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    一種半導體生產用打磨設備制造技術

    技術編號:44488089 閱讀:3 留言:0更新日期:2025-03-04 17:52
    本技術涉及半導體打磨技術領域,公開了一種半導體生產用打磨設備,包括底板,所述底板上部左側固定連接有儲水箱,所述底板上部右側固定連接有斜撐板,所述斜撐板上部固定連接有安裝箱,所述安裝箱上部外側固定連接有擋水板,所述安裝箱上部均勻開設有氣孔,所述安裝箱內底部左側設置有安裝組件,所述安裝箱內底部右側設置有降塵組件,所述擋水板左側均勻固定連接有若干個排水組件,所述安裝箱上部固定連接有龍門架,所述龍門架內部固定連接有打磨設備本體。本技術中,通過水泵、抽水管、輸水管、擋水板和噴頭等結構之間的配合,實現了打磨設備可對降塵處理用水進行循環利用,提高了水資源的利用率。

    【技術實現步驟摘要】

    本技術涉及半導體打磨,尤其涉及一種半導體生產用打磨設備


    技術介紹

    1、半導體組件是導電性介于良導電體與絕緣體之間,利用半導體材料特殊電特性來完成特定功能的電子器件,可用來產生、控制、接收、變換、放大信號和進行能量轉換半導體組件在進行加工處理時,需要對其表面進行打磨處理,因此需要一種半導體生產用打磨設備,半導體生產用的打磨設備是半導體制造過程中的關鍵設備之一,用于加工和精加工半導體晶片表面,以確保其平整度、精度和表面質量。

    2、現有技術中,半導體生產用打磨設備多產生噴淋方式進行降塵,水資源消耗較大且利用率較低。


    技術實現思路

    1、為了彌補以上不足,本技術提供了一種半導體生產用打磨設備,旨在改善現有技術中的半導體生產用打磨設備多產生噴淋方式進行降塵,水資源消耗較大且利用率較低的問題。

    2、為了實現上述目的,本技術采用了如下技術方案:一種半導體生產用打磨設備,包括底板,所述底板上部左側固定連接有儲水箱,所述底板上部右側固定連接有斜撐板,所述斜撐板上部固定連接有安裝箱,所述安裝箱上部外側固定連接有擋水板,所述安裝箱上部均勻開設有氣孔,所述安裝箱內底部左側設置有安裝組件,所述安裝箱內底部右側設置有降塵組件,所述擋水板左側均勻固定連接有若干個排水組件,所述安裝箱上部固定連接有龍門架,所述龍門架內部固定連接有打磨設備本體。

    3、作為上述技術方案的進一步描述:

    4、所述安裝組件包括風機、吸氣管和輸氣管,所述風機固定連接在安裝箱內底部左側,所述吸氣管固定連接在風機輸入端,所述輸氣管固定連接在風機輸出端。

    5、作為上述技術方案的進一步描述:

    6、所述降塵組件包括水泵、抽水管、輸水管和噴頭,所述水泵固定連接在安裝箱內底部右側,所述抽水管固定連接在水泵輸入端,所述輸水管固定連接在水泵輸出端,所述噴頭固定連接在輸水管遠離水泵的一端。

    7、作為上述技術方案的進一步描述:

    8、所述排水組件包括排水管和濾網,所述排水管固定連接在儲水箱右側上部,所述濾網固定連接在排水管遠離儲水箱的一端。

    9、作為上述技術方案的進一步描述:

    10、所述輸氣管貫穿安裝箱。

    11、作為上述技術方案的進一步描述:

    12、所述抽水管貫穿安裝箱與儲水箱固定連接,所述輸水管貫穿安裝箱與龍門架。

    13、作為上述技術方案的進一步描述:

    14、所述排水管貫穿龍門架。

    15、本技術具有如下有益效果:

    16、1、本技術中,通過水泵、抽水管、輸水管、擋水板和噴頭等結構之間的配合,實現了打磨設備可對降塵處理用水進行循環利用,提高了水資源的利用率。

    17、2、本技術中,通過風機、吸氣管和輸氣管等結構之間的配合,實現了半導體生產用打磨設備可對半導體進行真空吸附,避免打磨過程中的半導體發生偏移。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種半導體生產用打磨設備,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)上部左側固定連接有儲水箱(2),所述底板(1)上部右側固定連接有斜撐板(3),所述斜撐板(3)上部固定連接有安裝箱(4),所述安裝箱(4)上部外側固定連接有擋水板(5),所述安裝箱(4)上部均勻開設有氣孔(8),所述安裝箱(4)內底部左側設置有安裝組件,所述安裝箱(4)內底部右側設置有降塵組件,所述擋水板(5)左側均勻固定連接有若干個排水組件,所述安裝箱(4)上部固定連接有龍門架(6),所述龍門架(6)內部固定連接有打磨設備本體(7)。

    2.根據權利要求1所述的一種半導體生產用打磨設備,其特征在于:所述安裝組件包括風機(9)、吸氣管(10)和輸氣管(11),所述風機(9)固定連接在安裝箱(4)內底部左側,所述吸氣管(10)固定連接在風機(9)輸入端,所述輸氣管(11)固定連接在風機(9)輸出端。

    3.根據權利要求1所述的一種半導體生產用打磨設備,其特征在于:所述降塵組件包括水泵(12)、抽水管(13)、輸水管(14)和噴頭(15),所述水泵(12)固定連接在安裝箱(4)內底部右側,所述抽水管(13)固定連接在水泵(12)輸入端,所述輸水管(14)固定連接在水泵(12)輸出端,所述噴頭(15)固定連接在輸水管(14)遠離水泵(12)的一端。

    4.根據權利要求1所述的一種半導體生產用打磨設備,其特征在于:所述排水組件包括排水管(16)和濾網(17),所述排水管(16)固定連接在儲水箱(2)右側上部,所述濾網(17)固定連接在排水管(16)遠離儲水箱(2)的一端。

    5.根據權利要求2所述的一種半導體生產用打磨設備,其特征在于:所述輸氣管(11)貫穿安裝箱(4)。

    6.根據權利要求3所述的一種半導體生產用打磨設備,其特征在于:所述抽水管(13)貫穿安裝箱(4)與儲水箱(2)固定連接,所述輸水管(14)貫穿安裝箱(4)與龍門架(6)。

    7.根據權利要求4所述的一種半導體生產用打磨設備,其特征在于:所述排水管(16)貫穿龍門架(6)。

    ...

    【技術特征摘要】

    1.一種半導體生產用打磨設備,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)上部左側固定連接有儲水箱(2),所述底板(1)上部右側固定連接有斜撐板(3),所述斜撐板(3)上部固定連接有安裝箱(4),所述安裝箱(4)上部外側固定連接有擋水板(5),所述安裝箱(4)上部均勻開設有氣孔(8),所述安裝箱(4)內底部左側設置有安裝組件,所述安裝箱(4)內底部右側設置有降塵組件,所述擋水板(5)左側均勻固定連接有若干個排水組件,所述安裝箱(4)上部固定連接有龍門架(6),所述龍門架(6)內部固定連接有打磨設備本體(7)。

    2.根據權利要求1所述的一種半導體生產用打磨設備,其特征在于:所述安裝組件包括風機(9)、吸氣管(10)和輸氣管(11),所述風機(9)固定連接在安裝箱(4)內底部左側,所述吸氣管(10)固定連接在風機(9)輸入端,所述輸氣管(11)固定連接在風機(9)輸出端。

    3.根據權利要求1所述的一種半導體生產用打磨設備,其特征在于:所述降塵組件包括水泵(12)、抽水...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:劉武軍孫偉張偉彬
    申請(專利權)人:睿昇電子科技深圳有限公司
    類型:新型
    國別省市:

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