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    一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測裝置及方法制造方法及圖紙

    技術(shù)編號(hào):44488936 閱讀:5 留言:0更新日期:2025-03-04 17:53
    本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測裝置及方法,所述裝置包括激光器、聲發(fā)射傳感器、數(shù)據(jù)采集器和控制器,激光器用于發(fā)射激光束,對(duì)待加工材料的加工位置進(jìn)行激光制孔;聲發(fā)射傳感器靠近待加工材料的加工位置安裝,其用于在加工材料制孔過程中感知材料內(nèi)部的聲發(fā)射信號(hào)并進(jìn)行聲電轉(zhuǎn)換;數(shù)據(jù)采集器與聲發(fā)射傳感器相連,用于對(duì)聲發(fā)射信號(hào)進(jìn)行采集獲得檢測信號(hào);控制器用于對(duì)數(shù)據(jù)采集器采集的檢測信號(hào)進(jìn)行分析,監(jiān)測激光制孔的加工狀態(tài),并判斷檢測信號(hào)幅值是否低于設(shè)定閾值,若低于,則發(fā)出指令給激光器,關(guān)閉激光。本發(fā)明專利技術(shù)直接監(jiān)測加工材料本身,不受雜散光、加工光以及環(huán)境噪聲的影響。

    【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

    本專利技術(shù)屬于激光加工,具體涉及一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測裝置及方法


    技術(shù)介紹

    1、激光制孔具有材料去除率高、加工精度高、非接觸加工等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于航空、航天等領(lǐng)域關(guān)鍵部件精密微小孔的加工上。激光制孔過程中,往往是孔的中心區(qū)域先擊穿,擊穿之后需要繼續(xù)加工對(duì)孔邊進(jìn)行修整,以達(dá)到孔型及精度的要求。對(duì)于渦輪葉片等具有內(nèi)腔的零件,在擊穿之后進(jìn)行修孔時(shí),激光束會(huì)穿過內(nèi)腔照射在對(duì)壁面上,造成對(duì)壁面的損傷,業(yè)內(nèi)稱為對(duì)壁損傷。對(duì)壁損傷會(huì)使材料在工作狀態(tài)下先被破壞,造成腔體類零件綜合性能的下降,因此,減小甚至徹底消除對(duì)壁損傷對(duì)采用激光加工腔體類零件微小孔的意義重大。

    2、國內(nèi)外主流的對(duì)壁損傷防護(hù)方式多為被動(dòng)式防護(hù),即在內(nèi)腔中填充保護(hù)材料、沖入流體降低激光能量等,填充保護(hù)材料需要在激光制孔前填充保護(hù)材料,等待保護(hù)材料凝固,激光制孔后還需要去除保護(hù)材料,工藝繁瑣,且激光仍然可以擊穿保護(hù)材料造成對(duì)壁損傷,防護(hù)可靠性不足。沖入流體的方法,雖然可以降低激光能量,但長時(shí)間的加工依然會(huì)造成對(duì)壁損傷,也存在可靠性低的問題。

    3、基于被動(dòng)式防護(hù)方法存在的問題,業(yè)界開始探索主動(dòng)式防護(hù)方法,cn116532825a、“一種激光制孔過程監(jiān)測和調(diào)控組合防護(hù)方法”的中國專利,通過監(jiān)測激光加工過程中的光信號(hào)與孔深度信息的分析,利用機(jī)器學(xué)習(xí)大量分析學(xué)習(xí)模型,預(yù)判孔擊穿時(shí)間。cn118243702a、“激光制孔對(duì)壁損傷的檢測方法及檢測裝置”的中國專利也是利用反射光的信息原位監(jiān)測對(duì)壁損傷情況。cn117929355a、“一種激光制孔對(duì)壁防護(hù)監(jiān)測方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)”的中國專利提出,將內(nèi)腔填充氧化鋁和熒光粉的混合物作為保護(hù)材料,熒光粉可以將不可見紅外光轉(zhuǎn)換成可見光,通過監(jiān)測激光制孔過程中產(chǎn)生的激光誘導(dǎo)擊穿光譜的方式,監(jiān)測激光是否作用到防護(hù)材料上,從而判斷孔是否擊穿。

    4、現(xiàn)有的對(duì)壁損傷主動(dòng)式防護(hù)監(jiān)測方法主要集中在激光制孔過程中反射光信號(hào)、等離子體光譜信號(hào)的監(jiān)測上,該種方式容易受到環(huán)境雜散光、加工光的干涉,導(dǎo)致可靠性下降。


    技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

    1、本專利技術(shù)的主要目的在于提供一種針對(duì)加工材料本身的狀態(tài)監(jiān)測方案,屬于激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)方案,以解決現(xiàn)有被動(dòng)式防護(hù)方法防護(hù)能力弱、可靠性不足以及現(xiàn)有主動(dòng)式防護(hù)方法易受干擾的問題。

    2、為實(shí)現(xiàn)前述專利技術(shù)目的,本專利技術(shù)采用的技術(shù)方案包括:一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測裝置,包括:

    3、激光器,用于發(fā)射激光束,對(duì)待加工材料的加工位置進(jìn)行激光制孔;

    4、聲發(fā)射傳感器,靠近待加工材料的加工位置安裝,其用于在加工材料制孔過程中感知材料內(nèi)部的聲發(fā)射信號(hào)并進(jìn)行聲電轉(zhuǎn)換;

    5、數(shù)據(jù)采集器,與所述聲發(fā)射傳感器相連,用于對(duì)所述聲發(fā)射信號(hào)進(jìn)行采集獲得檢測信號(hào);

    6、控制器,與所述數(shù)據(jù)采集器和所述激光器均相連,用于對(duì)數(shù)據(jù)采集器采集的所述檢測信號(hào)進(jìn)行分析,監(jiān)測激光制孔的加工狀態(tài),并判斷檢測信號(hào)幅值是否低于設(shè)定閾值,若低于,則發(fā)出指令給激光器,關(guān)閉激光。

    7、在一優(yōu)選實(shí)施例中,所述聲發(fā)射傳感器的探測面上涂抹有耦合劑,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的監(jiān)測頻率范圍為20khz~500khz,和/或,所述聲發(fā)射傳感器為諧振式傳感器或高溫傳感器或差動(dòng)傳感器,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的安裝位置與加工位置之間的距離為3mm~20mm,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的直徑為5mm~30mm,高度為5mm~60mm,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的探測面為陶瓷或不銹鋼材質(zhì),和/或,所述聲發(fā)射傳感器的探測面為平面或曲面,和/或,所述聲發(fā)射傳感器直接置于所述待加工材料上或者固定于所述待加工材料上。

    8、在一優(yōu)選實(shí)施例中,所述耦合劑為硅脂或凡士林或黃油,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的中心頻率為40khz、50khz、70khz、150khz、200khz、250khz、300khz中的任意一個(gè)頻率或?qū)掝l。

    9、在一優(yōu)選實(shí)施例中,所述裝置還包括前置放大器,所述前置放大器連接于所述數(shù)據(jù)采集器和所述聲發(fā)射傳感器之間,用于聲發(fā)射信號(hào)增益以及調(diào)節(jié)聲發(fā)射信號(hào)的輸出噪聲。

    10、在一優(yōu)選實(shí)施例中,所述前置放大器的增益為20db或40db或60db。

    11、在一優(yōu)選實(shí)施例中,所述裝置還包括信號(hào)分離器和/或隔離器,所述信號(hào)分離器和/或隔離器連接于所述前置放大器和所述數(shù)據(jù)采集器之間,所述信號(hào)分離器用于分離聲發(fā)射信號(hào)中的直流信號(hào)和交流信號(hào),所述隔離器用于隔斷聲發(fā)射信號(hào)中的直流信號(hào)。

    12、在一優(yōu)選實(shí)施例中,所述設(shè)定閾值為2v~5v。

    13、另一方面,本專利技術(shù)采用的技術(shù)方案包括:一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測方法,包括:

    14、s1,將聲發(fā)射傳感器的探測面上涂抹耦合劑,且將其靠近待加工材料的加工位置安裝;

    15、s2,設(shè)置好數(shù)據(jù)采集器和激光器的工作參數(shù);

    16、s3,激光器根據(jù)其工作參數(shù)發(fā)射激光,對(duì)待加工材料的加工位置進(jìn)行激光制孔;

    17、s4,聲發(fā)射傳感器在制孔過程中感知加工材料內(nèi)部的聲發(fā)射信號(hào)并進(jìn)行聲電轉(zhuǎn)換;

    18、s5,數(shù)據(jù)采集器根據(jù)其工作參數(shù)對(duì)所述聲發(fā)射信號(hào)進(jìn)行采集獲得檢測信號(hào);

    19、s6,控制器對(duì)數(shù)據(jù)采集器采集的所述檢測信號(hào)進(jìn)行分析,監(jiān)測激光制孔的加工狀態(tài),并判斷檢測信號(hào)幅值是否低于設(shè)定閾值,若低于,則發(fā)出指令給激光器,關(guān)閉激光。

    20、在一優(yōu)選實(shí)施例中,所述耦合劑為硅脂,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的安裝位置與加工位置之間的距離為3mm~20mm,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的直徑為5mm~30mm,高度為5mm~60mm,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的探測面為陶瓷或不銹鋼材質(zhì),和/或,所述聲發(fā)射傳感器的探測面為平面或曲面,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的監(jiān)測頻率范圍為20khz~500khz,中心頻率為40khz、50khz、70khz、150khz、200khz、250khz、300khz中的任意一個(gè)頻率或?qū)掝l。

    21、在一優(yōu)選實(shí)施例中,所述數(shù)據(jù)采集器的工作參數(shù)包括采樣頻率,所述采樣頻率范圍為50khz~400khz,和/或,所述激光器的工作參數(shù)包括加工功率,所述加工功率范圍為60w~100w,和/或,所述設(shè)定閾值為2v~5v。

    22、與現(xiàn)有技術(shù)相比較,本專利技術(shù)的有益效果至少在于:

    23、1、本專利技術(shù)通過在被加工材料上安裝聲發(fā)射傳感器,探測被加工材料受到激光束作用后本身發(fā)出的聲發(fā)射信號(hào),并通過數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)對(duì)聲發(fā)射信號(hào)進(jìn)行采集與分析,監(jiān)測激光制孔的加工階段狀態(tài),設(shè)定合適的閾值適時(shí)發(fā)出指令關(guān)閉激光,從而達(dá)到對(duì)壁防護(hù)的效果。該方法直接監(jiān)測加工材料本身,不受雜散光、加工光以及環(huán)境噪聲的影響。

    24、2、本專利技術(shù)采用聲發(fā)射傳感器探測加工材料,可適用于金屬材料、脆性材料、復(fù)合材料等所有固體材料的激光加工信號(hào)監(jiān)測,適用范圍廣泛,且聲發(fā)射傳感器體積較小,便于微小部件、狹小空間的安裝,另外,聲發(fā)射傳感器的信號(hào)采集是實(shí)時(shí)的,采樣時(shí)間在本文檔來自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

    1.一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測裝置,其特征在于,所述裝置包括:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測裝置,其特征在于:所述聲發(fā)射傳感器的探測面上涂抹有耦合劑,和/或,所述聲發(fā)射傳感器為諧振式傳感器或高溫傳感器或差動(dòng)傳感器,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的監(jiān)測頻率范圍為20kHz~500kHz,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的安裝位置與加工位置之間的距離為3mm~20mm,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的直徑為5mm~30mm,高度為5mm~60mm,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的探測面為陶瓷或不銹鋼材質(zhì),和/或,所述聲發(fā)射傳感器的探測面為平面或曲面,和/或,所述聲發(fā)射傳感器直接置于所述待加工材料上或者固定于所述待加工材料上。

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測裝置,其特征在于:所述耦合劑為硅脂或凡士林或黃油,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的中心頻率為40kHz、50kHz、70kHz、150kHz、200kHz、250kHz、300kHz中的任意一個(gè)頻率或?qū)掝l。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測裝置,其特征在于:所述裝置還包括前置放大器,所述前置放大器連接于所述數(shù)據(jù)采集器和所述聲發(fā)射傳感器之間,用于聲發(fā)射信號(hào)增益以及調(diào)節(jié)聲發(fā)射信號(hào)的輸出噪聲。

    5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測裝置,其特征在于:所述前置放大器的增益為20db或40db或60db。

    6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測裝置,其特征在于:所述裝置還包括信號(hào)分離器和/或隔離器,所述信號(hào)分離器和/或隔離器連接于所述前置放大器和所述數(shù)據(jù)采集器之間,所述信號(hào)分離器用于分離聲發(fā)射信號(hào)中的直流信號(hào)和交流信號(hào),所述隔離器用于隔斷聲發(fā)射信號(hào)中的直流信號(hào)。

    7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測裝置,其特征在于:所述設(shè)定閾值為2V~5V。

    8.一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測方法,其特征在于:所述方法包括:

    9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測方法,其特征在于:所述耦合劑為硅脂或凡士林或黃油,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的安裝位置與加工位置之間的距離為3mm~20mm,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的直徑為5mm~30mm,高度為5mm~60mm,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的探測面為陶瓷或不銹鋼材質(zhì),和/或,所述聲發(fā)射傳感器的探測面為平面或曲面,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的監(jiān)測頻率范圍為20kHz~500kHz,中心頻率為40kHz、50kHz、70kHz、150kHz、200kHz、250kHz、300kHz中的任意一個(gè)頻率或?qū)掝l。

    10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測方法,其特征在于:所述數(shù)據(jù)采集器的工作參數(shù)包括采樣頻率,所述采樣頻率范圍為50kHz~400kHz,和/或,所述激光器的工作參數(shù)包括加工功率,所述加工功率范圍為60W~100W,和/或,所述設(shè)定閾值為2V~5V。

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    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測裝置,其特征在于,所述裝置包括:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測裝置,其特征在于:所述聲發(fā)射傳感器的探測面上涂抹有耦合劑,和/或,所述聲發(fā)射傳感器為諧振式傳感器或高溫傳感器或差動(dòng)傳感器,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的監(jiān)測頻率范圍為20khz~500khz,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的安裝位置與加工位置之間的距離為3mm~20mm,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的直徑為5mm~30mm,高度為5mm~60mm,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的探測面為陶瓷或不銹鋼材質(zhì),和/或,所述聲發(fā)射傳感器的探測面為平面或曲面,和/或,所述聲發(fā)射傳感器直接置于所述待加工材料上或者固定于所述待加工材料上。

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測裝置,其特征在于:所述耦合劑為硅脂或凡士林或黃油,和/或,所述聲發(fā)射傳感器的中心頻率為40khz、50khz、70khz、150khz、200khz、250khz、300khz中的任意一個(gè)頻率或?qū)掝l。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測裝置,其特征在于:所述裝置還包括前置放大器,所述前置放大器連接于所述數(shù)據(jù)采集器和所述聲發(fā)射傳感器之間,用于聲發(fā)射信號(hào)增益以及調(diào)節(jié)聲發(fā)射信號(hào)的輸出噪聲。

    5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種激光制孔對(duì)壁損傷主動(dòng)防護(hù)監(jiān)測裝置,其特征在于:所述前置放大器的增益為20db或40db或60db。

    6.根據(jù)權(quán)利...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:秦秀毛凱亮王斌陳曉曉張文武
    申請(專利權(quán))人:中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所
    類型:發(fā)明
    國別省市:

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