進行驅動控制。
2、為實現上述目的，本專利技術提供了如下方案：
3、本專利技術提供一種微納米機器人驅控裝置，包括多個超聲驅動單元，多個所述超聲驅動單元圍設有一驅動腔，所述驅動腔內用于放置微納米機器人，各所述超聲驅動單元均能夠向所述驅動腔內輻射超聲波并能夠作用于所述微納米機器人。
4、優選地，多個所述超聲驅動單元圍設成圓環狀。
5、優選地，各所述超聲驅動單元均設置為壓電超聲波換能器。
6、優選地，各所述超聲驅動單元厚度方向上均包括沿背離所述驅動腔依次設置的內電極層、壓電層和外電極層；所述壓電層電連接于所述內電極層和所述外電極層，且所述內電極層和所述外電極層用于電連接于外部供電。
7、優選地，多個所述超聲驅動單元的多個所述內電極層之間周向上一體成
8、優選地，多個所述壓電層圍成壓電環，所述壓電環均包括環形框架和固定分布于所述環形框架內的多個壓電單晶顆粒，各所述壓電單晶顆粒均與對應所述內電極層和所述外電極層電連接。
9、優選地，還包括基底，多個所述超聲驅動單元固定設置于所述基底上。
10、優選地，還包括透聲密封層，所述透聲密封層裹設于各所述超聲驅動單元外。
11、本專利技術還提供一種微納米機器人驅控裝置的制備方法，括如下步驟：
12、制備：制備多個超聲驅動單元并能夠圍成一驅動腔；
13、固定：將多個所述超聲驅動單元固定，以使微納米機器人能夠置于多個所述驅動腔內。
14、優選地，各所述超聲驅動單元均設置為壓電超聲波換能器，多個所述超聲驅動單元固定設置于基底上，且多個所述超聲驅動單元外裹設有透聲密封層；各所述超聲驅動單元厚度方向上均包括沿背離所述驅動腔依次設置的內電極層、壓電層和外電極層，所述壓電層電連接于所述內電極層和所述外電極層；多個所述內電極層之間周向上一體成型；多個所述壓電層之間周向上一體成型；周向上相鄰的兩個所述外電極層端部之間具有間隔；多個所述壓電層圍成壓電環，所述壓電環均包括環形框架和固定分布于所述環形框架內的多個壓電單晶顆粒，各所述壓電單晶顆粒均與對應所述內電極層和所述外電極層電連接；
15、步驟制備中：將多個壓電單晶顆粒通過環形框架進行固定形成所述壓電環，并在所述壓電環的內周面和外周面固定電極漿料，所述壓電環內周面成型所述內電極層，所述壓電環外周面上分割成多個所述外電極層；然后在所述壓電環外周裹設所述透聲密封層；
16、步驟固定中，將所述超聲驅動單元固定于所述基底上。
17、本專利技術相對于現有技術取得了以下技術效果：
18、本專利技術提供的微納米機器人驅控裝置，設置多個超聲驅動單元周向上對微納米機器人進行驅動，多個超聲驅動單元能夠在不同方向向驅動腔內輻射超聲波進而能夠在不同方向上對微納米機器人進行驅動控制，且通過控制超聲驅動單元輻射的超聲波的頻率、相位等信息即可實現對微納米機器人的控制，如此便于靈活對微納米機器人的進行驅動控制。
19、本專利技術提供的微納米機器人驅控裝置的制備方法，設置多個超聲驅動單元，多個超聲驅動單元能夠在不同方向向驅動腔內輻射超聲波進而能夠在不同方向上對微納米機器人進行驅動控制，便于靈活對微納米機器人的進行驅動控制。
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1.一種微納米機器人驅控裝置，其特征在于：包括多個超聲驅動單元(11)，多個所述超聲驅動單元(11)圍設有一驅動腔(12)，所述驅動腔(12)內用于放置微納米機器人，各所述超聲驅動單元(11)均能夠向所述驅動腔(12)內輻射超聲波并能夠作用于所述微納米機器人。
2.根據權利要求1所述的微納米機器人驅控裝置，其特征在于：多個所述超聲驅動單元(11)圍設成圓環狀。
3.根據權利要求2所述的微納米機器人驅控裝置，其特征在于：各所述超聲驅動單元(11)均設置為壓電超聲波換能器。
4.根據權利要求3所述的微納米機器人驅控裝置，其特征在于：各所述超聲驅動單元(11)厚度方向上均包括沿背離所述驅動腔(12)依次設置的內電極層(13)、壓電層和外電極層(14)；所述壓電層電連接于所述內電極層(13)和所述外電極層(14)，且所述內電極層(13)和所述外電極層(14)用于電連接于外部供電。
5.根據權利要求4所述的微納米機器人驅控裝置，其特征在于：多個所述超聲驅動單元(11)的多個所述內電極層(13)之間周向上一體成型；多個所述超聲驅動單元(11)的
6.根據權利要求5所述的微納米機器人驅控裝置，其特征在于：多個所述壓電層圍成壓電環(15)，所述壓電環(15)均包括環形框架(152)和固定分布于所述環形框架(152)內的多個壓電單晶顆粒(151)，各所述壓電單晶顆粒(151)均與對應所述內電極層(13)和所述外電極層(14)電連接。
7.根據權利要求1所述的微納米機器人驅控裝置，其特征在于：還包括基底(16)，多個所述超聲驅動單元(11)固定設置于所述基底(16)上。
8.根據權利要求1所述的微納米機器人驅控裝置，其特征在于：還包括透聲密封層(17)，所述透聲密封層(17)裹設于各所述超聲驅動單元(11)外。
9.一種如權利要求1-8任一項所述的微納米機器人驅控裝置的制備方法，其特征在于：包括如下步驟：
10.根據權利要求9所述的制備方法，其特征在于：各所述超聲驅動單元(11)均設置為壓電超聲波換能器，多個所述超聲驅動單元(11)固定設置于基底(16)上，且多個所述超聲驅動單元(11)外裹設有透聲密封層(17)；各所述超聲驅動單元(11)厚度方向上均包括沿背離所述驅動腔(12)依次設置的內電極層(13)、壓電層和外電極層(14)，所述壓電層電連接于所述內電極層(13)和所述外電極層(14)；多個所述內電極層(13)之間周向上一體成型；多個所述壓電層之間周向上一體成型；周向上相鄰的兩個所述外電極層(14)端部之間具有間隔；多個所述壓電層圍成壓電環(15)，所述壓電環(15)均包括環形框架(152)和固定分布于所述環形框架(152)內的多個壓電單晶顆粒(151)，各所述壓電單晶顆粒(151)均與對應所述內電極層(13)和所述外電極層(14)電連接；
...【技術特征摘要】
1.一種微納米機器人驅控裝置，其特征在于：包括多個超聲驅動單元(11)，多個所述超聲驅動單元(11)圍設有一驅動腔(12)，所述驅動腔(12)內用于放置微納米機器人，各所述超聲驅動單元(11)均能夠向所述驅動腔(12)內輻射超聲波并能夠作用于所述微納米機器人。
2.根據權利要求1所述的微納米機器人驅控裝置，其特征在于：多個所述超聲驅動單元(11)圍設成圓環狀。
3.根據權利要求2所述的微納米機器人驅控裝置，其特征在于：各所述超聲驅動單元(11)均設置為壓電超聲波換能器。
4.根據權利要求3所述的微納米機器人驅控裝置，其特征在于：各所述超聲驅動單元(11)厚度方向上均包括沿背離所述驅動腔(12)依次設置的內電極層(13)、壓電層和外電極層(14)；所述壓電層電連接于所述內電極層(13)和所述外電極層(14)，且所述內電極層(13)和所述外電極層(14)用于電連接于外部供電。
5.根據權利要求4所述的微納米機器人驅控裝置，其特征在于：多個所述超聲驅動單元(11)的多個所述內電極層(13)之間周向上一體成型；多個所述超聲驅動單元(11)的多個所述壓電層之間周向上一體成型；周向上相鄰的兩個所述外電極層(14)端部之間具有間隙。
6.根據權利要求5所述的微納米機器人驅控裝置，其特征在于：多個所述壓電層圍成壓電環(15)，所述壓電環(15)均包括環形框架(152)和固定分布于所述環形框架(152)內的多個壓電單晶顆...
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