【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本公開(kāi)總體涉及用于控制對(duì)襯底處理系統(tǒng)的遠(yuǎn)程訪問(wèn)的系統(tǒng)和方法。本技術(shù)的一些更具體方面涉及襯底處理系統(tǒng)和方法，其中可以啟用和禁用進(jìn)入的遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)信號(hào)。本技術(shù)的一些方面涉及襯底處理系統(tǒng)和方法，其中可以使用鎖定和/或掛牌(例如“l(fā)oto”)控制和/或特征來(lái)啟用和禁用進(jìn)入的遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)信號(hào)。
技術(shù)介紹
1、在半導(dǎo)體器件的制造過(guò)程中，例如在集成電路和電子器件的制造過(guò)程中，材料層通常被沉積到襯底上。材料層沉積通常通過(guò)在襯底處理室裝置內(nèi)支撐襯底、將襯底加熱到期望的沉積溫度以及使一種或多種材料層前體流過(guò)室裝置并穿過(guò)襯底來(lái)完成。隨著前體流過(guò)襯底，材料層逐漸形成到襯底表面上，通常根據(jù)襯底的溫度和室裝置內(nèi)的環(huán)境條件。
2、現(xiàn)有的襯底處理系統(tǒng)包括“簇型”系統(tǒng)，其中單個(gè)襯底搬運(yùn)室通過(guò)閘閥與兩個(gè)到四個(gè)襯底處理室可操作地連接。每個(gè)襯底處理室被裝備成在處理期間(例如在如上所述的材料層沉積期間)在保持襯底的襯底支撐件上接收襯底。襯底搬運(yùn)室包括機(jī)械臂，其用于通過(guò)閘閥將襯底移入和移出各種襯底處理室。
3、這種類(lèi)型的襯底處理系統(tǒng)通常具有遠(yuǎn)程訪問(wèn)和遠(yuǎn)程操作能力，允許系統(tǒng)至少部分地由遠(yuǎn)離襯底處理系統(tǒng)位置的一方來(lái)控制。然而，這種遠(yuǎn)程訪問(wèn)和操作能力會(huì)增加潛在的安全隱患。例如，有時(shí)，襯底搬運(yùn)室、襯底處理室和/或其他設(shè)備中的一個(gè)或多個(gè)在維護(hù)或維修期間可能不會(huì)斷電，例如當(dāng)對(duì)其他部件進(jìn)行維護(hù)或維修時(shí)。此時(shí)，技術(shù)人員可能需要訪問(wèn)襯底搬運(yùn)室、襯底處理室和/或其他設(shè)備中的一個(gè)或多個(gè)的內(nèi)部室，以完成必要的工作。當(dāng)維修或維護(hù)正在進(jìn)行時(shí)，例如由位于遠(yuǎn)處的一方遠(yuǎn)程激活襯底處理系
4、有時(shí)，維護(hù)技術(shù)人員可能需要校準(zhǔn)傳感器，例如與一個(gè)或多個(gè)機(jī)械臂相關(guān)的傳感器(例如包括在襯底搬運(yùn)室中使用的機(jī)器人內(nèi)的自動(dòng)晶片對(duì)中(或“awc”)傳感器)。如果遠(yuǎn)程操作者在校準(zhǔn)完成和數(shù)據(jù)保存之前激活機(jī)械臂，未保存的數(shù)據(jù)將會(huì)丟失。這導(dǎo)致需要重新開(kāi)始校準(zhǔn)(至少?gòu)淖詈蟊４娴狞c(diǎn)開(kāi)始)，這增加了成本并浪費(fèi)了維護(hù)技術(shù)人員的時(shí)間。
5、為了避免這些類(lèi)型的問(wèn)題，在維修或維護(hù)期間，技術(shù)人員可以防止襯底處理系統(tǒng)的不期望的遠(yuǎn)程激活，例如通過(guò)物理地將遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)的以太網(wǎng)連接從襯底處理系統(tǒng)的處理計(jì)算機(jī)的輸入端口斷開(kāi)。雖然對(duì)于防止遠(yuǎn)程用戶(hù)通過(guò)以太網(wǎng)連接不期望地啟動(dòng)襯底處理系統(tǒng)的預(yù)期目的來(lái)說(shuō)，這種布置通常是可接受的并且是有效的，但這種布置具有一些缺點(diǎn)。例如，當(dāng)完成時(shí)，技術(shù)人員可能忘記重新連接以太網(wǎng)電纜和/或?qū)㈦娎|重新連接到不正確的端口，例如導(dǎo)致比預(yù)期的和/或必要的更長(zhǎng)的系統(tǒng)“停機(jī)時(shí)間”。另外或可替代地，當(dāng)維修或維護(hù)繼續(xù)時(shí)，“路人”可能會(huì)注意到拔出的電纜并將其插回。因此，在遠(yuǎn)程控制和訪問(wèn)這種襯底處理系統(tǒng)方面存在改進(jìn)的空間。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本技術(shù)的各方面涉及用于控制對(duì)襯底處理系統(tǒng)的遠(yuǎn)程訪問(wèn)的系統(tǒng)和方法。本技術(shù)的一些更具體方面涉及襯底處理系統(tǒng)和方法，其中可以啟用和禁用進(jìn)入的遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)控制信號(hào)。另外或可替代地，本技術(shù)的一些方面涉及襯底處理系統(tǒng)和方法，其中可以使用鎖定和/或掛牌控制和/或特征來(lái)啟用和禁用進(jìn)入的遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)控制信號(hào)(用于控制襯底處理系統(tǒng)的任何部分)。鎖定控制和/或特征可以包括可在“啟用”或“接通”位置和“禁用”或“斷開(kāi)”位置之間移動(dòng)的鎖定系統(tǒng)，以允許：(a)控制遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)或方法內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)部件的供電，和/或(b)控制遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)或方法內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)數(shù)據(jù)傳輸線或系統(tǒng)。
2、根據(jù)本技術(shù)的至少一些示例的襯底處理系統(tǒng)包括以下中的一個(gè)或多個(gè)：(a)第一交換機(jī)，其包括第一輸入端口、第一電力輸入和第一輸出端口；(b)第二交換機(jī)，其包括第一輸入/輸出端口和第二電力輸入；(c)第一電連接器，其電連接第一電力輸入和第二電力輸入；(d)可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)，其設(shè)置在第一電連接器中，該可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)可在斷開(kāi)位置和接通位置之間移動(dòng)；(e)電源，其連接到第一電連接器；和/或(f)鑰匙，其配置為由可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)接收，并且配置為當(dāng)由可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)接收時(shí)在接通位置和斷開(kāi)位置之間移動(dòng)可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)。在接通位置，電源向第一交換機(jī)和第二交換機(jī)供電。在斷開(kāi)位置，至少不向第一交換機(jī)供電。
3、除了上述一個(gè)或多個(gè)特征之外，或者作為替代，在本技術(shù)的至少一些示例中，僅當(dāng)可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)處于斷開(kāi)位置時(shí)，鑰匙可從可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)移除。
4、除了上述一個(gè)或多個(gè)特征之外，或者作為替代，在本技術(shù)的至少一些示例中，第一輸入端口將配置為從遠(yuǎn)程計(jì)算系統(tǒng)接收襯底處理命令，和/或第一輸出端口將連接(直接或間接地)到第二交換機(jī)的第一輸入/輸出端口，以通過(guò)第一交換機(jī)傳輸來(lái)自遠(yuǎn)程計(jì)算系統(tǒng)的襯底處理命令，并且僅當(dāng)可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)處于接通位置時(shí)傳輸?shù)降诙粨Q機(jī)。
5、除了上述一個(gè)或多個(gè)特征之外，或者作為替代，根據(jù)本技術(shù)的一些示例的襯底處理系統(tǒng)還可以包括與第二交換機(jī)電子通信的一個(gè)或多個(gè)襯底處理室，其中，僅當(dāng)可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)處于接通位置時(shí)，一個(gè)或多個(gè)襯底處理室中的至少一個(gè)基于從遠(yuǎn)程計(jì)算系統(tǒng)接收的襯底處理命令接收通過(guò)第二交換機(jī)傳輸?shù)妮斎霐?shù)據(jù)。
6、除了上述一個(gè)或多個(gè)特征之外，或者作為替代，根據(jù)本技術(shù)的一些示例的襯底處理系統(tǒng)可以還包括襯底處理系統(tǒng)主機(jī)，其中第一輸入端口配置為從遠(yuǎn)程計(jì)算系統(tǒng)接收襯底處理命令，其中第一輸出端口連接到襯底處理系統(tǒng)主機(jī)，并且通過(guò)第一交換機(jī)傳輸來(lái)自遠(yuǎn)程計(jì)算系統(tǒng)的襯底處理命令，并且僅當(dāng)可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)處于接通位置時(shí)傳輸?shù)揭r底處理系統(tǒng)主機(jī)，并且其中襯底處理系統(tǒng)主機(jī)基于從遠(yuǎn)程計(jì)算系統(tǒng)接收的襯底處理命令將信號(hào)傳輸?shù)降诙粨Q機(jī)的第一輸入/輸出端口。
7、除了上述一個(gè)或多個(gè)特征之外，或者作為替代，根據(jù)本技術(shù)的一些示例的襯底處理系統(tǒng)還可以包括與第二交換機(jī)電子通信的一個(gè)或多個(gè)襯底處理室，其中，僅當(dāng)可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)處于接通位置時(shí)，一個(gè)或多個(gè)襯底處理室中的至少一個(gè)基于從遠(yuǎn)程計(jì)算系統(tǒng)接收的襯底處理命令接收通過(guò)第二交換機(jī)傳輸?shù)妮斎霐?shù)據(jù)。
8、除了上述一個(gè)或多個(gè)特征之外，或者作為替代，在本技術(shù)的至少一些示例中，第一輸入端口包括以太網(wǎng)端口。
9、除了上述一個(gè)或多個(gè)特征之外，或者作為替代，在本技術(shù)的至少一些示例中，電源是dc電源。
10、根據(jù)本技術(shù)的至少一些示例的襯底處理系統(tǒng)包括以下中的一個(gè)或多個(gè)：(a)第一交換機(jī)，其包括第一輸入端口、第一電力輸入和第一輸出端口；(b)第二交換機(jī)，其包括第一輸入/輸出端口和第二電力輸入，其中第一輸出端口直接或間接地與第二交換機(jī)的第一輸入/輸出端口連接；(c)可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)，其可在斷開(kāi)位置和接通位置之間移動(dòng)，可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)設(shè)置在供電線中，該供電線被連接以向第一電力輸入或第二電力輸入中的至少一個(gè)供電；和/或(d)鑰匙，其配置為由可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)接收。該鑰匙配置為當(dāng)由可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)接收時(shí)在接通位置和斷開(kāi)位置之間移動(dòng)可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)。在接通位置，包括用于向第一電力輸入或第二電力輸入中的至少一個(gè)供電的供電線的電路被接通。在斷開(kāi)位置，包括用于向第一電力輸入或第二電力輸入中的至少一個(gè)供電的供電線的電路被中斷。...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種襯底處理系統(tǒng)，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，僅當(dāng)所述可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)處于斷開(kāi)位置時(shí)，所述鑰匙可從所述可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)移除。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，所述第一輸入端口配置為從遠(yuǎn)程計(jì)算系統(tǒng)接收襯底處理命令，并且其中，所述第一輸出端口連接到所述第二交換機(jī)的第一輸入/輸出端口，以通過(guò)所述第一交換機(jī)傳輸來(lái)自遠(yuǎn)程計(jì)算系統(tǒng)的襯底處理命令，并且僅當(dāng)所述可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)處于接通位置時(shí)傳輸?shù)降诙粨Q機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的襯底處理系統(tǒng)，還包括：
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底處理系統(tǒng)，還包括襯底處理系統(tǒng)主機(jī)，其中，所述第一輸入端口配置為從遠(yuǎn)程計(jì)算系統(tǒng)接收襯底處理命令，其中，所述第一輸出端口連接到襯底處理系統(tǒng)主機(jī)，并且通過(guò)所述第一交換機(jī)傳輸來(lái)自遠(yuǎn)程計(jì)算系統(tǒng)的襯底處理命令，并且僅當(dāng)所述可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)處于接通位置時(shí)傳輸?shù)揭r底處理系統(tǒng)主機(jī)，并且其中襯底處理系統(tǒng)主機(jī)基于從遠(yuǎn)程計(jì)算系統(tǒng)接收的襯底處理命令將信號(hào)傳輸?shù)剿龅诙粨Q機(jī)的第一輸入/輸出端口。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的襯底處理系統(tǒng)，還包括：
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種襯底處理系統(tǒng)，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，僅當(dāng)所述可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)處于斷開(kāi)位置時(shí)，所述鑰匙可從所述可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)移除。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，所述第一輸入端口配置為從遠(yuǎn)程計(jì)算系統(tǒng)接收襯底處理命令，并且其中，所述第一輸出端口連接到所述第二交換機(jī)的第一輸入/輸出端口，以通過(guò)所述第一交換機(jī)傳輸來(lái)自遠(yuǎn)程計(jì)算系統(tǒng)的襯底處理命令，并且僅當(dāng)所述可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)處于接通位置時(shí)傳輸?shù)降诙粨Q機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的襯底處理系統(tǒng)，還包括：
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底處理系統(tǒng)，還包括襯底處理系統(tǒng)主機(jī)，其中，所述第一輸入端口配置為從遠(yuǎn)程計(jì)算系統(tǒng)接收襯底處理命令，其中，所述第一輸出端口連接到襯底處理系統(tǒng)主機(jī)，并且通過(guò)所述第一交換機(jī)傳輸來(lái)自遠(yuǎn)程計(jì)算系統(tǒng)的襯底處理命令，并且僅當(dāng)所述可鎖定鑰匙開(kāi)關(guān)處于接通位置時(shí)傳輸?shù)揭r底處理系統(tǒng)主機(jī)，并且其中襯底處理系統(tǒng)主機(jī)基于從遠(yuǎn)程計(jì)算系統(tǒng)接收的襯底處理命令將信號(hào)傳輸?shù)剿龅诙粨Q機(jī)的第一輸入/輸出端口。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的襯底處理系統(tǒng)，還包括：
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，所述第一輸入端口包括以太網(wǎng)端口。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，所述電源是dc電源。
9.一種襯底處理系統(tǒng)，包括：
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，僅當(dāng)所述可鎖定...
【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：E·斯坦塞弗，Q·張，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：ASMIP私人控股有限公司，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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