【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及探針臺，具體為一種通過rcm解決半導體探針臺設備自動對針的方法。
技術介紹
1、半導體探針臺設備是半導體制造過程中進行晶圓測試的重要設備。在測試過程中，準確地對針是確保測試結果可靠的關鍵步驟。
2、然而，隨著半導體工藝的不斷進步，晶圓尺寸不斷增大，探針臺設備的對針精度和效率面臨著越來越大的挑戰，傳統的探針臺對針方法主要依靠人工操作或簡單的機械定位，精度和效率有限，無法滿足現代半導體工藝的需求，因此，尋求一種高效、高精度的自動對針方法成為了半導體探針臺設備技術發展的重要方向，針對上述問題，專利技術人提出一種通過rcm解決半導體探針臺設備自動對針的方法用于解決上述問題。
技術實現思路
1、為了解決探針臺設備的定位方法精度有限以及圖像識別方法則容易受到環境光線、鏡頭畸變等因素的影響的問題；本專利技術的目的在于提供一種通過rcm解決半導體探針臺設備自動對針的方法。
2、為解決上述技術問題，本專利技術采用如下技術方案：一種通過rcm解決半導體探針臺設備自動對針的方法，包括以下步驟：
3、s1、設備準備
4、利用rcm技術對探針臺本體進行測量和校準，建立設備坐標系和探針頭坐標系之間的對應關系；
5、s2、探針頭校正
6、將探針頭安裝在探針臺本體上，利用rcm技術對探針頭進行精確測量和校準，建立探針頭形狀模型；
7、s3、自動對針
8、在測試過程中，利用rcm技術實時獲取待測芯片的坐標信
9、優選地，所述自動對針的具體步驟如下：
10、s1、初始化
11、初始化rcm系統，設置探針臺本體初始位置，并加載待測芯片的信息，包括芯片坐標、型號等信息；
12、s2、對針點定位
13、根據待測芯片的信息，計算出對針點的坐標位置，此步驟可通過rcm系統進行精確的坐標計算；
14、s3、探針頭對準
15、在rcm系統的控制下，使探針頭精確對準對針點，可通過rcm系統的反饋系統進行精確定位和調整；
16、s4、對針
17、在探針頭對準后，進行對針操作，通過rcm系統控制探針頭的升降和移動，使探針頭與芯片精確接觸；
18、s5、檢測
19、在完成對針后，通過rcm系統進行探針頭與芯片接觸質量的檢測，確保對針準確無誤。
20、優選地，所述探針臺本體的上表面設有兩個基座，兩個所述基座的相對側均固定安裝有連接座，兩個所述連接座的相對側均設有探針安裝座，兩個所述探針安裝座的內部均開設有穿插孔，所述探針頭貫穿穿插孔，所述穿插孔的內部設有安裝機構，所述探針臺本體與基座之間設有水平調節機構，所述基座與探針安裝座之間設有角度調節機構。
21、優選地，所述安裝機構包括若干弧面夾緊板，相鄰兩個所述弧面夾緊板之間均固定安裝有連接架，兩個所述穿插孔的內壁均轉動安裝有雙頭螺桿，兩個所述雙頭螺桿的外壁均螺紋轉動安裝有兩個螺紋套筒，所述螺紋套筒的外壁固定安裝有移動桿，所述移動桿遠離螺紋套筒的一端和連接架的一側固定連接，兩個所述雙頭螺桿的一端均固定安裝有安裝手柄。
22、優選地，所述弧面夾緊板的內壁固定安裝有弧面防滑墊，所述弧面防滑墊的內壁與探針頭的外壁活動接觸。
23、優選地，兩個所述穿插孔的內壁均固定安裝有兩個機架板，所述機架板的一側開設有導向槽，所述導向槽的內壁滑動連接有兩個導向塊，所述導向塊的一側固定安裝有連接桿，所述連接桿遠離導向塊的一端和弧面夾緊板的外壁固定連接。
24、優選地，所述水平調節機構包括兩個第一底板及兩個第二底板，兩個所述第一底板的下表面和探針臺本體的上表面固定連接，兩個所述第一底板的上表面均開設有第一滑槽，兩個所述第一滑槽的內壁均滑動連接有第一滑塊，一個所述第一滑塊的上表面和一個第二底板的下表面固定連接，兩個所述第一底板的一側均轉動安裝有第一螺桿，一個所述第一螺桿貫穿一個第一滑槽并和一個第一滑塊螺紋轉動連接。
25、優選地，兩個所述第二底板的上表面均開設有第二滑槽，兩個所述第二滑槽的內壁均滑動連接有第二滑塊，兩個所述第二滑塊的上表面均固定安裝有固定架，一個所述固定架的一端和一個基座的下表面固定連接，兩個所述第二底板的一側均轉動安裝有第二螺桿，一個所述第二螺桿貫穿一個第二滑槽并和一個第二滑塊螺紋轉動連接。
26、優選地，所述角度調節機構包括兩個u型套，一個所述u型套的一側和一個連接座的一端固定連接，兩個所述u型套的內壁均轉動安裝有轉軸，兩個所述轉軸的外壁均固定安裝有連接套，兩個所述連接套的外壁均固定安裝有連接塊，所述連接塊遠離連接套的一端和探針安裝座的一側固定連接。
27、優選地，兩個所述轉軸的一端均固定安裝有蝸輪，兩個所述u型套的另一側均固定安裝有支撐架，兩個所述支撐架的內壁均轉動安裝有蝸桿，所述蝸桿和蝸輪嚙合連接，兩個所述蝸桿的一端均固定安裝有調節手柄。
28、與現有技術相比，本專利技術的有益效果在于：
29、1、本專利技術中，利用rcm技術的優勢，實現了高精度的探針校正和芯片坐標獲取，保證了自動對針的準確性；
30、2、本專利技術中，通過實時獲取芯片坐標信息，實現了快速自動對針，提高了設備工作效率；
31、3、本專利技術中，rcm技術具有可重構的優點，能夠適應不同尺寸、形狀的待測芯片，具有較強的適應性；
32、4、本專利技術中，無需復雜的機械結構或高成本的圖像識別設備，降低了設備成本。
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1.一種通過RCM解決半導體探針臺設備自動對針的方法，其特征在于，包括以下步驟：
2.如權利要求1所述的一種通過RCM解決半導體探針臺設備自動對針的方法，其特征在于，所述自動對針的具體步驟如下：
3.如權利要求1所述的一種通過RCM解決半導體探針臺設備自動對針的方法，其特征在于，所述探針臺本體(1)的上表面設有兩個基座(11)，兩個所述基座(11)的相對側均固定安裝有連接座(12)，兩個所述連接座(12)的相對側均設有探針安裝座(13)，兩個所述探針安裝座(13)的內部均開設有穿插孔(131)，所述探針頭(14)貫穿穿插孔(131)，所述穿插孔(131)的內部設有安裝機構(2)，所述探針臺本體(1)與基座(11)之間設有水平調節機構(4)，所述基座(11)與探針安裝座(13)之間設有角度調節機構(5)。
4.如權利要求3所述的一種通過RCM解決半導體探針臺設備自動對針的方法，其特征在于，所述安裝機構(2)包括若干弧面夾緊板(21)，相鄰兩個所述弧面夾緊板(21)之間均固定安裝有連接架(23)，兩個所述穿插孔(131)的內壁均轉動安裝有雙頭螺桿(
5.如權利要求4所述的一種通過RCM解決半導體探針臺設備自動對針的方法，其特征在于，所述弧面夾緊板(21)的內壁固定安裝有弧面防滑墊(22)，所述弧面防滑墊(22)的內壁與探針頭(14)的外壁活動接觸。
6.如權利要求4所述的一種通過RCM解決半導體探針臺設備自動對針的方法，其特征在于，兩個所述穿插孔(131)的內壁均固定安裝有兩個機架板(24)，所述機架板(24)的一側開設有導向槽(25)，所述導向槽(25)的內壁滑動連接有兩個導向塊(26)，所述導向塊(26)的一側固定安裝有連接桿(27)，所述連接桿(27)遠離導向塊(26)的一端和弧面夾緊板(21)的外壁固定連接。
7.如權利要求3所述的一種通過RCM解決半導體探針臺設備自動對針的方法，其特征在于，所述水平調節機構(4)包括兩個第一底板(41)及兩個第二底板(42)，兩個所述第一底板(41)的下表面和探針臺本體(1)的上表面固定連接，兩個所述第一底板(41)的上表面均開設有第一滑槽(43)，兩個所述第一滑槽(43)的內壁均滑動連接有第一滑塊(44)，一個所述第一滑塊(44)的上表面和一個第二底板(42)的下表面固定連接，兩個所述第一底板(41)的一側均轉動安裝有第一螺桿(45)，一個所述第一螺桿(45)貫穿一個第一滑槽(43)并和一個第一滑塊(44)螺紋轉動連接。
8.如權利要求7所述的一種通過RCM解決半導體探針臺設備自動對針的方法，其特征在于，兩個所述第二底板(42)的上表面均開設有第二滑槽(46)，兩個所述第二滑槽(46)的內壁均滑動連接有第二滑塊(47)，兩個所述第二滑塊(47)的上表面均固定安裝有固定架(48)，一個所述固定架(48)的一端和一個基座(11)的下表面固定連接，兩個所述第二底板(42)的一側均轉動安裝有第二螺桿(49)，一個所述第二螺桿(49)貫穿一個第二滑槽(46)并和一個第二滑塊(47)螺紋轉動連接。
9.如權利要求3所述的一種通過RCM解決半導體探針臺設備自動對針的方法，其特征在于，所述角度調節機構(5)包括兩個U型套(51)，一個所述U型套(51)的一側和一個連接座(12)的一端固定連接，兩個所述U型套(51)的內壁均轉動安裝有轉軸(52)，兩個所述轉軸(52)的外壁均固定安裝有連接套(53)，兩個所述連接套(53)的外壁均固定安裝有連接塊(531)，所述連接塊(531)遠離連接套(53)的一端和探針安裝座(13)的一側固定連接。
10.如權利要求9所述的一種通過RCM解決半導體探針臺設備自動對針的方法，其特征在于，兩個所述轉軸(52)的一端均固定安裝有蝸輪(54)，兩個所述U型套(51)的另一側均固定安裝有支撐架(55)，兩個所述支撐架(55)的內壁均轉動安裝有蝸桿(56)，所述蝸桿(56)和蝸輪(54)嚙合連接，兩個所述蝸桿(56)的一端均固定安裝有調節手柄(57)。
...【技術特征摘要】
1.一種通過rcm解決半導體探針臺設備自動對針的方法，其特征在于，包括以下步驟：
2.如權利要求1所述的一種通過rcm解決半導體探針臺設備自動對針的方法，其特征在于，所述自動對針的具體步驟如下：
3.如權利要求1所述的一種通過rcm解決半導體探針臺設備自動對針的方法，其特征在于，所述探針臺本體(1)的上表面設有兩個基座(11)，兩個所述基座(11)的相對側均固定安裝有連接座(12)，兩個所述連接座(12)的相對側均設有探針安裝座(13)，兩個所述探針安裝座(13)的內部均開設有穿插孔(131)，所述探針頭(14)貫穿穿插孔(131)，所述穿插孔(131)的內部設有安裝機構(2)，所述探針臺本體(1)與基座(11)之間設有水平調節機構(4)，所述基座(11)與探針安裝座(13)之間設有角度調節機構(5)。
4.如權利要求3所述的一種通過rcm解決半導體探針臺設備自動對針的方法，其特征在于，所述安裝機構(2)包括若干弧面夾緊板(21)，相鄰兩個所述弧面夾緊板(21)之間均固定安裝有連接架(23)，兩個所述穿插孔(131)的內壁均轉動安裝有雙頭螺桿(28)，兩個所述雙頭螺桿(28)的外壁均螺紋轉動安裝有兩個螺紋套筒(29)，所述螺紋套筒(29)的外壁固定安裝有移動桿(3)，所述移動桿(3)遠離螺紋套筒(29)的一端和連接架(23)的一側固定連接，兩個所述雙頭螺桿(28)的一端均固定安裝有安裝手柄(31)。
5.如權利要求4所述的一種通過rcm解決半導體探針臺設備自動對針的方法，其特征在于，所述弧面夾緊板(21)的內壁固定安裝有弧面防滑墊(22)，所述弧面防滑墊(22)的內壁與探針頭(14)的外壁活動接觸。
6.如權利要求4所述的一種通過rcm解決半導體探針臺設備自動對針的方法，其特征在于，兩個所述穿插孔(131)的內壁均固定安裝有兩個機架板(24)，所述機架板(24)的一側開設有導向槽(25)，所述導向槽(25)的內壁滑動連接有兩個導向塊(26)，所述導向塊(26)的一側固定安裝有連接桿(27)，所述連接桿(27)遠離導向塊(26)的一端和弧面夾緊板(21)的外壁固定連接。
...【專利技術屬性】
技術研發人員：沈曉，孫俊杰，胡堂林，田浩元，
申請(專利權)人：江蘇道達智能科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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