【技術實現步驟摘要】
本技術涉及的是一種晶體生長副爐室,具體涉及一種帶分體式冷卻腔的晶體生長爐副爐室。
技術介紹
1、晶體生長爐在長晶時,冷卻裝置需要在副爐室內上下升降,冷卻裝置的提升機構需安裝在副爐室外部,因此副爐室兩側需要設置兩個腔體空間,用以安裝冷卻裝置的提升裝置。
2、現有技術中,上述冷卻腔一般都為整體焊接結構,即冷卻腔直接與副爐室兩側焊接連接,存在加工制作困難、連接精度控制難度大等問題,易發生結構變形,影響生產。
技術實現思路
1、本技術提出的是一種帶分體式冷卻腔的晶體生長副爐室,其目的旨在克服現有技術存在的上述不足,實現有效降低加工制作難度并提高連接精度。
2、本技術的技術解決方案:一種帶分體式冷卻腔的晶體生長副爐室,其結構包括副爐室本體和冷卻腔體,一對冷卻腔體可拆卸連接在副爐室本體兩側,冷卻腔體與副爐室本體不是焊接連接。副爐室本體內冷卻裝置的提升機構完成安裝后在提升機構外側采用非焊接形式安裝固定冷卻腔體即完成整體結構安裝。
3、優選的,所述的副爐室本體兩側分別設外凸且中心與副爐室本體內側相通的矩形的臺階面,冷卻腔體一側設有外凸且中心與冷卻腔體內側相通的矩形的連接面,臺階面與連接面形狀配合,臺階面與連接面對準并通過若干個連接螺栓沿接觸面均勻固定連接。
4、優選的,所述的臺階面與連接面之間設有o型圈。保證密封性。
5、本技術的優點:結構設計合理,冷卻腔采用分體式設計通過螺栓連接副爐室,相比整體焊接結構可有效降低加工制作難度低,保證連接
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1.一種帶分體式冷卻腔的晶體生長副爐室,其結構包括副爐室本體(1)和冷卻腔體(3),其特征在于,一對所述的冷卻腔體(3)可拆卸連接在副爐室本體(1)兩側,冷卻腔體(3)與副爐室本體(1)不是焊接連接;所述的副爐室本體(1)兩側分別設外凸且中心與副爐室本體(1)內側相通的矩形的臺階面(11),冷卻腔體(3)一側設有外凸且中心與冷卻腔體(3)內側相通的矩形的連接面(31),臺階面(11)與連接面(31)形狀配合,臺階面(11)與連接面(31)對準并通過若干個連接螺栓(4)沿接觸面均勻固定連接;所述的臺階面(11)與連接面(31)之間設有O型圈(2)。
【技術特征摘要】
1.一種帶分體式冷卻腔的晶體生長副爐室,其結構包括副爐室本體(1)和冷卻腔體(3),其特征在于,一對所述的冷卻腔體(3)可拆卸連接在副爐室本體(1)兩側,冷卻腔體(3)與副爐室本體(1)不是焊接連接;所述的副爐室本體(1)兩側分別設外凸且中心與副爐室本體(1)內側相通的矩形的...
【專利技術屬性】
技術研發人員:李春佳,李方,江佳飛,王嘉,張懌,
申請(專利權)人:連城凱克斯科技有限公司,
類型:新型
國別省市:
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