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    一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器制造技術

    技術編號:44489896 閱讀:4 留言:0更新日期:2025-03-04 17:54
    本發明專利技術提出一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器,自下而上分別為:基板,用于支撐整個氣敏傳感器且具有高導熱性;檢測?加熱電極:包括蛇形電極和倒F型電極;所述蛇形電極在倒F型電極附近且沿著倒F型電極設置;所述蛇形電極頭部為1號電極,尾部為2號電極;所述倒F型電極頭部為3號電極;所述1號電極在氣敏傳感器正常工作狀態下接地;所述檢測?加熱電極由導電材料通過濺射或蒸鍍工藝制成,既作為檢測電極使用,又在需要時作為加熱電極進行解吸附;敏感材料涂層,為敏感材料采用旋涂或濺射技術均勻涂蓋在檢測?加熱電極上,用于檢測氣體分子的吸附和脫附過程;所述敏感材料為氣敏材料。本發明專利技術提高檢測的頻率和傳感器的使用壽命。

    【技術實現步驟摘要】

    本專利技術涉及氣體傳感器,特別是一種用于提高氣敏傳感器靈敏度和壽命的帶有加熱功能的氣敏傳感器結構,能夠通過主動加熱實現傳感材料的快速解吸附,適用于檢測氣體環境的傳感器設備。


    技術介紹

    1、傳感器在現代工農業、信息技術、環境監測等領域具有重要的應用。氣敏傳感器作為傳感器的一個重要分支,已經成為近年傳感器研究和開發的重點,是未來傳感器的發展

    2、方向之一。氣體傳感器技術有著關闊的應用前景,可用于工廠、車間和礦山的各種易燃易爆或有害氣體的檢測、家庭可燃性氣體泄漏的監控檢測等。這種傳感器主要是依據其上的氣敏材料層的表面電阻遇到目標氣體(被測氣體)發生變化的原理制成的電子器件。

    3、氣敏傳感器在長期使用過程中,氣體分子與傳感器敏感材料之間的物理或化學吸附可能產生吸附效應。這種吸附效應會影響傳感器后續的檢測靈敏度和準確性,導致測量數據失真,傳感器靈敏度降低。傳統的解決方法是通過外部熱源加熱傳感器,以使敏感材料上的氣體分子解吸附。然而,外部加熱裝置不僅增加了設備的復雜性,還帶來了功耗增加和體積加大的問題。

    4、為了克服現有技術中的缺陷,本專利技術提供了一種具有內置加熱功能的氣敏傳感器,通過集成加熱電極,能夠在氣體檢測完成后主動加熱敏感材料,從而實現快速解吸附,提升傳感器的使用壽命和檢測精度。


    技術實現思路

    1、針對現有技術的不足,本專利技術的目的是提供一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器,通過內置的加熱電極,在氣體檢測完成后,通過施加電壓加熱敏感材料,實現解吸附的效果,避免了氣體分子長期吸附對傳感性能的影響,從而提高檢測的頻率和傳感器的使用壽命。

    2、為了實現上述目的,本專利技術采用的技術方案如下:

    3、本專利技術一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器,自下而上分別為:

    4、基板,用于支撐整個氣敏傳感器且具有高導熱性;

    5、檢測-加熱電極:包括蛇形電極和倒f型電極;所述蛇形電極在倒f型電極附近且沿著倒f型電極設置;所述蛇形電極頭部為1號電極,尾部為2號電極;所述倒f型電極頭部為3號電極;所述1號電極在氣敏傳感器正常工作狀態下接地;所述檢測-加熱電極由導電材料通過濺射或蒸鍍工藝制成,既作為檢測電極使用,又在需要時作為加熱電極進行解吸附;

    6、敏感材料涂層,為敏感材料采用旋涂或濺射技術均勻涂蓋在檢測-加熱電極上,用于檢測氣體分子的吸附和脫附過程;所述敏感材料為氣敏材料。

    7、進一步地,所述倒f型電極上還有若干個一體成型的橫向電極;所述蛇形電極沿著倒f型電極及橫向電極設置。

    8、進一步地,所述基板采用高導熱性的陶瓷材料制成。

    9、進一步地,所述基板采用氧化鋁制成。

    10、進一步地,所述檢測-加熱電極由具有良好導電性和耐高溫性能的金屬材料通過濺射或蒸鍍工藝制成。

    11、進一步地,所述檢測-加熱電極采用鉑、金或銀合金制成通過濺射或蒸鍍工藝制成。

    12、進一步地,所述敏感材料采用氧化錫、氧化鋅或氧化鎢采用旋涂或濺射技術涂覆在檢測-加熱電極的表面制成。

    13、一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器的組裝方法,包括以下步驟:

    14、步驟1.將基板進行清洗和干燥,確保無塵無污染;

    15、步驟2.通過濺射或蒸鍍工藝,在基板上制作蛇形的檢測-加熱電極;

    16、步驟3.采用旋涂或濺射技術將敏感材料均勻涂覆在電極表面,完成氣敏傳感器的組裝;

    17、步驟4.對氣敏傳感器進行封裝,確保在使用過程中穩定可靠。

    18、上述一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器的使用方法,包括以下步驟:

    19、在氣體檢測過程中,使氣敏傳感器處于正常工作狀態下,3號電極保持接地,通過測量1號電極和3號電極之間的電阻變化來判斷氣體分子的吸附情況;當需要進行敏感材料的解吸附時,將1號電極接地,2號電極施加電壓,利用電流產生的熱量對敏感材料進行加熱,使氣體分子脫附。

    20、與現有技術相比,本專利技術的有益效果是:

    21、1.本專利技術通過內置的加熱電極,在氣體檢測完成后,通過施加電壓加熱敏感材料,實現解吸附的效果,避免了氣體分子長期吸附對傳感性能的影響,從而提高檢測的頻率和傳感器的使用壽命。

    22、2.本專利技術的基板采用高導熱性的材料制成,以確保傳感器整體的熱穩定性,特別是在加熱過程中能夠有效傳導熱量,防止電極溫度過高損壞氣敏傳感器。

    23、3.本專利技術的蛇形電極采用彎曲的蛇形設計,能夠最大化電流通過時的發熱面積,確保均勻加熱傳感器的敏感材料涂層。

    24、4.本專利技術的敏感材料選用常見的氣敏材料,如氧化錫(sno2)、氧化鋅(zno)或氧化鎢(wo3)等。這些材料對氣體分子具有良好的吸附性,且在高溫下能夠實現快速的脫附反應。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器,其特征在于,自下而上分別為:

    2.根據權利要求1所述的一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器,其特征在于:所述倒F型電極上還有若干個一體成型的橫向電極;所述蛇形電極沿著倒F型電極及橫向電極設置。

    3.根據權利要求1所述的一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器,其特征在于:所述基板采用高導熱性的陶瓷材料制成。

    4.根據權利要求1所述的一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器,其特征在于:所述基板采用氧化鋁制成。

    5.根據權利要求1所述的一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器,其特征在于:所述檢測-加熱電極由具有良好導電性和耐高溫性能的金屬材料通過濺射或蒸鍍工藝制成。

    6.根據權利要求1所述的一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器,其特征在于:所述檢測-加熱電極采用鉑、金或銀合金制成通過濺射或蒸鍍工藝制成。

    7.根據權利要求1所述的一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器,其特征在于:所述敏感材料采用氧化錫、氧化鋅或氧化鎢采用旋涂或濺射技術涂覆在檢測-加熱電極的表面制成。

    8.一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器的組裝方法,包括以下步驟:

    9.根據權利要求1-7任意一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器的使用方法,包括以下步驟:

    ...

    【技術特征摘要】

    1.一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器,其特征在于,自下而上分別為:

    2.根據權利要求1所述的一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器,其特征在于:所述倒f型電極上還有若干個一體成型的橫向電極;所述蛇形電極沿著倒f型電極及橫向電極設置。

    3.根據權利要求1所述的一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器,其特征在于:所述基板采用高導熱性的陶瓷材料制成。

    4.根據權利要求1所述的一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器,其特征在于:所述基板采用氧化鋁制成。

    5.根據權利要求1所述的一種帶有加熱解吸附功能的氣敏傳感器,其特征在于:所述檢測-加...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:羅傳勝周闖覃劍李春雷崔林麗唐彬戴銘漢黃蕾蘇毅周基立宋冠軍唐一專盧業師羅宇星
    申請(專利權)人:廣西電網有限責任公司南寧供電局
    類型:發明
    國別省市:

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