【技術實現步驟摘要】
本申請涉及半導體檢測，尤其是涉及一種探針臺。
技術介紹
1、探針臺是一種用于測試半導體器件、集成電路、光電元件等電子產品的設備，能夠通過精確定位的探針與測試點接觸，測量電性能參數如電壓、電流、信號傳輸等；
2、傳統的探針臺通常采用液體制冷劑來實現低溫測試環境，但這種方式不僅費用較高，增加了每次測試的成本；而且，制冷劑的泄漏或處理不當還會帶來安全隱患，尤其是在操作過程中會增加設備使用的復雜性和風險；并且，液體制冷劑對環境還會產生負面影響，造成化學污染或溫室氣體排放，尤其是在長期使用和處置不當時；因此，現有探針臺存在成本高、安全隱患大、環境風險等問題。
技術實現思路
1、為了改善傳統的探針臺采用液體制冷劑來實現低溫測試環境時，不僅成本高，而且操作復雜、安全風險大的缺陷，本申請提供一種探針臺。
2、本申請提供的一種探針臺采用如下的技術方案：
3、一種探針臺，包括機架、與所述機架上端面連接的支撐臺、設于所述支撐臺上的真空室、插設于所述真空室內并用于支撐工件的工件支撐裝置、插設于所述機架內并向上伸入所述工件支撐裝置內的閉式循環制冷機、設于所述支撐臺上并用于插入所述工件支撐裝置內的探針臂裝置，以及與所述支撐臺連接并位于所述真空室上方的工件檢測裝置；
4、所述探針臂裝置包括用于穿過所述真空室并插入所述工件支撐裝置內的檢測探針機構、用于連接所述檢測探針機構和所述支撐臺的探針驅動機構，以及與所述探針驅動機構連接的探針定位機構；所述探針驅動機構用于帶動所
5、所述閉式循環制冷機包括插設于所述機架底部的制冷配重機構、與所述制冷配重機構連接的制冷支架、與所述制冷支架連接的制冷機本體、與所述制冷機本體連接并豎直向上延伸的第一制冷頭、與所述第一制冷頭連接并向上插入所述工件支撐裝置內的第二制冷頭，以及用于連接所述制冷支架和所述支撐臺連接的真空護罩；所述真空護罩套設于所述第一制冷頭和所述第二制冷頭外側并與所述真空室連通；所述第一制冷頭和所述第二制冷頭均與所述工件支撐裝置連接。
6、通過采用上述技術方案，工件支撐裝置用于支撐測試中的工件，制冷機本體通過第一制冷頭向上延伸，并通過第二制冷頭進一步插入至工件支撐裝置位置處，第一制冷頭和第二制冷頭分別與工件支撐裝置連接，從而實現對工件的有效制冷；探針驅動機構用于驅動檢測探針機構穿過真空室并插入工件支撐裝置內，以接觸工件表面進行檢測，探針定位機構用于輔助確定檢測探針機構與工件表面的接觸定位；工件檢測裝置則固定于支撐臺上，并位于真空室上方，用于對工件進行檢測；真空護罩套設于第一制冷頭和第二制冷頭的外側，并與真空室連通，形成一個整體的真空冷卻環境；本申請通過閉式循環制冷機提供低溫測試環境，避免了傳統液體制冷劑的成本高、安全隱患大和環境風險等問題，同時探針臂裝置的精確定位和移動功能確保了測試的準確性和效率，工件檢測裝置的設置進一步提升了測試的全面性和可靠性。
7、優選的，所述工件支撐裝置包括與所述支撐臺連接并與所述真空室內部連通的檢測支撐罩、設于所述檢測支撐罩上方并插設于所述真空室內的工件檢測罩、一端插設于所述檢測支撐罩內且另一端與所述工件檢測罩底部連接的支撐穩定罩、插設于所述支撐穩定罩內并向上伸入所述工件檢測罩內的工件支撐罩，以及與所述工件支撐罩上端部連接并插設于所述工件檢測罩內的檢測支撐座；所述工件支撐罩與所述支撐穩定罩保持間隙；
8、所述工件支撐罩套設于所述第二制冷頭的外側，所述支撐穩定罩套設于所述工件支撐罩外側，所述檢測支撐罩套設于所述支撐穩定罩外側，所述真空護罩套設于所述檢測支撐罩外側。
9、通過采用上述技術方案，工件檢測罩提供用于工件檢測的內部空間；工件支撐罩用于支撐檢測支撐座；工件支撐罩與支撐穩定罩之間保持間隙，以減少相互干擾；工件支撐罩套設于第二制冷頭的外側，通過第二制冷頭實現工件的冷卻，支撐穩定罩套設于工件支撐罩外側，進一步增強結構的穩定性；檢測支撐罩套設于支撐穩定罩外側并與真空室連通，形成整體的真空密封結構；
10、本申請第二制冷頭在真空環境中對工件進行冷卻，同時工件支撐罩與檢測支撐座保證了工件的穩固支撐，整個裝置在檢測時通過不同罩層的分離和間隙設計，避免了結構間的相互干擾，提升了檢測過程的穩定性和精度；本申請通過多層罩體結構的分層設計，實現了工件在真空環境下的穩固支撐和有效冷卻，并通過各罩層的獨立作用提升了系統的穩定性和檢測精度，同時保障了工件的低溫冷卻效果。
11、優選的，所述真空室包括真空室本體，以及設于所述真空室本體上端面中間位置處的真空室透明窗，所述真空室本體周側還設有呈陣列設置并用于連通所述探針驅動機構與所述真空室本體內部的探針伸入孔；
12、所述工件檢測罩包括檢查罩本體，以及設于所述檢查罩本體上端面中間位置處的檢測罩透明窗，所述真空室透明窗位于所述工件檢測裝置下方，所述檢測罩透明窗位于所述真空室透明窗正下方，所述檢測支撐座位于所述檢測罩透明窗正下方；所述檢查罩本體周側還設有呈陣列設置并用于連通所述檢查罩本體內部與所述真空室本體內部的檢測通孔；所述探針伸入孔和所述檢測通孔對應設置。
13、通過采用上述技術方案，通過探針驅動機構帶動檢測探針機構從探針伸入孔插入真空室本體內，并通過對應的檢測通孔進入檢查罩本體內，最終接觸到工件進行檢測，同時通過真空室透明窗和檢測罩透明窗，工件檢測裝置可以實時監測工件；本申請通過真空室透明窗和檢測罩透明窗的對齊設置，便于在檢測過程中對工件進行清晰觀察，探針伸入孔和檢測通孔的對應設計確保了探針能夠順利穿過各層結構接觸工件，提升了檢測的精度和效率，同時提高了在真空環境下對工件檢測的穩定性和可靠性。
14、優選的，所述探針驅動機構包括沿所述真空室徑向方向設置的徑向移動組件、設于所述徑向移動組件移動端的豎直移動組件、與所述豎直移動組件移動端連接的橫向移動組件、與所述橫向移動組件移動端連接并與所述真空室連通的探針伸縮管，以及與所述支撐臺連接并用于支撐所述探針伸縮管的伸縮管支架；所述檢測探針機構插設于所述探針伸縮管內并與所述橫向移動組件移動端連接。
15、通過采用上述技術方案，徑向移動組件用于帶動檢測探針機構沿徑向移動至工件位置處的上方，并壓縮探針伸縮管，橫向移動組件用于微調檢測探針機構的水平方向位置，豎直移動組件用于帶動橫向移動組件和檢測探針機構上下移動，并使檢測探針機構與工件頂壓配合，以進行檢測；本申請通過多方向的獨立移動組件的組合，實現了檢測探針機構在三維空間內的精確定位與靈活移動，確保了檢測探針機構檢測的精度和操作的便利性，探針伸縮管與真空室的連通以及伸縮管支架的支撐進一步提升了系統的穩定性和檢測探針機構操作的可靠性。
16、優選的，所述徑向移動組件包括與所述支撐臺連接的探針驅動底座、設于所述探針驅動底座兩端的軸承支架、穿設于兩所述軸承支架上并分別與兩所述軸承支架轉動連接的徑向旋轉螺桿、與所述探針驅動底座連接并位本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種探針臺，其特征在于，包括機架(1)、與所述機架(1)上端面連接的支撐臺(2)、設于所述支撐臺(2)上的真空室(3)、插設于所述真空室(3)內并用于支撐工件的工件支撐裝置(4)、插設于所述機架(1)內并向上伸入所述工件支撐裝置(4)內的閉式循環制冷機(5)、設于所述支撐臺(2)上并用于插入所述工件支撐裝置(4)內的探針臂裝置(6)，以及與所述支撐臺(2)連接并位于所述真空室(3)上方的工件檢測裝置(7)；
2.根據權利要求1所述的一種探針臺，其特征在于，所述工件支撐裝置(4)包括與所述支撐臺(2)連接并與所述真空室(3)內部連通的檢測支撐罩(41)、設于所述檢測支撐罩(41)上方并插設于所述真空室(3)內的工件檢測罩(42)、一端插設于所述檢測支撐罩(41)內且另一端與所述工件檢測罩(42)底部連接的支撐穩定罩(43)、插設于所述支撐穩定罩(43)內并向上伸入所述工件檢測罩(42)內的工件支撐罩(44)，以及與所述工件支撐罩(44)上端部連接并插設于所述工件檢測罩(42)內的檢測支撐座(45)；所述工件支撐罩(44)與所述支撐穩定罩(43)保持間隙；
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