一種適用于半導(dǎo)體濕法清洗裝置制造方法及圖紙

本技術(shù)涉及一種適用于半導(dǎo)體濕法清洗裝置，屬于半導(dǎo)體濕法清洗技術(shù)領(lǐng)域。包括槽體和排風(fēng)處理機(jī)構(gòu)，所述槽體內(nèi)設(shè)有第一盤管，所述槽體頂部蓋設(shè)槽蓋組件；所述排風(fēng)處理機(jī)構(gòu)包括排風(fēng)管道，所述排風(fēng)管道一端與槽體內(nèi)腔連通，所述排風(fēng)管道另一端連接動(dòng)力排風(fēng)總管，所述排風(fēng)管道與動(dòng)力排風(fēng)總管連接處設(shè)置第二盤管組件，所述第二盤管組件包括第二盤管，所述第二盤管表面由內(nèi)向外依次裹設(shè)內(nèi)層、中間層和外層，所述第二盤管內(nèi)設(shè)有風(fēng)門；所述第一盤管和第二盤管分別設(shè)置快速接頭，所述快速接頭分別通過連接管與冷水機(jī)的循環(huán)管路連接。本申請有效降低工藝有機(jī)廢氣揮發(fā)，減少企業(yè)運(yùn)營成本，實(shí)現(xiàn)綠色排放。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及一種適用于半導(dǎo)體濕法清洗裝置，屬于半導(dǎo)體濕法清洗。

技術(shù)介紹

1、半導(dǎo)體行業(yè)中，濕法清洗機(jī)的使用非常多，其中一類是有機(jī)化學(xué)試劑濕法清洗設(shè)備，使用諸如異丙醇、六號(hào)清洗劑、剝離液等有機(jī)試劑，此類濕法設(shè)備產(chǎn)生的廢氣對人類健康以及人類賴以生存的環(huán)境有著重要影響，因此需要經(jīng)過特定的有機(jī)廢氣尾氣處理裝置，經(jīng)過多次循環(huán)處理才能達(dá)標(biāo)排放，在這過程中增加較多的企業(yè)運(yùn)營成本。如何在半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備上有效降低工藝有機(jī)廢氣揮發(fā)是目前濕法有機(jī)清洗綠色排放的研究重點(diǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本技術(shù)所要解決的技術(shù)問題是針對上述現(xiàn)有技術(shù)提供一種適用于半導(dǎo)體濕法清洗裝置，有效降低工藝有機(jī)廢氣揮發(fā)，減少企業(yè)運(yùn)營成本，實(shí)現(xiàn)綠色排放。

2、本技術(shù)解決上述問題所采用的技術(shù)方案為：一種適用于半導(dǎo)體濕法清洗裝置，包括槽體和排風(fēng)處理機(jī)構(gòu)，所述槽體內(nèi)設(shè)有第一盤管，所述槽體頂部蓋設(shè)槽蓋組件；所述排風(fēng)處理機(jī)構(gòu)包括排風(fēng)管道，所述排風(fēng)管道一端與槽體內(nèi)腔連通，所述排風(fēng)管道另一端連接動(dòng)力排風(fēng)總管，所述排風(fēng)管道與動(dòng)力排風(fēng)總管連接處設(shè)置第二盤管組件，所述第二盤管組件包括第二盤管，所述第二盤管表面由內(nèi)向外依次裹設(shè)內(nèi)層、中間層和外層，所述第二盤管內(nèi)設(shè)有風(fēng)門；所述第一盤管和第二盤管分別設(shè)置快速接頭，所述快速接頭分別通過連接管與冷水機(jī)的循環(huán)管路連接。

3、所述槽蓋組件包括槽蓋，所述槽蓋外表面設(shè)置把手，所述槽蓋內(nèi)表面對稱設(shè)置擋片，兩所述擋片之間的間距與槽體內(nèi)徑相匹配。

4、所述槽蓋外表面具有特氟龍涂層。

<p>5、所述內(nèi)層為初效過濾棉層，所述中間層為高純石英棉層，所述外層為鋁箔玻纖布層。

6、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)在于：一種適用于半導(dǎo)體濕法清洗裝置，316l不銹鋼槽蓋外表面噴涂特氟龍涂層且槽蓋上設(shè)置把手，通過把手將槽蓋蓋于槽體，實(shí)現(xiàn)了全程閉蓋的要求，從源頭上降低有機(jī)清洗設(shè)備工藝槽體廢氣揮發(fā)；同時(shí)排風(fēng)處理機(jī)構(gòu)將高溫有機(jī)廢氣遇冷凝液吸附進(jìn)而弱化有機(jī)廢氣濃度，從源頭上降低有機(jī)清洗設(shè)備工藝廢氣揮發(fā)，減少了企業(yè)運(yùn)營成本，實(shí)現(xiàn)綠色排放。

本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

1.一種適用于半導(dǎo)體濕法清洗裝置，其特征在于：包括槽體和排風(fēng)處理機(jī)構(gòu)，所述槽體內(nèi)設(shè)有第一盤管，所述槽體頂部蓋設(shè)槽蓋組件；所述排風(fēng)處理機(jī)構(gòu)包括排風(fēng)管道，所述排風(fēng)管道一端與槽體內(nèi)腔連通，所述排風(fēng)管道另一端連接動(dòng)力排風(fēng)總管，所述排風(fēng)管道與動(dòng)力排風(fēng)總管連接處設(shè)置第二盤管組件，所述第二盤管組件包括第二盤管，所述第二盤管表面由內(nèi)向外依次裹設(shè)內(nèi)層、中間層和外層，所述第二盤管內(nèi)設(shè)有風(fēng)門；所述第一盤管和第二盤管分別設(shè)置快速接頭，所述快速接頭分別通過連接管與冷水機(jī)的循環(huán)管路連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于半導(dǎo)體濕法清洗裝置，其特征在于：所述槽蓋組件包括槽蓋，所述槽蓋外表面設(shè)置把手，所述槽蓋內(nèi)表面對稱設(shè)置擋片，兩所述擋片之間的間距與槽體內(nèi)徑相匹配。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種適用于半導(dǎo)體濕法清洗裝置，其特征在于：所述槽蓋外表面具有特氟龍涂層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于半導(dǎo)體濕法清洗裝置，其特征在于：所述內(nèi)層為初效過濾棉層，所述中間層為高純石英棉層，所述外層為鋁箔玻纖布層。

【技術(shù)特征摘要】

1.一種適用于半導(dǎo)體濕法清洗裝置，其特征在于：包括槽體和排風(fēng)處理機(jī)構(gòu)，所述槽體內(nèi)設(shè)有第一盤管，所述槽體頂部蓋設(shè)槽蓋組件；所述排風(fēng)處理機(jī)構(gòu)包括排風(fēng)管道，所述排風(fēng)管道一端與槽體內(nèi)腔連通，所述排風(fēng)管道另一端連接動(dòng)力排風(fēng)總管，所述排風(fēng)管道與動(dòng)力排風(fēng)總管連接處設(shè)置第二盤管組件，所述第二盤管組件包括第二盤管，所述第二盤管表面由內(nèi)向外依次裹設(shè)內(nèi)層、中間層和外層，所述第二盤管內(nèi)設(shè)有風(fēng)門；所述第一盤管和第二盤管分別設(shè)置快速接頭，所述快速接頭分別通過連接管與冷水機(jī)的循環(huán)管路連...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：蔣亞東，周曉，龔宇科，徐林，賈云波，陳建標(biāo)，
申請(專利權(quán))人：江蘇新順微電子股份有限公司，
類型：新型
國別省市：