【技術實現步驟摘要】
：本技術涉及半導體領域，特別涉及一種高溫擴散爐用大口徑石英管。
技術介紹
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技術介紹
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1、擴散爐是半導體生產線前工序的重要工藝設備之一，用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝，分為水平擴散爐和垂直擴散爐。石英管是用二氧化硅制造的特種工業技術玻璃，是一種非常優良的基礎材料。目前用于擴散爐中的石英管，由于進入石英管的氣體密度具有差異性，容易形成層流，導致硅片上擴散濃度不均勻，影響硅片的質量。
技術實現思路
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技術實現思路
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1、本技術提供了一種高溫擴散爐用大口徑石英管，解決了現有技術中氣體混合不均勻影響硅片質量的問題。
2、本技術的技術解決措施如下：一種高溫擴散爐用大口徑石英管，包括石英管管體，所述石英管管體一端為閉口，另一端為開口，石英管管體的閉口端成型有互相平行的第一進氣管與第二進氣管，所述第一進氣管和第二進氣管連接有不規則管，所述石英管管體內腔分為通氣腔室和反應腔室，所述通氣腔室和反應腔室之間通過圓形隔板分開，所述圓形隔板上開設有十字形槽，所述十字形槽配套有位于反應腔室的十字形擋板，所述十字形擋板的端點處連接有位于通氣腔室的伸縮組件；
3、所述伸縮組件包括成型在石英管管體上的矩形固定板，所述矩形固定板兩邊開設有朝外的不規則凹槽，中心成型有t型凹槽，所述矩形固定板遠離石英管管體的一端朝不規則管方向開設有柱形固定槽，所述柱形固定槽內安裝有橡膠墊，所述橡膠墊連接有彈簧，所述彈
4、作為優選，所述不規則管包括與第一進氣管和第二進氣管連接的v型管，所述v型管另一端成型有波浪管。
5、作為優選，所述石英管管體靠近開口端處成型有出氣口。
6、作為優選，所述十字形槽與十字形擋板接觸面為磨砂面。
7、本技術的有益效果在于：本技術設計的不規則管，能夠延長氣體進入石英管管體內腔的路徑，有利于增加多種氣體進入石英管管體內腔的混合時間，使氣體混合更加均勻；此外還設計有圓形隔板與伸縮組件，圓形隔板將石英管管體內腔分成通氣腔室和反應腔室，當氣體不斷通入時，通氣腔室的氣壓增強，與另一腔室形成壓力差，在壓差的作用下可以推動十字形擋板離開十字形槽，使氣體進入反應腔室，當兩個腔室壓力一致時，十字形擋板在彈簧的作用下回到十字形槽，形成壓差的這段時間則可以使氣體進一步進行混合，而伸縮組件中的不規則凹槽、t型凹槽能夠起到阻礙氣體運動的作用，使氣體的擴散運動路徑更加復雜，有利于提高混合氣體的均勻性。
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1.一種高溫擴散爐用大口徑石英管，包括石英管管體(1)，其特征在于：所述石英管管體(1)一端為閉口，另一端為開口，石英管管體(1)的閉口端成型有互相平行的第一進氣管(2)與第二進氣管(3)，所述第一進氣管(2)和第二進氣管(3)連接有不規則管(7)，所述石英管管體(1)內腔分為通氣腔室和反應腔室，所述通氣腔室和反應腔室之間通過圓形隔板(5)分開，所述圓形隔板(5)上開設有十字形槽(6)，所述十字形槽(6)配套有位于反應腔室的十字形擋板(9)，所述十字形擋板(9)的端點處連接有位于通氣腔室的伸縮組件(8)；
2.根據權利要求1所述的一種高溫擴散爐用大口徑石英管，其特征在于：所述不規則管(7)包括與第一進氣管(2)和第二進氣管(3)連接的V型管(11)，所述V型管另一端成型有波浪管(10)。
3.根據權利要求1所述的一種高溫擴散爐用大口徑石英管，其特征在于：所述石英管管體(1)靠近開口端處成型有出氣口(4)。
4.根據權利要求1所述的一種高溫擴散爐用大口徑石英管，其特征在于：所述十字形槽(6)與十字形擋板(9)接觸面為磨砂面。
【技術特征摘要】
1.一種高溫擴散爐用大口徑石英管，包括石英管管體(1)，其特征在于：所述石英管管體(1)一端為閉口，另一端為開口，石英管管體(1)的閉口端成型有互相平行的第一進氣管(2)與第二進氣管(3)，所述第一進氣管(2)和第二進氣管(3)連接有不規則管(7)，所述石英管管體(1)內腔分為通氣腔室和反應腔室，所述通氣腔室和反應腔室之間通過圓形隔板(5)分開，所述圓形隔板(5)上開設有十字形槽(6)，所述十字形槽(6)配套有位于反應腔室的十字形擋板(9)，所述十字形擋板(9)的端點處連接有位于通...
【專利技術屬性】
技術研發人員：盛文彬，錢麗祥，劉克勇，
申請(專利權)人：浙江奧博石英科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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