【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及一種晶粒加工設備，尤其涉及一種晶粒轉(zhuǎn)移設備。
技術(shù)介紹
1、微發(fā)光二極管顯示器(micro?led?display)為采用微發(fā)光二極管作為光源的顯示器。微發(fā)光二極管是將發(fā)光二極管(light-emitting?diode，led)進行薄膜化、微小化以及陣列化，并將發(fā)光二極管的尺寸縮小至微米等級的產(chǎn)品。
2、微發(fā)光二極管顯示器的制程包括在晶圓基板上形成包括多個微晶粒(micro?die)的磊晶層(epitaxial?layer)，再進行巨量轉(zhuǎn)移(mass?transfer)將微晶粒轉(zhuǎn)移至驅(qū)動基板上。由于即使是肉眼看起來為相同發(fā)色表現(xiàn)的發(fā)光二極管中，實際上不同基板上生產(chǎn)出來的發(fā)光二極管仍具有微小而難以直接辨識，但實際有所不同的發(fā)色差異，此個別的差異可能隨產(chǎn)品上發(fā)光二極管的數(shù)量增加而被人眼觀察到。對此，為了制造發(fā)色較佳的產(chǎn)品，業(yè)界將發(fā)光二極管通過流明、電壓及顏色等參數(shù)對不同的發(fā)光二極管進行分組(此概念稱為分選，或稱bin)，并在進行巨量轉(zhuǎn)移時通過將發(fā)色特性上互補的發(fā)光二極管通過位置進行邏輯分配以達到發(fā)色的一致性(此概念或稱bin?mixing)。
3、又，目前進行巨量轉(zhuǎn)移所使用的技術(shù)包括拾取放置技術(shù)(pick&place)、流體轉(zhuǎn)移以及激光轉(zhuǎn)移，其中，激光轉(zhuǎn)移技術(shù)因為相較拾取放置技術(shù)具有較高的轉(zhuǎn)移速度，且相較于流體轉(zhuǎn)移具有較高的轉(zhuǎn)移精度且在修補上相對容易，因此具有發(fā)展的潛力。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)提供了一種晶粒轉(zhuǎn)移設備，以提升bin?
2、為達上述優(yōu)點，本專利技術(shù)一實施例提供一種晶粒轉(zhuǎn)移設備，適于將多個第一載板上的多個晶粒輪流轉(zhuǎn)移至至少一第二載板，晶粒轉(zhuǎn)移設備包括：機臺、第一載臺、第二載臺、第三載臺及激光模組。機臺包括軌道及位在軌道上方的架體，軌道具有位在架體下方的加工區(qū)域以及位在加工區(qū)域兩側(cè)的第一區(qū)域及第二區(qū)域。第一載臺連接架體，第一載臺適于裝載或卸載第一載板。第二載臺與第三載臺各自連接軌道，適于裝載或卸載第一載板，并還適于裝載或卸載第二載板，第二載臺適于在軌道的第一區(qū)域及加工區(qū)域之間移動。第三載臺適于在軌道的第二區(qū)域及加工區(qū)域之間移動，且當?shù)诙d臺與第三載臺其中之一由加工區(qū)域離開時，第二載臺與第三載臺其中另一適于移動到加工區(qū)域中。激光模組適于提供加工光束至第一載臺上的第一載板。
3、在本專利技術(shù)的一實施例中，機臺更包括底座及移動平臺，該移動平臺連接該底座，且適于沿著該平行于該軌道的第一方向相對于該底座移動，該架體連接該移動平臺并適于隨該移動平臺在該第一方向上移動，該軌道被固定在該移動平臺上，該第二載臺與該第三載臺直接連接在該軌道上，并適于各自獨立地相對于該移動平臺移動。
4、在本專利技術(shù)的一實施例中，所述的第二載臺及該第三載臺包括基座及承載座，基座適于帶動承載座沿著第一方向移動，承載座適于連接第一載板或第二載板，并帶動第一載板或第二載板相對于基座沿著垂直在第一方向的第二方向移動，且還適于帶動第二載板以第二方向作為軸心方向進行轉(zhuǎn)動。
5、在本專利技術(shù)的一實施例中，所述的機臺更包括底座及移動平臺，移動平臺通過軌道連接在底座上，架體連接底座并適于在底座上沿著第一方向移動，第二載臺與第三載臺固定在移動平臺的兩端。
6、在本專利技術(shù)的一實施例中，所述的第二載臺及第三載臺包括基座及承載座，基座固定在移動平臺，承載座適于連接第一載板或其中一個第二載板，并帶動第一載板或其中一個第二載板相對于基座沿著垂直在第一方向的第二方向移動，且還適于帶動第二載板以第二方向作為軸心方向進行轉(zhuǎn)動。
7、在本專利技術(shù)的一實施例中，所述的第二載臺及第三載臺包括基座及承載座，基座適于帶動承載座沿著第一方向移動，承載座適于連接第一載板或第二載板，并帶動第一載板或第二載板相對于基座沿著垂直在第一方向的第二方向移動，且還適于帶動第二載板以第二方向作為軸心方向進行轉(zhuǎn)動。
8、在本專利技術(shù)的一實施例中，所述的激光模組沿著加工光束的光路包括：激光光源、光束整形元件、光罩、反射鏡組件及投影透鏡。激光光源適于提供激光光束。光束整形元件適于將激光光束調(diào)整為具有平頂型能量分布的加工光束。光罩適于改變加工光束的光斑形狀。反射鏡組件適于反射加工光束。投影透鏡適于將加工光束聚焦在第一載板，且還適于帶動加工光束在垂直于第一方向的第二方向移動。
9、在本專利技術(shù)的一實施例中，所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備更包括第一裝卸裝置與第二裝卸裝置，其中第一區(qū)域具有第一裝卸位置，第二區(qū)域具有第二裝卸位置，第一裝卸裝置適于對位在第一裝卸位置的第二載臺進行第一載板或第二載板的裝卸，第二裝卸裝置適于對位在第二裝卸位置的第三載臺進行第一載板或第二載板的裝卸。
10、在本專利技術(shù)的一實施例中，所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備更包括：第一攝影單元、第二攝影單元。第一攝影單元適于拍攝位在第一裝卸位置的第二載臺上的第一載板或第二載板。第二攝影單元適于拍攝位在第二裝卸位置的第三載臺上的第一載板或第二載板。
11、在本專利技術(shù)的一實施例中，所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備更包括一攝影單元，適于拍攝位在第一載臺上的第一載板。
12、在本專利技術(shù)的一實施例中，所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備更包括一攝影單元適于拍攝位在加工區(qū)域中的第二載臺或第三載臺上的第一載板或其中一個第二載板。
13、在本專利技術(shù)的一實施例中，所述的機臺更包括一支撐梁、一支撐組件以及一撓性連接組件，該支撐梁可移動的設置于該支撐組件上，且該支撐梁通過該撓性連接組件間接連接于該支撐組件，該激光模組設置于該支撐梁上，并隨該支撐梁沿著該第一方向或該第二方向移動。
14、在本專利技術(shù)的一實施例中，所述的機臺更包括一驅(qū)動馬達組件，該驅(qū)動馬達組件直接連接于該支撐梁上，且直接連接至該支撐組件。
15、通過以上說明，本專利技術(shù)實施例的晶粒轉(zhuǎn)移設備，因為具有能承載第一載板或第二載板的第二載臺及第三載臺，因此能在其中一載臺(例如第二載臺)在機臺上的加工區(qū)域中進行晶粒轉(zhuǎn)移作業(yè)的同時，在其他的區(qū)域(例如第二區(qū)域)中將預定要進行晶粒轉(zhuǎn)移作業(yè)的載板裝卸在另一載臺(第三載臺)上并進行預備，以便在完成一次晶粒轉(zhuǎn)移作業(yè)后，快速地進行下一次的晶粒轉(zhuǎn)移作業(yè)而提升效率。且除了可以進行預備欲被轉(zhuǎn)移晶粒的載板的預備作業(yè)外，亦可以進行預備作為提供晶粒載板的預備作業(yè)。
16、上述說明僅是本專利技術(shù)技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本專利技術(shù)的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本專利技術(shù)的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖,詳細說明如下。
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1.一種晶粒轉(zhuǎn)移設備，適于將至少一第一載板上的多個晶粒輪流轉(zhuǎn)移至至少一第二載板，其特征在于，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備，其特征在于，該機臺更包括一底座及一移動平臺，該移動平臺連接該底座，且適于沿著平行于該軌道的一第一方向相對于該底座移動，該架體連接該移動平臺并適于隨該移動平臺在該第一方向上移動，該軌道被固定在該移動平臺上，該第二載臺與該第三載臺直接連接在該軌道上，并適于各自獨立地相對于該移動平臺移動。
3.如權(quán)利要求2所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備，其特征在于，每一該第二載臺及該第三載臺包括一基座及一承載座，該基座適于帶動該承載座沿著該第一方向移動，該承載座適于連接該至少一第一載板或其中一個該至少一第二載板，并帶動該至少一第一載板或其中一個該至少一第二載板相對于該基座沿著垂直于該第一方向的一第二方向移動，且還適于帶動該至少一第二載板以該第二方向作為軸心方向進行轉(zhuǎn)動。
4.如權(quán)利要求1所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備，其特征在于，該機臺更包括一底座及一移動平臺，該移動平臺通過該軌道連接在該底座上，該架體連接該底座并適于在該底座上沿著平行于該軌道的一第一方向
5.如權(quán)利要求4所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備，其特征在于，每一該第二載臺及該第三載臺包括一基座及一承載座，該基座固定在該移動平臺，該承載座適于連接該至少一第一載板或其中一個該至少一第二載板，并帶動該至少一第一載板或其中一個該至少一第二載板相對于該基座沿著垂直于該第一方向的一第二方向移動，且還適于帶動該至少一第二載板以該第二方向作為軸心方向進行轉(zhuǎn)動。
6.如權(quán)利要求1所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備，其特征在于，該激光模組沿著該加工光束的光路包括：
7.如權(quán)利要求1所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備，其特征在于，該晶粒轉(zhuǎn)移設備更包括一第一裝卸裝置與一第二裝卸裝置，其中該第一區(qū)域具有一第一裝卸位置，該第二區(qū)域具有一第二裝卸位置，該第一裝卸裝置適于對位在該第一裝卸位置的該第二載臺進行該至少一第一載板或其中一個該至少一第二載板的裝卸，該第二裝卸裝置適于對位在該第二裝卸位置的該第三載臺進行該第一載板或其中一個該至少一第二載板的裝卸。
8.如權(quán)利要求7所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備，其特征在于，該晶粒轉(zhuǎn)移設備，更包括：
9.如權(quán)利要求1所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備，其特征在于，該晶粒轉(zhuǎn)移設備，更包括一攝影單元，適于拍攝位在該第一載臺上的該至少一第一載板。
10.如權(quán)利要求1所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備，其特征在于，該晶粒轉(zhuǎn)移設備，更包括一攝影單元適于拍攝位在該加工區(qū)域中的該第二載臺或該第三載臺上的該至少一第一載板或其中一個該至少一第二載板。
11.如權(quán)利要求1所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備，其特征在于，該機臺更包括一支撐梁、一支撐組件以及一撓性連接組件，該支撐梁可移動的設置于該支撐組件上，且該支撐梁通過該撓性連接組件間接連接于該支撐組件，該激光模組設置于該支撐梁上，并隨該支撐梁沿著該第一方向或該第二方向移動。
12.如權(quán)利要求11所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備，其特征在于，該機臺更包括一驅(qū)動馬達組件，該驅(qū)動馬達組件直接連接于該支撐梁上，且直接連接至該支撐組件。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種晶粒轉(zhuǎn)移設備，適于將至少一第一載板上的多個晶粒輪流轉(zhuǎn)移至至少一第二載板，其特征在于，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備，其特征在于，該機臺更包括一底座及一移動平臺，該移動平臺連接該底座，且適于沿著平行于該軌道的一第一方向相對于該底座移動，該架體連接該移動平臺并適于隨該移動平臺在該第一方向上移動，該軌道被固定在該移動平臺上，該第二載臺與該第三載臺直接連接在該軌道上，并適于各自獨立地相對于該移動平臺移動。
3.如權(quán)利要求2所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備，其特征在于，每一該第二載臺及該第三載臺包括一基座及一承載座，該基座適于帶動該承載座沿著該第一方向移動，該承載座適于連接該至少一第一載板或其中一個該至少一第二載板，并帶動該至少一第一載板或其中一個該至少一第二載板相對于該基座沿著垂直于該第一方向的一第二方向移動，且還適于帶動該至少一第二載板以該第二方向作為軸心方向進行轉(zhuǎn)動。
4.如權(quán)利要求1所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備，其特征在于，該機臺更包括一底座及一移動平臺，該移動平臺通過該軌道連接在該底座上，該架體連接該底座并適于在該底座上沿著平行于該軌道的一第一方向移動，該第二載臺與該第三載臺固定在該移動平臺的兩端。
5.如權(quán)利要求4所述的晶粒轉(zhuǎn)移設備，其特征在于，每一該第二載臺及該第三載臺包括一基座及一承載座，該基座固定在該移動平臺，該承載座適于連接該至少一第一載板或其中一個該至少一第二載板，并帶動該至少一第一載板或其中一個該至少一第二載板相對于該基座沿著垂直于該第一方向的一第二方向移動，且還適于帶動該至少一第二...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳鴻隆，洪文慶，許智章，邱添煌，梁奕智，方思巽，洪育民，吳子成，林峻成，
申請(專利權(quán))人：雷杰科技股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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