【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體，尤其涉及一種真空吸盤用加工斜向氣孔的治具及加工方法。
技術(shù)介紹
1、半導(dǎo)體制程中廣泛使用真空吸盤作為晶圓的裝載和運(yùn)輸裝置，其中比較特殊的為氮化硅陶瓷材質(zhì)真空吸盤，具有在極端環(huán)境下也可以正常使用的優(yōu)點(diǎn)。但是氮化硅陶瓷受硬度限制，中間通氣用氣孔尺寸小、深度大且氣孔為斜孔，導(dǎo)致加工難度增加，難以使用傳統(tǒng)機(jī)床、傳統(tǒng)方式加工。
2、例如公開號(hào)“cn221632547u”，公開了“一種半導(dǎo)體真空吸盤”，包括集氣罩，所述集氣罩的頂部固定連接有組裝管，所述集氣罩的頂面通過螺栓固定安裝有吸盤外殼。但是在實(shí)際應(yīng)用中，真空吸盤上當(dāng)需要設(shè)置斜向氣孔時(shí)，會(huì)面臨加工困難，不方便下刀的問題，斜向加工無法保證加工的精度，同時(shí)不方便工作人員后續(xù)對(duì)真空吸盤進(jìn)行換位加工。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、針對(duì)
技術(shù)介紹
中提到的現(xiàn)有技術(shù)存在斜向氣孔加工不方便的問題，本專利技術(shù)提供了一種真空吸盤用加工斜向氣孔的治具，能夠提高加工過程中的便捷性，同時(shí)保證加工刀具能夠豎直，提高切割刀具的精準(zhǔn)度，保證切割質(zhì)量。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本專利技術(shù)采用以下技術(shù)方案。
3、一種真空吸盤用加工斜向氣孔的治具，包括有支撐架，所述支撐架上設(shè)置有支撐斜面，所述支撐斜面上可拆卸連接有真空吸盤，所述支撐斜面上設(shè)置有對(duì)刀塊，所述對(duì)刀塊上設(shè)置有水平對(duì)刀面，所述支撐斜面上設(shè)置有對(duì)刀孔，所述對(duì)刀孔沿斜向氣孔軸線方向延伸。在本實(shí)施例中，設(shè)置的支撐架擁有支撐斜面，通過將真空吸盤斜向放置在支撐斜面上，從而能夠保證在加工過
4、作為優(yōu)選，所述支撐斜面上設(shè)置有支撐棱邊，所述支撐棱邊形狀對(duì)應(yīng)真空吸盤邊沿形狀。通過設(shè)置支撐棱邊能夠提高對(duì)于真空吸盤的固定效果。
5、作為優(yōu)選，所述支撐棱邊上設(shè)置有調(diào)節(jié)孔，所述調(diào)節(jié)孔上活動(dòng)連接有調(diào)節(jié)塊，所述調(diào)節(jié)塊抵接真空吸盤。通過在支撐棱邊上設(shè)置調(diào)節(jié)塊，從而能夠通過調(diào)節(jié)塊對(duì)真空吸盤進(jìn)行更加穩(wěn)定的固定效果。
6、作為優(yōu)選，所述支撐斜面上設(shè)置有定位支撐柱，所述真空吸盤上設(shè)置有對(duì)應(yīng)連接定位支撐柱的定位孔。通過定位支撐柱卡合連接定位孔，從而使得真空吸盤能夠進(jìn)行初步的預(yù)定位，避免在真空吸盤加工過程中出現(xiàn)位置偏移。
7、作為優(yōu)選，所述對(duì)刀塊靠近真空吸盤一側(cè)設(shè)置有支撐邊，所述支撐邊適應(yīng)真空吸盤邊沿形狀。在對(duì)刀塊上設(shè)置適應(yīng)真空吸盤形狀的支撐邊，從而能夠保證真空吸盤的固定效果均勻，并且節(jié)省安裝空間。
8、作為優(yōu)選，所述支撐架包括有固定外環(huán)和中心內(nèi)圈，所述固定外環(huán)與中心內(nèi)圈之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)圈，所述對(duì)刀塊設(shè)置在固定外環(huán)上，所述對(duì)刀孔設(shè)置在中心內(nèi)圈上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)圈上設(shè)置有固定真空吸盤的支撐棱邊，所述支撐棱邊上設(shè)置有調(diào)節(jié)孔，所述對(duì)刀塊上設(shè)置有固定孔，所述固定孔和調(diào)節(jié)孔能同時(shí)連接有調(diào)節(jié)塊。通過設(shè)置中心內(nèi)圈、轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)圈和固定外圈，從而使得在僅能夠旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)圈的狀態(tài)下，帶動(dòng)真空吸盤進(jìn)行同步轉(zhuǎn)動(dòng)，從而避免將真空吸盤拆卸再組裝的步驟，提高了加工效率，同時(shí)避免了需要多次定位的步驟，將對(duì)刀孔設(shè)置在中心內(nèi)圈上，從而能夠保證對(duì)刀孔的設(shè)置位置保持不變，在進(jìn)行第二個(gè)斜向氣孔加工過程中，僅需要旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)圈即可完成。
9、作為優(yōu)選，所述支撐架上滑動(dòng)連接有滑桿，所述滑桿端部活動(dòng)連接在固定孔內(nèi)，所述滑桿另一端鉸接有伸縮翹桿，所述伸縮翹桿遠(yuǎn)離滑桿一端鉸接中心內(nèi)圈，所述中心內(nèi)圈滑動(dòng)連接在支撐架上，當(dāng)所述調(diào)節(jié)塊脫離固定孔時(shí)，所述中心內(nèi)圈下落，所述滑桿上升至固定孔內(nèi)部。當(dāng)真空吸盤需要進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，則會(huì)松開固定孔和調(diào)節(jié)孔之間的調(diào)節(jié)件，此時(shí)滑桿失去約束，由于中心內(nèi)圈的重力較大，會(huì)向下回落，通過伸縮翹桿將滑桿帶動(dòng)向上運(yùn)動(dòng)，此時(shí)在真空吸盤的轉(zhuǎn)動(dòng)過程中，中心內(nèi)圈失去與真空吸盤的接觸效果，避免真空吸盤在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中與中心內(nèi)圈發(fā)生摩擦損耗，影響成型精度，而在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中真空吸盤與轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)圈為同步轉(zhuǎn)動(dòng)，因此在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中真空吸盤并沒有受到任何摩擦阻滯效果，保證了轉(zhuǎn)動(dòng)的流暢性。
10、一種加工方法，包括有以下步驟：
11、s1、打表對(duì)刀孔記斜向氣孔中心；
12、s2、將真空吸盤固定在支撐斜面上；
13、s3、將加工刀具通過水平對(duì)刀面找平；
14、s4、加工刀具對(duì)準(zhǔn)對(duì)刀孔進(jìn)行鉆孔。
15、作為優(yōu)選，在步驟s4中，對(duì)真空吸盤進(jìn)行多方位鉆孔，第一次鉆孔完成后，松開調(diào)節(jié)孔與固定孔之間的調(diào)節(jié)塊，轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)圈轉(zhuǎn)動(dòng)至指定的調(diào)節(jié)孔與固定孔對(duì)齊，連接調(diào)節(jié)塊后進(jìn)行鉆孔。
16、作為優(yōu)選，將調(diào)節(jié)塊完全脫離固定孔后，再移動(dòng)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)圈。
17、本專利技術(shù)的有益效果如下：
18、(1)能夠提高加工過程中的便捷性，同時(shí)保證加工刀具能夠豎直，提高切割刀具的精準(zhǔn)度，保證切割質(zhì)量；
19、(2)能夠提高切割效率，避免重復(fù)進(jìn)行多次加工刀具的定位，保證真空吸盤的定位準(zhǔn)確性；(3)在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中真空吸盤并沒有受到任何摩擦阻滯效果，保證了轉(zhuǎn)動(dòng)的流暢性，同時(shí)能夠避免對(duì)真空吸盤產(chǎn)生摩擦損耗。
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1.一種真空吸盤用加工斜向氣孔的治具，其特征在于，包括有支撐架(1)，所述支撐架(1)上設(shè)置有支撐斜面(11)，所述支撐斜面(11)上可拆卸連接有真空吸盤(2)，所述支撐斜面(11)上設(shè)置有對(duì)刀塊(3)，所述對(duì)刀塊(3)上設(shè)置有水平對(duì)刀面(31)，所述支撐斜面(11)上設(shè)置有對(duì)刀孔(12)，所述對(duì)刀孔(12)沿斜向氣孔軸線方向延伸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種真空吸盤用加工斜向氣孔的治具，其特征在于，所述支撐斜面(11)上設(shè)置有支撐棱邊(4)，所述支撐棱邊(4)形狀對(duì)應(yīng)真空吸盤(2)邊沿形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求2中所述的一種真空吸盤用加工斜向氣孔的治具，其特征在于，所述支撐棱邊(4)上設(shè)置有調(diào)節(jié)孔(41)，所述調(diào)節(jié)孔(41)上活動(dòng)連接有調(diào)節(jié)塊，所述調(diào)節(jié)塊抵接真空吸盤(2)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種真空吸盤用加工斜向氣孔的治具，其特征在于，所述支撐斜面(11)上設(shè)置有定位支撐柱(13)，所述真空吸盤(2)上設(shè)置有對(duì)應(yīng)連接定位支撐柱(13)的定位孔(21)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種真空吸盤用加工斜向氣孔的治具，其特征
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的一種真空吸盤用加工斜向氣孔的治具，其特征在于，所述支撐架(1)包括有固定外環(huán)(101)和中心內(nèi)圈(103)，所述固定外環(huán)(101)與中心內(nèi)圈(103)之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)圈(102)，所述對(duì)刀塊(3)設(shè)置在固定外環(huán)(101)上，所述對(duì)刀孔(12)設(shè)置在中心內(nèi)圈(103)上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)圈(102)上設(shè)置有固定真空吸盤(2)的支撐棱邊(4)，所述支撐棱邊(4)上設(shè)置有調(diào)節(jié)孔(41)，所述對(duì)刀塊(3)上設(shè)置有固定孔(33)，所述固定孔(33)和調(diào)節(jié)孔(41)能同時(shí)連接有調(diào)節(jié)塊。
7.根據(jù)權(quán)利要求6中所述的一種真空吸盤用加工斜向氣孔的治具，其特征在于，所述支撐架(1)上滑動(dòng)連接有滑桿(5)，所述滑桿(5)端部活動(dòng)連接在固定孔(33)內(nèi)，所述滑桿(5)另一端鉸接有伸縮翹桿(6)，所述伸縮翹桿(6)遠(yuǎn)離滑桿(5)一端鉸接中心內(nèi)圈(103)，所述中心內(nèi)圈(103)滑動(dòng)連接在支撐架(1)上，當(dāng)所述調(diào)節(jié)塊脫離固定孔(33)時(shí)，所述中心內(nèi)圈(103)下落，所述滑桿(5)上升至固定孔(33)內(nèi)部。
8.一種加工方法，使用到權(quán)利要求1-7中任意一項(xiàng)所述的一種真空吸盤用加工斜向氣孔的治具，其特征在于，包括有以下步驟：
9.根據(jù)權(quán)利要求8中所述的一種加工方法，其特征在于，在步驟S4中，對(duì)真空吸盤(2)進(jìn)行多方位鉆孔，第一次鉆孔完成后，松開調(diào)節(jié)孔(41)與固定孔(33)之間的調(diào)節(jié)塊，轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)圈(102)轉(zhuǎn)動(dòng)至指定的調(diào)節(jié)孔(41)與固定孔(33)對(duì)齊，連接調(diào)節(jié)塊后進(jìn)行鉆孔。
10.根據(jù)權(quán)利要求9中所述的一種加工方法，其特征在于，將調(diào)節(jié)塊完全脫離固定孔(33)后，再移動(dòng)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)圈(102)。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種真空吸盤用加工斜向氣孔的治具，其特征在于，包括有支撐架(1)，所述支撐架(1)上設(shè)置有支撐斜面(11)，所述支撐斜面(11)上可拆卸連接有真空吸盤(2)，所述支撐斜面(11)上設(shè)置有對(duì)刀塊(3)，所述對(duì)刀塊(3)上設(shè)置有水平對(duì)刀面(31)，所述支撐斜面(11)上設(shè)置有對(duì)刀孔(12)，所述對(duì)刀孔(12)沿斜向氣孔軸線方向延伸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種真空吸盤用加工斜向氣孔的治具，其特征在于，所述支撐斜面(11)上設(shè)置有支撐棱邊(4)，所述支撐棱邊(4)形狀對(duì)應(yīng)真空吸盤(2)邊沿形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求2中所述的一種真空吸盤用加工斜向氣孔的治具，其特征在于，所述支撐棱邊(4)上設(shè)置有調(diào)節(jié)孔(41)，所述調(diào)節(jié)孔(41)上活動(dòng)連接有調(diào)節(jié)塊，所述調(diào)節(jié)塊抵接真空吸盤(2)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種真空吸盤用加工斜向氣孔的治具，其特征在于，所述支撐斜面(11)上設(shè)置有定位支撐柱(13)，所述真空吸盤(2)上設(shè)置有對(duì)應(yīng)連接定位支撐柱(13)的定位孔(21)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種真空吸盤用加工斜向氣孔的治具，其特征在于，所述對(duì)刀塊(3)靠近真空吸盤(2)一側(cè)設(shè)置有支撐邊(32)，所述支撐邊(32)適應(yīng)真空吸盤(2)邊沿形狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的一種真空吸盤用加工斜向氣孔的治具，其特征在于，所述支撐架(1)包括有固定外環(huán)(101)和中心內(nèi)圈(103)，所述固定外環(huán)(101)與中...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：裴若敏，馬玉琦，李奇，朱靈君，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：杭州大和江東新材料科技有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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