【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體生產，尤其涉及一種應急加熱裝置及半導體設備。
技術介紹
1、在半導體設備中使用的某些化學品，在常溫條件下可能會變得過于粘稠甚至發生冷凝，尤其是像某些特殊的化學溶液或是液體金屬材料。為了保證這些流體能夠持續且穩定地供給到各個工藝環節中，必須通過外部加熱手段來維持其必要的流動性。因此，加熱帶或加熱管線系統被廣泛應用，它們可以精確控制溫度，確保化學品在傳輸管路中始終保持所需的物理狀態，從而保障了半導體制造過程的順利進行。
2、加熱帶主要用于維持化學品、氣體或其他工藝介質的溫度在一定范圍內，但當加熱帶或機臺的意外斷電會導致溫度無法得到有效的控制，導致這些介質的性質發生變化，如粘度增加、固化或冷凝。而冷凝物可能會污染真空環境，影響工藝的純凈度。同時冷凝會導致管路內的氣體體積減少，從而改變系統的真空度，影響真空泵的工作效率和整個系統的壓力穩定性。冷凝物如果積累過多，可能會堵塞管路或閥門，阻礙氣流，導致機械損壞，增加維修成本。
3、目前市面上也有針對管路的應急加熱裝置，例如公開號為cn102811504a的中國專利公開了一種加熱帶的新型設計方法，該專利方案是通過設計多個加熱帶，當其中一個加熱帶斷電時，則用另外可以正常通電的加熱帶代替，這雖然在一定程度上起到應急保溫的作用，但是設定冗余的加熱帶大大增加了成本，而且如果是整個設備系統斷電的情況下，所有的加熱帶都無法使用，也即失去了應急保溫的能力。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于克服現有技術的不足，提
2、為實現上述目的，本專利技術采用以下技術方案：
3、一方面，本專利技術提供了一種應急加熱裝置，加熱目標由加熱源直接加熱或應急加熱裝置輔助加熱，包括：
4、加熱包，與所述加熱源或所述加熱目標表面接觸，所述加熱包中包含加熱物質，所述加熱物質接觸氧氣會產生熱量；
5、電磁裝置，所述電磁裝置被安裝于所述加熱包的一側；
6、所述加熱源無法對所述加熱目標正常加熱時，所述電磁裝置失磁并戳破所述加熱包，實現所述加熱包對加熱目標的直接或間接加熱。
7、進一步地，當所述加熱目標為未帶有翅片的管路，所述加熱源為加熱帶，所述加熱帶設于所述管路外圍時，所述加熱包設于所述加熱帶的外圍。
8、進一步地，所述電磁裝置設于所述加熱包的外部。
9、進一步地，所述電磁裝置包括殼體、活動板、安裝板、彈簧、扎刺件以及電磁鐵，所述殼體靠近加熱包布置的一側設有用于避讓所述扎刺件的窗口，所述安裝板固定于所述殼體內，所述活動板的一端與所述安裝板鉸接，所述扎刺件固定于所述活動板上，所述扎刺件具有一個或多個尖狀結構，所述尖狀結構朝向所述窗口，所述彈簧的一端與所述活動板連接，所述彈簧的另一端與所述安裝板連接，所述電磁鐵通電時，所述電磁鐵吸附住所述扎刺件，所述扎刺件進行彈性蓄力，所述電磁鐵斷電時，所述扎刺件擺脫所述電磁鐵的吸附并在所述彈簧的彈力作用下戳破所述加熱包。
10、進一步地，當所述加熱目標為帶有翅片的管路，所述加熱源為加熱帶，所述加熱帶設于所述管路的所述翅片的外圍時，所述加熱包設于相鄰兩個所述翅片的間隙之間。
11、進一步地，所述電磁裝置設于上下兩段所述加熱帶的對接處，以及與上下兩段所述加熱帶相對應的上下兩個所述加熱包之間。
12、進一步地，所述電磁裝置包括殼體、安裝板、上扎刺件、下扎刺件、上彈簧、下彈簧以及電磁鐵，所述殼體的上下兩側分別設有用于避讓所述上扎刺件和所述下扎刺件的上窗口和下窗口，所述安裝板固定于所述殼體內，所述上彈簧的上端與所述上扎刺件連接，所述上彈簧的下端與所述安裝板連接，所述上扎刺件具有一個或多個上尖狀結構，所述上尖狀結構朝向所述上窗口，所述下彈簧的上端與所述安裝板連接，所述下彈簧的下端與所述下扎刺件連接，所述下扎刺件具有一個或多個下尖狀結構，所述下尖狀結構朝向所述下窗口；所述電磁鐵通電時，所述電磁鐵吸附住所述上扎刺件和所述下扎刺件，所述上扎刺件和所述下扎刺件進行彈性蓄力，所述電磁鐵斷電時，所述上扎刺件擺脫所述電磁鐵的吸附并在所述上彈簧的彈力作用下戳破上方的所述加熱包，且所述下扎刺件擺脫所述電磁鐵的吸附并在所述下彈簧的彈力作用下戳破下方的所述加熱包。
13、進一步地，當所述加熱目標為罐體容器時，所述加熱包設于所述罐體容器的外圍。
14、進一步地，所述電磁裝置設于所述加熱包的外部。
15、進一步地，所述加熱包中的所述加熱物質包括鐵粉。
16、另一方面，本專利技術還提供了一種半導體設備，包括上述的應急加熱裝置。
17、本專利技術與現有技術相比的有益效果是：一種應急加熱裝置，加熱目標由加熱源直接加熱或應急加熱裝置輔助加熱，包括加熱包和電磁裝置，加熱包與加熱源或加熱目標表面接觸，加熱包中包含加熱物質，加熱物質接觸氧氣會產生熱量，電磁裝置被安裝于加熱包的一側，加熱源無法對加熱目標正常加熱時，電磁裝置失磁并戳破加熱包，實現加熱包對加熱目標的直接或間接加熱。實際使用時，若遇到電源等故障突然斷電，電磁裝置在斷電時自動失磁，從而自動將加熱包戳破使其釋放熱量，以對加熱目標進行應急保溫。
18、上述說明僅是本專利技術技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本專利技術技術手段，可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本專利技術的上述和其它目的特征及優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，詳細說明如下。
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1.一種應急加熱裝置，加熱目標由加熱源直接加熱或應急加熱裝置輔助加熱，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種應急加熱裝置，其特征在于，當所述加熱目標為未帶有翅片的管路，所述加熱源為加熱帶，所述加熱帶設于所述管路外圍時，所述加熱包設于所述加熱帶的外圍。
3.根據權利要求2所述的一種應急加熱裝置，其特征在于，所述電磁裝置設于所述加熱包的外部。
4.根據權利要求3所述的一種應急加熱裝置，其特征在于，所述電磁裝置包括殼體、活動板、安裝板、彈簧、扎刺件以及電磁鐵，所述殼體靠近加熱包布置的一側設有用于避讓所述扎刺件的窗口，所述安裝板固定于所述殼體內，所述活動板的一端與所述安裝板鉸接，所述扎刺件固定于所述活動板上，所述扎刺件具有一個或多個尖狀結構，所述尖狀結構朝向所述窗口，所述彈簧的一端與所述活動板連接，所述彈簧的另一端與所述安裝板連接，所述電磁鐵通電時，所述電磁鐵吸附住所述扎刺件，所述扎刺件進行彈性蓄力，所述電磁鐵斷電時，所述扎刺件擺脫所述電磁鐵的吸附并在所述彈簧的彈力作用下戳破所述加熱包。
5.根據權利要求1所述的一種應急加熱裝置，
6.根據權利要求5所述的一種應急加熱裝置，其特征在于，所述電磁裝置設于上下兩段所述加熱帶的對接處，以及與上下兩段所述加熱帶相對應的上下兩個所述加熱包之間。
7.根據權利要求6所述的一種應急加熱裝置，其特征在于，所述電磁裝置包括殼體、安裝板、上扎刺件、下扎刺件、上彈簧、下彈簧以及電磁鐵，所述殼體的上下兩側分別設有用于避讓所述上扎刺件和所述下扎刺件的上窗口和下窗口，所述安裝板固定于所述殼體內，所述上彈簧的上端與所述上扎刺件連接，所述上彈簧的下端與所述安裝板連接，所述上扎刺件具有一個或多個上尖狀結構，所述上尖狀結構朝向所述上窗口，所述下彈簧的上端與所述安裝板連接，所述下彈簧的下端與所述下扎刺件連接，所述下扎刺件具有一個或多個下尖狀結構，所述下尖狀結構朝向所述下窗口；所述電磁鐵通電時，所述電磁鐵吸附住所述上扎刺件和所述下扎刺件，所述上扎刺件和所述下扎刺件進行彈性蓄力，所述電磁鐵斷電時，所述上扎刺件擺脫所述電磁鐵的吸附并在所述上彈簧的彈力作用下戳破上方的所述加熱包，且所述下扎刺件擺脫所述電磁鐵的吸附并在所述下彈簧的彈力作用下戳破下方的所述加熱包。
8.根據權利要求1所述的一種應急加熱裝置，其特征在于，當所述加熱目標為罐體容器時，所述加熱包設于所述罐體容器的外圍。
9.根據權利要求8所述的一種應急加熱裝置，其特征在于，所述電磁裝置設于所述加熱包的外部。
10.根據權利要求1所述的一種應急加熱裝置，其特征在于，所述加熱包中的所述加熱物質包括鐵粉。
11.一種半導體設備，其特征在于，包括權利要求1-10任意一項所述的應急加熱裝置。
...【技術特征摘要】
1.一種應急加熱裝置，加熱目標由加熱源直接加熱或應急加熱裝置輔助加熱，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種應急加熱裝置，其特征在于，當所述加熱目標為未帶有翅片的管路，所述加熱源為加熱帶，所述加熱帶設于所述管路外圍時，所述加熱包設于所述加熱帶的外圍。
3.根據權利要求2所述的一種應急加熱裝置，其特征在于，所述電磁裝置設于所述加熱包的外部。
4.根據權利要求3所述的一種應急加熱裝置，其特征在于，所述電磁裝置包括殼體、活動板、安裝板、彈簧、扎刺件以及電磁鐵，所述殼體靠近加熱包布置的一側設有用于避讓所述扎刺件的窗口，所述安裝板固定于所述殼體內，所述活動板的一端與所述安裝板鉸接，所述扎刺件固定于所述活動板上，所述扎刺件具有一個或多個尖狀結構，所述尖狀結構朝向所述窗口，所述彈簧的一端與所述活動板連接，所述彈簧的另一端與所述安裝板連接，所述電磁鐵通電時，所述電磁鐵吸附住所述扎刺件，所述扎刺件進行彈性蓄力，所述電磁鐵斷電時，所述扎刺件擺脫所述電磁鐵的吸附并在所述彈簧的彈力作用下戳破所述加熱包。
5.根據權利要求1所述的一種應急加熱裝置，其特征在于，當所述加熱目標為帶有翅片的管路，所述加熱源為加熱帶，所述加熱帶設于所述管路的所述翅片的外圍時，所述加熱包設于相鄰兩個所述翅片的間隙之間。
6.根據權利要求5所述的一種應急加熱裝置，其特征在于，所述電磁裝置設于上下兩段所述加熱帶的對接處，以及與上下兩段所述加熱...
【專利技術屬性】
技術研發人員：李連杰，趙坤，朱濤，
申請(專利權)人：拓荊科技上海有限公司，
類型：發明
國別省市：
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