【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及cz法單晶生長設(shè)備,特別涉及一種cz法單晶生長用錘頭接口結(jié)構(gòu)。
技術(shù)介紹
1、cz(czochralsk)法全稱直拉單晶制造法,是一種制備單晶硅的常用方法,基本原理是把多晶硅塊原料放入石英坩堝中,在單晶爐中加熱融化,再將一根直徑較小的棒狀晶種(稱籽晶)浸入融液中,在特定溫度下,溶液中的硅原子會沿著晶種的硅原子排列結(jié)構(gòu)在固液交界面上形成規(guī)則的結(jié)晶,形成單晶體。
2、cz法單晶生長中,錘頭是籽晶與鋼絲繩實現(xiàn)連接的橋梁,錘頭與鋼絲繩連接后的鉛錘性會直接影響生長單晶的晶向準(zhǔn)確性。目前,鋼絲繩通過金屬套掛接錘頭,金屬套可能在拆裝、操作過程中出現(xiàn)輕微彎折等情況,會造成鉬錘頭連接后出現(xiàn)歪斜,因此會對單晶的生長產(chǎn)生不利的影響。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本申請實施例通過提供一種單晶生長用錘頭接口結(jié)構(gòu),用于解決金屬套直接連接錘頭時,金屬套形變后會影響錘頭鉛錘性的問題,以此保證生長單晶晶向的準(zhǔn)確性。
2、本申請實施例提供了一種單晶生長用錘頭接口結(jié)構(gòu),包括:
3、繩套,所述繩套套接于鋼絲繩下端;
4、連接件,所述連接件連接于繩套下端;
5、第一套環(huán),所述第一套環(huán)掛接于所述連接件;
6、第二套環(huán),所述第二套環(huán)掛接于所述第一套環(huán),錘頭通過耳板掛接于所述第二套環(huán)。
7、上述實施例的有益效果在于:通過將第二套環(huán)掛接在第一套環(huán)下方,第二套環(huán)在錘頭的自重下自動調(diào)節(jié)位置,使得錘頭具有良好的鉛錘性。
8、在上述實施例的基礎(chǔ)
9、在本申請其中一個實施例中:還包括:第一定位件,所述繩套下端插入所述連接件上端開設(shè)的第一定位槽中,所述第一定位件將所述繩套連接于所述連接件。本步的有益效果:通過套接結(jié)構(gòu)提高連接的穩(wěn)定性。
10、在本申請其中一個實施例中:還包括:第二定位件,所述連接件包括:左半套體、右半套體,所述左半套體與右半套體對應(yīng)所述第一套環(huán)開設(shè)有外形相匹配的第二定位槽,所述第二定位件在所述第二定位槽的下方,所述第二定位件將所述左半套體與所述右半套體連接成整體。本步的有益效果:通過將連接件設(shè)計為兩半可分離結(jié)構(gòu),便于將連接件與繩套和第一套環(huán)連接。
11、在本申請其中一個實施例中:所述第一定位件與所述第二定位件均采用螺栓螺母連接結(jié)構(gòu)。本步的有益效果:螺栓螺母連接結(jié)構(gòu)簡單,成本低。
12、在本申請其中一個實施例中:所述第一套環(huán)與所述第二套環(huán)截面均為圓形。本步的有益效果:圓形結(jié)構(gòu)易于錘頭自動調(diào)節(jié)位置。
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1.一種單晶生長用錘頭接口結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶生長用錘頭接口結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括:
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶生長用錘頭接口結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括:
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶生長用錘頭接口結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一定位件與所述第二定位件均采用螺栓螺母連接結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶生長用錘頭接口結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一套環(huán)與所述第二套環(huán)截面均為圓形。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種單晶生長用錘頭接口結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶生長用錘頭接口結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括:
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶生長用錘頭接口結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括:
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【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員:周小勇,李強,張俊,陶飛,
申請(專利權(quán))人:揚州合晶科技有限公司,
類型:新型
國別省市:
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