【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于碳化硅材料制造，特別涉及一種應用在碳化硅材料制造系統的反應容器的管道接駁方法、裝置、程序以及可讀存儲介質。
技術介紹
1、碳化硅是一種具有代表性的陶瓷材料，由于其優異的物理、化學和電學性能，因此在整個工業領域得到廣泛應用。
2、近年來，隨著使用碳化硅材料的半導體加工部件的開發積極進展，碳化硅材料的重要性日益增加。特別地，碳化硅材料由于其高等離子體耐受性而被廣泛用作半導體工藝部件中用于蝕刻工藝的部件。用于半導體蝕刻工藝零件的碳化硅材料是制造碳化硅的傳統方法。由于用這種方法不能滿足質量和性能，因此現有技術中，常采用化學氣相沉積法制造。
3、化學氣相沉積碳化硅采用含si氣體如sih4、sicl2、sicl4和含c氣體如c2h2、ch4、c3h8等的混合物作為原料氣體，或ch3sicl3、ch3sih3，(ch3)3sih)等。有一些使用單片原材料的沉積方法，通過化學氣相沉積制造碳化硅材料具有生產率低的缺點，因為該過程是在間歇式的化學氣相沉積爐中進行的。然而，如果要將間歇式的化學氣相沉積爐改進為連續式的化學氣相沉積爐，則需要解決反應容器在移動后與氣體供給系統之間的管道接駁問題。
技術實現思路
1、為了解決所述現有技術的不足，本專利技術第一方面公開了一種反應容器的管道接駁方法，應用于碳化硅材料的化學氣相沉積，包括：
2、響應于反應容器到達指定位置后生成的準備信號，驅動第一管道向前移動以靠近反應容器的第二管道；
3、驅動電機轉動以帶
4、響應于第一管道與第二管道連接完成后生成的完成信號，開始第一管道和第二管道之間的氣體輸送。
5、進一步的技術方案還可以是，在驅動電機轉動以帶動第一管道轉動從而使得第一管道和第二管道螺紋連接的步驟中，包括：
6、響應于第一管道移動至設定位置后生成的就位信號，驅動電機轉動以帶動第一管道轉動從而使得第一管道和第二管道螺紋連接。
7、進一步的技術方案還可以是，在驅動第一管道向前移動以靠近反應容器的第二管道的步驟中，還包括：
8、獲取距離傳感器檢測第一管道和第二管道之間的距離所生成的距離數據，將距離數據與設定距離數據相對比；
9、若距離數據與設定距離數據相同，則生成就位信號。
10、進一步的技術方案還可以是，在驅動電機轉動以帶動第一管道轉動從而使得第一管道和第二管道螺紋連接的步驟中，還包括：
11、持續獲取電機的力矩數據，并將電機的力矩數據與設定的力矩數據進行對比；
12、若電機的力矩數據與設定的力矩數據之間的差值在預設的誤差范圍內，獲取距離傳感器的距離數據，并將該距離數據與設定距離數據進行對比；
13、若獲取的距離數據大于設定距離數據，則將獲取的距離數據設定為新的設定距離數據。
14、進一步的技術方案還可以是，在驅動第一管道轉動以使得第一管道與第二管道螺紋連接的步驟中，還包括：
15、獲取步驟：獲取反應容器的氣壓數據，并將獲取的氣壓數據與設定氣壓數據相比；
16、比對步驟：若獲取的氣壓數據與設定氣壓數據之間的差值大于設定閾值，則判斷第一管道和第二管道之間的密封性能減弱；
17、調整步驟：驅動電機轉動設定角度；
18、檢驗步驟：設定時間間隔之后，再次將獲取的氣壓數據與設定氣壓數據相比，若獲取的氣壓數據與設定氣壓數據之間的差值小于設定閾值，則進行如下子步驟：
19、獲取電機的力矩數據，并將獲取的力矩數據設定為新的終止力矩數據；
20、否則，重復上述調整步驟和檢驗步驟。
21、進一步的技術方案還可以是，在第一管道與第二管道的氣體輸送過程中，還包括：
22、獲取當前反應容器內的反應流程序；
23、判斷反應容器是否處于保壓狀態；
24、若反應容器處于保壓狀態，間隔一定的時間獲取氣壓數據，得到第一氣壓數據和第二氣壓數據；
25、將第一氣壓數據與第二氣壓數據相比對，得到第一氣壓差值；
26、若第一氣壓差值位于預設的氣壓偏差范圍外，驅動電機轉動設定角度；
27、獲取電機的力矩數據，并將獲取的力矩數據設定為新的終止力矩數據；
28、重復上述步驟，直至第一氣壓差值位于預設的氣壓偏差范圍內。
29、進一步的技術方案還可以是，該管道接駁方法還包括；
30、獲取距離傳感器檢測第一管道和第二管道之間的距離所生成的距離數據；
31、將獲取的距離數據與設定的警告距離數據相比；
32、若獲取的距離數據等于設定的警告距離數據，生成警告信號。
33、本專利技術第二方面還公開了一種計算機程序，所述計算機程序被執行時，能夠實現上面所述的管道接駁方法。
34、本專利技術第三方面還公開了一種可讀存儲介質，所述可讀存儲介質內置有上面所述的計算機程序。
35、本專利技術第四方面還公開了一種反應容器的管道接駁裝置，應用于碳化硅材料制造設備，包括：
36、第一管道，與氣體供給系統連接，所述第一管道能夠與反應容器上的第二管道螺紋連接，以實現氣體的輸送；
37、推動組件，與所述第一管道連接，用于推動所述第一管道沿著所述第一管道的長度延伸方向移動；
38、電機，與所述第一管道連接，用于驅動第一管道轉動以使得所述第一管道能夠與第二管道螺紋連接；
39、控制器，所述控制器用于：
40、響應于反應容器到達指定位置后生成的準備信號，驅動第一管道向前移動以靠近反應容器的第二管道；
41、驅動電機轉動以帶動第一管道轉動從而使得第一管道和第二管道螺紋連接；
42、響應于第一管道與第二管道連接完成后生成的完成信號，開始第一管道和第二管道之間的氣體輸送。
43、進一步的技術方案還可以是，該管道接駁裝置還包括：
44、距離傳感器，與所述控制器電連接，所述距離傳感器用于檢測第一管道與第二管道之間的距離；
45、氣壓傳感器，與所述控制器電連接，所述氣壓傳感器用于檢測反應容器內的氣壓。
46、本專利技術，能夠在反應容器輸送至任一腔室后，迅速地將反應容器與氣體供給系統建立連接，以在反應容器內構建反應所需的氣氛環境。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種反應容器的管道接駁方法，應用于碳化硅材料的化學氣相沉積，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的管道接駁方法，其特征在于，在驅動電機轉動以帶動第一管道轉動從而使得第一管道和第二管道螺紋連接的步驟中，包括：
3.根據權利要求2所述的管道接駁方法，其特征在于，在驅動第一管道向前移動以靠近反應容器的第二管道的步驟中，還包括：
4.根據權利要求3所述的管道接駁方法，其特征在于，在驅動電機轉動以帶動第一管道轉動從而使得第一管道和第二管道螺紋連接的步驟中，還包括：
5.根據權利要求2所述的管道接駁方法，其特征在于，在驅動第一管道轉動以使得第一管道與第二管道螺紋連接的步驟中，還包括：
6.根據權利要求5所述的管道接駁方法，其特征在于，在第一管道與第二管道的氣體輸送過程中，還包括：
7.根據權利要求5所述的管道接駁方法，其特征在于，在第一管道與第二管道的氣體輸送過程中，還包括：
8.根據權利要求6或7所述的管道接駁方法，其特征在于，還包括；
9.一種計算機程序，其特征在于，所述計算機程序被
10.一種可讀存儲介質，其特征在于，所述可讀存儲介質內置有權利要求9所述的計算機程序。
11.一種反應容器的管道接駁裝置，應用于碳化硅材料制造設備，其特征在于，包括：
12.根據權利要求11所述的管道接駁裝置，其特征在于，還包括：
...【技術特征摘要】
1.一種反應容器的管道接駁方法，應用于碳化硅材料的化學氣相沉積，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的管道接駁方法，其特征在于，在驅動電機轉動以帶動第一管道轉動從而使得第一管道和第二管道螺紋連接的步驟中，包括：
3.根據權利要求2所述的管道接駁方法，其特征在于，在驅動第一管道向前移動以靠近反應容器的第二管道的步驟中，還包括：
4.根據權利要求3所述的管道接駁方法，其特征在于，在驅動電機轉動以帶動第一管道轉動從而使得第一管道和第二管道螺紋連接的步驟中，還包括：
5.根據權利要求2所述的管道接駁方法，其特征在于，在驅動第一管道轉動以使得第一管道與第二管道螺紋連接的步驟中，還包括：
6.根據權利...
【專利技術屬性】
技術研發人員：樸鐘熏，崔海珍，金錫津，
申請(專利權)人：蘇州精材半導體科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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