一種芯片生產(chǎn)用的芯片清洗裝置制造方法及圖紙

本技術(shù)屬于芯片清洗技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種芯片生產(chǎn)用的芯片清洗裝置，包括皮帶輸送機(jī)以及主機(jī)箱，在所述主機(jī)箱內(nèi)設(shè)有浸洗機(jī)構(gòu)，所述浸洗機(jī)構(gòu)包括：清洗箱，清洗箱內(nèi)固定有隔板，所述隔板將所述清洗箱的內(nèi)部空間分隔為風(fēng)干倉(cāng)與浸洗倉(cāng)；載料托盤，所述載料托盤包括框架、多孔載料板、帶孔安裝耳與一號(hào)驅(qū)動(dòng)電機(jī)；驅(qū)動(dòng)組件；多孔過(guò)濾板；風(fēng)扇；浸洗液抽出口，所述浸洗液抽出口固定在所述清洗箱上并與所述浸洗倉(cāng)的內(nèi)部空間相通；本技術(shù)中，通過(guò)驅(qū)動(dòng)組件作為動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)載料托盤沿豎直方向和水平方向移動(dòng)，可將芯片充分浸洗，還可將芯片輸送至風(fēng)干倉(cāng)內(nèi)進(jìn)行風(fēng)干，以及將芯片下放至皮帶輸送機(jī)上輸送至下一工位處，清洗效率得到大幅度提升。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)屬于芯片清洗，具體涉及一種芯片生產(chǎn)用的芯片清洗裝置。

技術(shù)介紹

1、芯片清洗是每一個(gè)芯片制備過(guò)程中必不可少的過(guò)程，其目的在于使芯片表面的污染物盡可能地降低，使得元件獲得良好而穩(wěn)定的特性，以及使制程具有良好的再現(xiàn)性，芯片在生產(chǎn)流程中，需要進(jìn)行芯片的外觀清潔處理，保持芯片的外觀整潔和避免引腳污染無(wú)法正常使用。

2、目前，市面上現(xiàn)有的芯片清洗裝置僅能夠?qū)π酒M(jìn)行單次清洗，清洗效率較低。

3、基于前述技術(shù)問(wèn)題，檢索到在現(xiàn)有技術(shù)中，授權(quán)公告號(hào)為cn206774506u的中國(guó)技術(shù)專利公開(kāi)了“一種芯片加工清洗裝置”，括物料槽和第一清洗池，所述第一清洗池、第二清洗池、第三清洗池和第四清洗池的內(nèi)部均通過(guò)電機(jī)固定連接有傳送帶，所述第一清洗池內(nèi)部?jī)蓚?cè)壁均設(shè)置有去靜電板，所述第一清洗池的內(nèi)部上壁設(shè)置有污垢檢測(cè)器，所述污垢檢測(cè)器電性連接有推動(dòng)器，所述第二清洗池的內(nèi)部設(shè)置有浸洗液，所述第三清洗池的內(nèi)壁設(shè)置有霧化噴氣口，所述第四清洗池的內(nèi)部上壁設(shè)置有排風(fēng)層，所述排風(fēng)層的下方設(shè)置有電加熱絲。

4、包括如上述在內(nèi)的現(xiàn)有技術(shù)中的芯片加工清洗裝置，雖然能夠?qū)π酒M(jìn)行反復(fù)多次清洗，但是在實(shí)際使用時(shí)，芯片在傳送帶的帶動(dòng)下通過(guò)第二浸洗池，與浸洗液的接觸時(shí)間短，浸洗效果較差。

5、為解決上述問(wèn)題，本申請(qǐng)中提出一種芯片生產(chǎn)用的芯片清洗裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問(wèn)題，本技術(shù)提供了一種芯片生產(chǎn)用的芯片清洗裝置，具有使用方便以及清洗效率高的特點(diǎn)。

<p>2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本技術(shù)提供如下技術(shù)方案：一種芯片生產(chǎn)用的芯片清洗裝置，包括皮帶輸送機(jī)以及固定在所述皮帶輸送機(jī)上的主機(jī)箱，在所述主機(jī)箱內(nèi)設(shè)有浸洗機(jī)構(gòu)，所述浸洗機(jī)構(gòu)包括：

3、清洗箱，所述清洗箱固定在所述主機(jī)箱內(nèi)，且在所述清洗箱內(nèi)固定有隔板，所述隔板將所述清洗箱的內(nèi)部空間分隔為風(fēng)干倉(cāng)與浸洗倉(cāng)，所述風(fēng)干倉(cāng)的頂端與底端均開(kāi)口，所述浸洗倉(cāng)的頂端開(kāi)口；

4、載料托盤，所述載料托盤包括框架、多孔載料板、帶孔安裝耳與一號(hào)驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述帶孔安裝耳固定在所述框架上，兩個(gè)所述多孔載料板相對(duì)稱分布并轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述帶孔安裝耳，所述一號(hào)驅(qū)動(dòng)電機(jī)固定在所述帶孔安裝耳上用于驅(qū)動(dòng)所述多孔載料板轉(zhuǎn)動(dòng)；

5、驅(qū)動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)組件可驅(qū)動(dòng)地連接于所述載料托盤，用于驅(qū)動(dòng)所述載料托盤移動(dòng)；

6、多孔過(guò)濾板，所述多孔過(guò)濾板通過(guò)抽拉方式安裝在所述浸洗倉(cāng)內(nèi)；

7、風(fēng)扇，所述風(fēng)扇固定在所述風(fēng)干倉(cāng)內(nèi)；

8、浸洗液抽出口，所述浸洗液抽出口固定在所述清洗箱上并與所述浸洗倉(cāng)的內(nèi)部空間相通。

9、作為本技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述驅(qū)動(dòng)組件包括：

10、移動(dòng)座，所述移動(dòng)座位于所述主機(jī)箱內(nèi)；

11、升降架，所述升降架利用安裝柱支撐固定在所述框架上；

12、電動(dòng)推桿，所述電動(dòng)推桿固定于所述移動(dòng)座的底面，且所述電動(dòng)推桿的活塞桿與所述升降架固定連接。

13、作為本技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述驅(qū)動(dòng)組件還包括：

14、螺紋桿，所述螺紋桿轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述主機(jī)箱內(nèi)，且所述螺紋桿貫穿所述移動(dòng)座并通過(guò)螺紋旋合方式與所述移動(dòng)座相連接；

15、二號(hào)驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述二號(hào)驅(qū)動(dòng)電機(jī)固定在所述主機(jī)箱上，用于驅(qū)動(dòng)所述螺紋桿旋轉(zhuǎn)。

16、作為本技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述驅(qū)動(dòng)組件包括：

17、導(dǎo)向桿，兩個(gè)所述導(dǎo)向桿相對(duì)稱固定在所述主機(jī)箱內(nèi)，且所述導(dǎo)向桿貫穿所述移動(dòng)座。

18、作為本技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，還包括：

19、u型插框，在所述清洗箱上具有供所述多孔過(guò)濾板貫穿的拆裝口，所述u型插框固定在所述清洗箱內(nèi)對(duì)應(yīng)拆裝口的位置，且在所述u型插框上具有供所述多孔過(guò)濾板嵌入的插槽。

20、作為本技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，還包括：

21、限位板，所述限位板固定于所述多孔過(guò)濾板的端部，且在所述限位板上具有安裝孔。

22、作為本技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，還包括：

23、橡膠密封襯墊，所述橡膠密封襯墊粘合固定在所述限位板上。

24、作為本技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，還包括：

25、浸洗液注入口，所述浸洗液注入口固定在所述主機(jī)箱上，且所述浸洗液注入口的尾端延伸至所述浸洗倉(cāng)內(nèi)。

26、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)的有益效果是：

27、本技術(shù)中，通過(guò)驅(qū)動(dòng)組件作為動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)載料托盤沿豎直方向和水平方向移動(dòng)，可將芯片充分浸洗，還可將芯片輸送至風(fēng)干倉(cāng)內(nèi)進(jìn)行風(fēng)干，以及將芯片下放至皮帶輸送機(jī)上輸送至下一工位處，清洗效率得到大幅度提升。

28、本申請(qǐng)其他附加的優(yōu)點(diǎn)和有益效果將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本申請(qǐng)的實(shí)踐了解到。

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【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

1.一種芯片生產(chǎn)用的芯片清洗裝置，包括皮帶輸送機(jī)（1）以及固定在所述皮帶輸送機(jī)（1）上的主機(jī)箱（2），在所述主機(jī)箱（2）內(nèi)設(shè)有浸洗機(jī)構(gòu)（3），其特征在于，所述浸洗機(jī)構(gòu)（3）包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片生產(chǎn)用的芯片清洗裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)組件（6）包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片生產(chǎn)用的芯片清洗裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)組件（6）還包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種芯片生產(chǎn)用的芯片清洗裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)組件（6）包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片生產(chǎn)用的芯片清洗裝置，其特征在于：還包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種芯片生產(chǎn)用的芯片清洗裝置，其特征在于：還包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種芯片生產(chǎn)用的芯片清洗裝置，其特征在于：還包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片生產(chǎn)用的芯片清洗裝置，其特征在于：還包括：

【技術(shù)特征摘要】

1.一種芯片生產(chǎn)用的芯片清洗裝置，包括皮帶輸送機(jī)（1）以及固定在所述皮帶輸送機(jī)（1）上的主機(jī)箱（2），在所述主機(jī)箱（2）內(nèi)設(shè)有浸洗機(jī)構(gòu)（3），其特征在于，所述浸洗機(jī)構(gòu)（3）包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片生產(chǎn)用的芯片清洗裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)組件（6）包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片生產(chǎn)用的芯片清洗裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)組件（6）還包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王隆平，熊學(xué)飛，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：蘇州銳杰微科技集團(tuán)有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：