【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備，尤其涉及用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)。
技術(shù)介紹
1、在現(xiàn)有技術(shù)中，高產(chǎn)能半導(dǎo)體工藝設(shè)備例如cvd設(shè)備中的反應(yīng)腔體蓋板構(gòu)件因自重大、構(gòu)件多導(dǎo)致的重心偏置以及六邊形幾何等諸多限制，反應(yīng)腔體蓋板構(gòu)件升降是通過(guò)固定的升降系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。在蓋板升起后，需要將工裝安裝到腔體和蓋板中間，起到安全硬限位的功能，避免上蓋板意外墜落的安全隱患發(fā)生，在所有機(jī)械安全結(jié)構(gòu)失效的情況下，依然能保障腔體和蓋板之間的有效安全空間，避免擠壓、砸傷等安全事故的發(fā)生。
2、然而，而在上述升降系統(tǒng)中，普遍存在的問(wèn)題是，受制于固定的升降機(jī)構(gòu)和幾何結(jié)構(gòu)，無(wú)法安裝可視化傳片工裝蓋板。所以在調(diào)試和維護(hù)過(guò)程中無(wú)法實(shí)現(xiàn)腔內(nèi)真空狀態(tài)下傳片效果的觀察和調(diào)整，只能通過(guò)觀察進(jìn)出片的位置來(lái)推測(cè)腔內(nèi)晶圓的傳輸精度和穩(wěn)定性，晶圓腔內(nèi)輸送成為盲盒操作，無(wú)法有效保障晶圓傳遞的空間精度和一致性。
3、此外，還存在一個(gè)問(wèn)題是，目前采用的升起安全工裝沒(méi)有智能化的信號(hào)聯(lián)動(dòng)功能，存在工裝未拆除時(shí)，人員進(jìn)行上蓋下降誤操作導(dǎo)致的升降系統(tǒng)卡死和部件損壞的情況；增加了設(shè)備損壞風(fēng)險(xiǎn)和降低設(shè)備生產(chǎn)的使用率，影響設(shè)備產(chǎn)能。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本專利技術(shù)提供了一種用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)及半導(dǎo)體工藝設(shè)備。
2、本專利技術(shù)提供的用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)包括腔體、上蓋以及升降驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。
3、所述升降驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括多個(gè)導(dǎo)柱以及多個(gè)升降機(jī)構(gòu)；所述升降驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)用于升降所述
4、所述多個(gè)升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述上蓋的升降。
5、所述多個(gè)導(dǎo)柱中的各導(dǎo)柱的下端安裝在腔體的外側(cè)，上端穿過(guò)所述上蓋的外側(cè)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)與一個(gè)所述升降機(jī)構(gòu)同軸連接。
6、所述多個(gè)導(dǎo)柱中至少有一個(gè)為可拆卸導(dǎo)柱，所述可拆卸導(dǎo)柱允許在所述上蓋向上升起后在所述上蓋和所述腔體之間創(chuàng)造安裝所述可視化蓋板的空間。
7、在一個(gè)實(shí)施例中，所述可拆卸導(dǎo)柱為中空，所述中空的空間能容納所述升降機(jī)構(gòu)的徑向?qū)挾龋凰隹刹鹦秾?dǎo)柱的下端通過(guò)徑向緊固件固定于所述腔體的外側(cè)的固定塊，當(dāng)需要安裝所述可視化蓋板時(shí)，所述緊固件被拆除，所述可拆卸導(dǎo)柱向上提升并沿所述升降機(jī)構(gòu)滑動(dòng)，所述可拆卸導(dǎo)柱提升至所述外側(cè)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的位置時(shí)，通過(guò)徑向緊固件將所述可拆卸導(dǎo)柱的下端固定于所述外側(cè)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)。
8、在一個(gè)實(shí)施例中，所述用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)還包括安全工裝，所述安全工裝設(shè)置在除所述可拆卸導(dǎo)柱外的所述導(dǎo)柱中的至少兩個(gè)上。
9、在一個(gè)實(shí)施例中，所述安全工裝包括：主體、折頁(yè)、肘夾、安全鎖具、法蘭以及檢測(cè)開(kāi)關(guān)。
10、所述主體由兩個(gè)半圓部件組成，所述兩個(gè)半圓部件貼合在所述導(dǎo)柱外周，所述主體的下部固定在所述法蘭上。
11、所述折頁(yè)安裝在所述兩個(gè)半圓部件的一側(cè)結(jié)合縫處。
12、所述肘夾安裝在所述兩個(gè)半圓部件的另一側(cè)結(jié)合縫處，所述肘夾在壓緊后露出所述安全鎖具的鎖孔，用于所述安全鎖具進(jìn)行鎖緊。
13、所述檢測(cè)開(kāi)關(guān)安裝在所述固定塊的外側(cè)，所述檢測(cè)開(kāi)關(guān)的位置保證所述上蓋的正常下降而不觸發(fā)所述檢測(cè)開(kāi)關(guān)，且保證所述安全工裝安裝到所述導(dǎo)柱上后能觸發(fā)所述檢測(cè)開(kāi)關(guān)。
14、在一個(gè)實(shí)施例中，所述檢測(cè)開(kāi)關(guān)的上端為觸發(fā)部；所述觸發(fā)部的最高位置高于所述固定塊的上表面，且低于所述腔體的側(cè)壁的上表面，所述觸發(fā)部與所述腔體的側(cè)壁的上表面形成一高度差。
15、在一個(gè)實(shí)施例中，所述法蘭的截面為異形結(jié)構(gòu)，所述異性結(jié)構(gòu)使得所述法蘭與所述腔體的側(cè)壁面吻合并形成定位，且保證所述安全工裝的安裝面與所述上蓋的密封結(jié)合面分開(kāi)。
16、在一個(gè)實(shí)施例中，所述異性結(jié)構(gòu)為優(yōu)弧弓形狀。
17、在一個(gè)實(shí)施例中，所述安全工裝安裝到所述導(dǎo)柱上后，所述安全工裝通過(guò)自重落到所述固定塊的上表面，使得所述法蘭壓下所述檢測(cè)開(kāi)關(guān)，從而觸發(fā)一禁止信號(hào)，該禁止信號(hào)表示安全工裝存在，從而觸發(fā)所述升降驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的動(dòng)力系統(tǒng)的鎖緊動(dòng)作。
18、在一個(gè)實(shí)施例中，所述多個(gè)升降機(jī)構(gòu)包括至少兩個(gè)主動(dòng)升降機(jī)構(gòu)和至少兩個(gè)從動(dòng)升降導(dǎo)向軸。
19、所述可拆卸導(dǎo)柱為與所述從動(dòng)升降導(dǎo)向軸連接的導(dǎo)柱中的一個(gè)。
20、所述安全工裝安裝在與所述主動(dòng)升降機(jī)構(gòu)連接的導(dǎo)柱上。
21、本專利技術(shù)還提供了一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，包括如前述的用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)。
22、本專利技術(shù)具有以下技術(shù)效果：
23、其一，通過(guò)與從動(dòng)升降導(dǎo)向軸連接的導(dǎo)柱的拆卸上移，為可視化蓋板的安裝提供了必要的空間，同時(shí)剩余的三個(gè)導(dǎo)致可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的支撐功能，保障可視化蓋板在拆裝過(guò)程中的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性；在可視化蓋板拆裝動(dòng)作完成后，上移的導(dǎo)柱可以快速恢復(fù)到與腔體連接的初始狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)更加穩(wěn)定可靠的四點(diǎn)支撐結(jié)構(gòu)；后續(xù)可以通過(guò)石英玻璃來(lái)觀察真空狀態(tài)下腔室內(nèi)晶圓的傳遞情況，迅速判斷晶圓的傳遞精度和重復(fù)穩(wěn)定性；實(shí)現(xiàn)傳片過(guò)程的迅速調(diào)整，降低維護(hù)時(shí)間，提升設(shè)備使用效率。
24、其二，安全工裝的檢測(cè)開(kāi)關(guān)實(shí)現(xiàn)了控制系統(tǒng)的閉環(huán)檢測(cè)，能夠有效監(jiān)測(cè)安裝工裝的存在狀態(tài)，通過(guò)串入系統(tǒng)安全硬回路，實(shí)現(xiàn)最高等級(jí)的安全控制，有效避免人員誤操作導(dǎo)致的設(shè)備損壞和大幅增加的額外的維修時(shí)長(zhǎng)。
25、其三，快速拆裝的肘夾和安全鎖具的二合一設(shè)計(jì)，能夠從安裝施工程序上杜絕升降驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的上電操作。只有安全鎖具解除后，方可獲得解鎖升降驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的主電源斷開(kāi)或閉合的權(quán)限，從安全程序上實(shí)現(xiàn)了第二層的安全保障。
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1.一種用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)，其特征在于，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)，其特征在于，所述可拆卸導(dǎo)柱為中空，所述中空的空間能容納所述升降機(jī)構(gòu)的徑向?qū)挾龋凰隹刹鹦秾?dǎo)柱的下端通過(guò)徑向緊固件固定于所述腔體的外側(cè)的固定塊，當(dāng)需要安裝所述可視化蓋板時(shí)，所述緊固件被拆除，所述可拆卸導(dǎo)柱向上提升并沿所述升降機(jī)構(gòu)滑動(dòng)，所述可拆卸導(dǎo)柱提升至所述外側(cè)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的位置時(shí)，通過(guò)徑向緊固件將所述可拆卸導(dǎo)柱的下端固定于所述外側(cè)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)。
3.如權(quán)利要求1所述的用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)，其特征在于，還包括安全工裝，所述安全工裝設(shè)置在除所述可拆卸導(dǎo)柱外的所述導(dǎo)柱中的至少兩個(gè)上。
4.如權(quán)利要求3所述的用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)，其特征在于，所述安全工裝包括：
5.如權(quán)利要求4所述的用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測(cè)開(kāi)關(guān)的上端為觸發(fā)部；所述觸發(fā)部的最高位置高于所述固定塊的上表面，且低于所述腔體的側(cè)壁的上表面，所述觸發(fā)部與所述腔體的側(cè)壁的上表面形成一高度差。
6.如權(quán)利要求4所述
7.如權(quán)利要求4所述的用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)，其特征在于，所述異形結(jié)構(gòu)為優(yōu)弧弓形狀。
8.如權(quán)利要求4所述的用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)，其特征在于，所述安全工裝安裝到所述導(dǎo)柱上后，所述安全工裝通過(guò)自重落到所述固定塊的上表面，使得所述法蘭壓下所述檢測(cè)開(kāi)關(guān)，從而觸發(fā)一禁止信號(hào)，該禁止信號(hào)表示安全工裝存在，從而觸發(fā)所述升降驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的動(dòng)力系統(tǒng)的鎖緊動(dòng)作。
9.如權(quán)利要求8所述的用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)，其特征在于，所述多個(gè)升降機(jī)構(gòu)包括至少兩個(gè)主動(dòng)升降機(jī)構(gòu)和至少兩個(gè)從動(dòng)升降導(dǎo)向軸；
10.一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，其特征在于，包括：
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)，其特征在于，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)，其特征在于，所述可拆卸導(dǎo)柱為中空，所述中空的空間能容納所述升降機(jī)構(gòu)的徑向?qū)挾龋凰隹刹鹦秾?dǎo)柱的下端通過(guò)徑向緊固件固定于所述腔體的外側(cè)的固定塊，當(dāng)需要安裝所述可視化蓋板時(shí)，所述緊固件被拆除，所述可拆卸導(dǎo)柱向上提升并沿所述升降機(jī)構(gòu)滑動(dòng)，所述可拆卸導(dǎo)柱提升至所述外側(cè)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的位置時(shí)，通過(guò)徑向緊固件將所述可拆卸導(dǎo)柱的下端固定于所述外側(cè)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)。
3.如權(quán)利要求1所述的用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)，其特征在于，還包括安全工裝，所述安全工裝設(shè)置在除所述可拆卸導(dǎo)柱外的所述導(dǎo)柱中的至少兩個(gè)上。
4.如權(quán)利要求3所述的用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)，其特征在于，所述安全工裝包括：
5.如權(quán)利要求4所述的用于安裝可視化蓋板的腔體升降系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測(cè)開(kāi)關(guān)的上端為觸發(fā)部；所述觸發(fā)部的最高位置高于所述固定塊的上表面，且低于...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：李海龍，黃明策，李旭峰，董禮，張艷娟，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：拓荊創(chuàng)益沈陽(yáng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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