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    一種提升擴散性能的石英舟制造技術

    技術編號:44476416 閱讀:4 留言:0更新日期:2025-03-04 17:45
    本技術公開了一種提升擴散性能的石英舟,包括兩個面板和連接兩面板的多個連接桿,兩面板均包括兩個對稱的半圓環,兩半圓環之間通過橫桿連接,一半圓環內部開設有十字槽,十字槽靠近凸出側內安裝有倒T型按鍵,靠近凹陷側向外延伸有中空的內層管,倒T型按鍵下表面兩端與十字槽之間通過第一彈簧進行連接,且兩第一彈簧之間倒T型按鍵的下表面固接有長桿,長桿另一端接觸有伸縮卡扣組件,伸縮卡扣組件與長桿一同封裝在內層管內,內層管外套接有外層管;連接桿上套接有若干可伸縮的固定套環。伸縮卡扣組件的設計使得石英舟能夠裝載大小不同的硅片,可伸縮的固定套環則可以裝載不同厚度的硅片,大大提高了石英舟的實用性。

    【技術實現步驟摘要】

    :本技術涉及石英舟制造領域,特別涉及一種提升擴散性能的石英舟


    技術介紹

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    技術介紹

    1、石英舟又名石英玻璃,石英玻璃的主要成分為二氧化硅,一般石英玻璃二氧化硅含量在99.999%。石英玻璃具有優異的光學性能,不僅可見光透光度特別好,而且透紫外光線,紅外線。現有使用的石英舟一般設置固定間距的插片槽,不能根據硅片的厚度在同一個石英舟上調節插片槽槽距。此外,大部分的柱形石英舟都是固定直徑,只能固定單一大小的硅片,實用性低。


    技術實現思路

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    技術實現思路

    1、本技術提供了一種提升擴散性能的石英舟,解決了現有技術中石英舟只適用于裝載固定大小的硅片的問題。

    2、本技術的技術解決措施如下:一種提升擴散性能的石英舟,包括兩個面板和連接兩所述面板的多個連接桿,兩所述面板均包括兩個對稱的半圓環,其中同側兩所述半圓環兩端固定連接有與連接桿垂直的橫桿,另一側的兩所述半圓環兩端與橫桿滑動連接,一所述半圓環內部開設有十字槽,所述十字槽內靠近半圓環凸出側安裝有倒t型按鍵,靠近半圓環凹陷側向外延伸有中空的內層管,所述倒t型按鍵下表面兩端與十字槽之間通過第一彈簧進行連接,倒t型按鍵的下表面還固接有長桿,所述長桿位于兩第一彈簧中間,長桿另一端接觸有伸縮卡扣組件,所述伸縮卡扣組件與長桿一同封裝在內層管內,所述內層管外套接有外層管,所述外層管遠離倒t型按鍵的一端固接在另一對稱的半圓環上;

    3、所述伸縮卡扣組件包括鎖定塊、鎖定塊放置座,所述鎖定塊一側面上固接有圓頭銷,相對的另一側面固接有第二彈簧,其余兩側面成形有對稱的傾斜的橢圓形凹槽,所述圓頭銷自鎖定塊放置座伸出,所述第二彈簧另一端與鎖定塊放置座相連,所述鎖定塊放置座兩側也對稱開設有配合凹槽,所述配合凹槽與橢圓形凹槽處于相同側,配合凹槽配套有倒u型塊,所述倒u型塊兩側成形有延伸部,所述延伸部底端成形有橫向部,所述橫向部伸入配合凹槽固定在橢圓形凹槽內。

    4、作為優選,所述連接桿上套接有若干個固定套環,所述固定套環包括兩圓環和連接所述圓環的第三彈簧,固定套環外包裹有軟性材料。

    5、作為優選,所述橫桿的端頭處均固接有支撐墊。

    6、作為優選,所述內層管上對應伸縮卡扣組件處開設有第一插銷孔,所述外層管上開設有若干第二插銷孔。

    7、作為優選,所述十字槽凹槽上下貫穿所述半圓環。

    8、本技術的有益效果在于:

    9、1、本技術通過設計伸縮卡扣組件,按住倒t型按鍵后,伸縮卡扣組件的圓頭銷從第二插銷孔回縮,拉動半圓環在橫桿上滑動至合適位置后松開按鍵使圓頭銷重新卡住第二插銷孔固定,該設計拓寬了石英舟能夠裝載的硅片的大小;同時設計安裝有彈簧的固定套環,使得固定套環之間的間距可以根據硅片的厚度進行改變,且不需要對固定套環進行拆裝。這樣大大提高了石英舟的適用范圍,進而提高了其實用性。

    10、2、本技術通過設計在橫桿兩端固接支撐墊,使得石英舟既可以以面板為底面垂直放置,也可以以支撐墊為底面水平放置,該設計使石英舟可以根據氣流的方向選擇合適的放置方式。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種提升擴散性能的石英舟,包括兩個面板(1)和連接兩所述面板(1)的多個連接桿(2),其特征在于:兩所述面板(1)均包括兩個對稱的半圓環(11),其中同側兩所述半圓環(11)兩端固定連接有與連接桿(2)垂直的橫桿(12),另一側的兩所述半圓環(11)兩端與橫桿(12)滑動連接,一所述半圓環(11)內部開設有十字槽(13),所述十字槽(13)內靠近半圓環(11)凸出側安裝有倒T型按鍵(14),靠近半圓環(11)凹陷側向外延伸有中空的內層管(15),所述倒T型按鍵(14)下表面兩端與十字槽(13)之間通過第一彈簧(16)進行連接,倒T型按鍵(14)的下表面還固接有長桿(17),所述長桿(17)位于兩第一彈簧(16)中間,長桿(17)另一端接觸有伸縮卡扣組件(3),所述伸縮卡扣組件(3)與長桿(17)一同封裝在內層管(15)內,所述內層管(15)外套接有外層管(19),所述外層管(19)遠離倒T型按鍵(14)的一端固接在另一對稱的半圓環(11)上;

    2.根據權利要求1所述的一種提升擴散性能的石英舟,其特征在于:所述連接桿(2)上套接有若干個固定套環(21),所述固定套環(21)包括兩圓環(211)和連接所述圓環(211)的第三彈簧(212),固定套環(21)外包裹有軟性材料。

    3.根據權利要求1所述的一種提升擴散性能的石英舟,其特征在于:所述橫桿(12)的端頭處均固接有支撐墊(121)。

    4.根據權利要求1所述的一種提升擴散性能的石英舟,其特征在于:所述內層管(15)上對應伸縮卡扣組件(3)處開設有第一插銷孔(18),所述外層管(19)上開設有若干第二插銷孔(20)。

    5.根據權利要求1所述的一種提升擴散性能的石英舟,其特征在于:所述十字槽(13)凹槽上下貫穿所述半圓環(11)。

    ...

    【技術特征摘要】

    1.一種提升擴散性能的石英舟,包括兩個面板(1)和連接兩所述面板(1)的多個連接桿(2),其特征在于:兩所述面板(1)均包括兩個對稱的半圓環(11),其中同側兩所述半圓環(11)兩端固定連接有與連接桿(2)垂直的橫桿(12),另一側的兩所述半圓環(11)兩端與橫桿(12)滑動連接,一所述半圓環(11)內部開設有十字槽(13),所述十字槽(13)內靠近半圓環(11)凸出側安裝有倒t型按鍵(14),靠近半圓環(11)凹陷側向外延伸有中空的內層管(15),所述倒t型按鍵(14)下表面兩端與十字槽(13)之間通過第一彈簧(16)進行連接,倒t型按鍵(14)的下表面還固接有長桿(17),所述長桿(17)位于兩第一彈簧(16)中間,長桿(17)另一端接觸有伸縮卡扣組件(3),所述伸縮卡扣組件(3)與長桿(17)一同封裝在內層管(15)內,所述內層管(15)外套接有外層管(19)...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:盛文彬錢麗祥劉克勇
    申請(專利權)人:浙江奧博石英科技股份有限公司
    類型:新型
    國別省市:

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