【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及一種用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器及其控制方法，屬于電磁兼容試驗(yàn)。
技術(shù)介紹
1、集成電路的電磁兼容測試是一個(gè)相對較新的技術(shù)，而靜電放電(esd)抗擾度測試是集成電路電磁兼容測試中的一項(xiàng)重要測試項(xiàng)目。目前商用靜電放電發(fā)生器輸出等級最高為±9kv，而集成電路研發(fā)生產(chǎn)廠商的需求等級已超過±15kv。此外，現(xiàn)有商用靜電放電發(fā)生器損壞頻率極高，維修成本高，該性能缺陷已成為相關(guān)檢測機(jī)構(gòu)急需解決的重要問題之一。另外，現(xiàn)有設(shè)備級測試用靜電放電發(fā)生器的輸出等級較高，其可以超過±25kv，但是其中的靜電放電槍體積大而且重，槍頭尺寸也較大，測試中通常依靠手持靜電放電槍扣動(dòng)扳機(jī)對設(shè)備進(jìn)行esd測試。如果將設(shè)備級測試用靜電放電發(fā)生器應(yīng)用于集成電路管腳的esd測試，一是難以精準(zhǔn)識(shí)別集成電路的精細(xì)管腳；二是手持靜電放電槍引起的微小移動(dòng)會(huì)影響測試電壓等級，并可能引起集成電路管腳間短路；三是靜電放電槍的重量會(huì)對集成電路管腳造成機(jī)械應(yīng)力從而損壞被測集成電路。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)的目的是：提供用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器及其控制方法，應(yīng)用于集成電路靜電放電抗擾度測試，實(shí)現(xiàn)高放電電壓等級、微小尺寸槍頭、測試定位精準(zhǔn)穩(wěn)定，同時(shí)可控制多靜電放電脈沖輸出，滿足當(dāng)前集成電路產(chǎn)業(yè)需求并確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確可靠。
2、為了達(dá)到上述目的，本專利技術(shù)的一個(gè)方面是公開了一種用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器，其特征在于，包括：
3、微小尺寸槍頭，微小尺寸槍頭的槍頭為針狀良導(dǎo)體金屬，用于接
4、折角槍頭轉(zhuǎn)接器，為折角良導(dǎo)體金屬，用于連接所述微小尺寸槍頭和槍頭底座，確保所述微小尺寸槍頭豎直向下；
5、槍頭底座，為中空的平頭圓錐體形狀的硬質(zhì)結(jié)構(gòu)，用于連接所述折角槍頭轉(zhuǎn)接器與槍體；
6、槍體，槍體外部為硬質(zhì)結(jié)構(gòu)殼體，槍體內(nèi)部包含控制靜電放電脈沖放電的高壓繼電器、容納靜電放電脈沖充放電阻容模塊的空間以及必要的良導(dǎo)體金屬連接結(jié)構(gòu)，所述槍頭底座內(nèi)部靜電放電脈沖傳輸通路上的良導(dǎo)體金屬低阻抗接觸所述槍體內(nèi)部靜電放電脈沖傳輸通路上的良導(dǎo)體金屬；
7、狀態(tài)指示燈，為led指示燈，用于顯示靜電放電發(fā)生器的工作狀態(tài)；
8、可替換阻容模塊，為靜電放電脈沖充放電的電容和電阻模塊，可穩(wěn)定放置入所述槍體，并匹配連接至所述槍體內(nèi)的靜電放電脈沖傳輸通路；
9、槍體轉(zhuǎn)接板，為硬質(zhì)材料，用于加固所述槍體，并將其固定在槍體支架；
10、槍體支架，為硬質(zhì)材料，用于支撐帶所述槍體轉(zhuǎn)接板的所述槍體，用于將所述槍體按所述折角槍頭轉(zhuǎn)接器的內(nèi)角度減去90°的傾斜角度在連接斜面上固定，以保證所述微小尺寸槍頭豎直向下；
11、靜電放電槍連接線包括高壓供電線、高壓繼電器控制線，并根據(jù)應(yīng)用場景可增加靜電放電回線，其中：當(dāng)所述槍體的靜電放電回路為近端時(shí)，所述靜電放電槍連接線不必增加靜電放電回線；當(dāng)所述槍體的靜電放電回路為遠(yuǎn)端時(shí)，所述靜電放電槍連接線增加靜電放電回線；
12、靜電放電發(fā)生器主機(jī)，用于產(chǎn)生所述槍體產(chǎn)生靜電放電脈沖所需的高壓，并控制相關(guān)參數(shù)；
13、控制電腦，通訊連接至所述靜電放電發(fā)生器主機(jī)，作為上位機(jī)控制所述靜電放電發(fā)生器主機(jī)，用于編輯特定參數(shù)需求的靜電放電脈沖。
14、優(yōu)選地，所述微小尺寸槍頭的尖端直徑小于1mm；所述微小尺寸槍頭的長度根據(jù)加工工藝以及與槍體的機(jī)械強(qiáng)度協(xié)調(diào)，其長度可調(diào)。
15、優(yōu)選地，所述折角槍頭轉(zhuǎn)接器與所述微小尺寸槍頭之間通過金屬螺絲低阻抗固定連接。
16、優(yōu)選地，所述槍頭底座的小直徑端與所述折角槍頭轉(zhuǎn)接器固定連接，大直徑端通過螺紋接口或卡扣接口與所述槍體可靠連接。
17、優(yōu)選地，所述槍頭底座以及所述槍體為塑料結(jié)構(gòu)。
18、優(yōu)選地，所述槍頭底座的中空內(nèi)壁采用金屬屏蔽涂層工藝噴涂，以減小靜電放電脈沖傳輸通路上的對外輻射效應(yīng)，且所述槍頭底座的中空內(nèi)壁金屬屏蔽涂層不與所述折角槍頭轉(zhuǎn)接器導(dǎo)體接觸。
19、優(yōu)選地，所述槍體前端為與所述槍頭底座螺紋接口或卡扣接口相匹配的螺紋接口或卡扣接口，后端為便于可靠連接所述可替換阻容模塊的螺紋接口或卡扣接口。
20、優(yōu)選地，所述槍體外殼的內(nèi)壁采用金屬屏蔽涂層工藝噴涂，所述槍體外殼內(nèi)壁的金屬屏蔽涂層不與靜電放電脈沖直接傳輸通道上的導(dǎo)體接觸。
21、優(yōu)選地，所述槍體轉(zhuǎn)接板和所述槍體支架的硬質(zhì)材料相同，并根據(jù)不同應(yīng)用場景可選擇良導(dǎo)體金屬或塑料，其中：當(dāng)所述槍體的靜電放電回路為近端時(shí)，所述槍體轉(zhuǎn)接板和所述槍體支架選擇良導(dǎo)體金屬，并于所述槍體內(nèi)部的靜電放電回路低阻抗連接，共同形成所述槍體的靜電放電回路；當(dāng)所述槍體的靜電放電回路為遠(yuǎn)端時(shí)，所述槍體轉(zhuǎn)接板和所述槍體支架選擇硬質(zhì)塑料。
22、本專利技術(shù)的另一個(gè)方面是公開了一種上述的用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器的控制方法，其特征在于，包括以下步驟：
23、步驟一：所述用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器處于開啟狀態(tài)，通訊連接至控制上位機(jī)；
24、步驟二：在上位機(jī)界面設(shè)置靜電放電單脈沖的電壓、極性、間隔時(shí)間、靜電放電單脈沖的次數(shù)，可以實(shí)現(xiàn)靜電放電單脈沖的測試控制；
25、步驟三：多次步驟二所設(shè)置的靜電放電單脈沖即構(gòu)成一串靜電放電脈沖，即為靜電放電脈沖串或靜電放電脈沖群；
26、在上位機(jī)界面設(shè)置靜電放電脈沖串或靜電放電脈沖群的數(shù)量、間隔時(shí)間，可以實(shí)現(xiàn)靜電放電脈沖串或靜電放電脈沖群的測試控制，其中，所述靜電放電脈沖串或靜電放電脈沖群的間隔時(shí)間通常大于其包含的所述靜電放電單脈沖的間隔時(shí)間。
27、與現(xiàn)有技術(shù)方案相比，本專利技術(shù)具有如下有益技術(shù)效果：本專利技術(shù)提供的用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器，由可替換阻容模塊、槍體、折角槍頭轉(zhuǎn)接器和微小尺寸槍頭構(gòu)成靜電放電脈沖的低寄生效應(yīng)傳輸通道，確保靜電放電脈沖不發(fā)生畸變；槍體由槍體轉(zhuǎn)接板和槍體支架以一定傾斜角度支撐，確保微小尺寸槍頭精準(zhǔn)、穩(wěn)定的定位在被測集成電路管腳，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)識(shí)別集成電路的精細(xì)管腳且避免機(jī)械應(yīng)力損傷被測集成電路；靜電放電發(fā)生器主機(jī)和控制電腦可控制輸出高等級、多靜電放電脈沖等滿足當(dāng)前集成電路產(chǎn)業(yè)需求的集成電路靜電放電抗擾度測試。
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1.一種用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器，其特征在于，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器，其特征在于，所述微小尺寸槍頭的尖端直徑小于1mm；所述微小尺寸槍頭的長度根據(jù)加工工藝以及與槍體的機(jī)械強(qiáng)度協(xié)調(diào)，其長度可調(diào)。
3.如權(quán)利要求1所述的一種用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器，其特征在于，所述折角槍頭轉(zhuǎn)接器與所述微小尺寸槍頭之間通過金屬螺絲低阻抗固定連接。
4.如權(quán)利要求1所述的一種用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器，其特征在于，所述槍頭底座的小直徑端與所述折角槍頭轉(zhuǎn)接器固定連接，大直徑端通過螺紋接口或卡扣接口與所述槍體可靠連接。
5.如權(quán)利要求1所述的一種用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器，其特征在于，所述槍頭底座以及所述槍體為塑料結(jié)構(gòu)。
6.如權(quán)利要求1所述的一種用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器，其特征在于，所述槍頭底座的中空內(nèi)壁采用金屬屏蔽涂層工藝噴涂，以減小靜電放電脈沖傳輸通路上的對外輻射效應(yīng)，且所述槍頭底座的中空內(nèi)壁金屬屏蔽涂層不與所述折角槍頭轉(zhuǎn)接器導(dǎo)體接觸。
7.如權(quán)利要求
8.如權(quán)利要求1所述的一種用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器，其特征在于，所述槍體外殼的內(nèi)壁采用金屬屏蔽涂層工藝噴涂，所述槍體外殼內(nèi)壁的金屬屏蔽涂層不與靜電放電脈沖直接傳輸通道上的導(dǎo)體接觸。
9.如權(quán)利要求1所述的一種用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器，其特征在于，所述槍體轉(zhuǎn)接板和所述槍體支架的硬質(zhì)材料相同，并根據(jù)不同應(yīng)用場景可選擇良導(dǎo)體金屬或塑料，其中：當(dāng)所述槍體的靜電放電回路為近端時(shí)，所述槍體轉(zhuǎn)接板和所述槍體支架選擇良導(dǎo)體金屬，并于所述槍體內(nèi)部的靜電放電回路低阻抗連接，共同形成所述槍體的靜電放電回路；當(dāng)所述槍體的靜電放電回路為遠(yuǎn)端時(shí)，所述槍體轉(zhuǎn)接板和所述槍體支架選擇硬質(zhì)塑料。
10.一種如權(quán)利要求1所述的用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器的控制方法，其特征在于，包括以下步驟：
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器，其特征在于，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器，其特征在于，所述微小尺寸槍頭的尖端直徑小于1mm；所述微小尺寸槍頭的長度根據(jù)加工工藝以及與槍體的機(jī)械強(qiáng)度協(xié)調(diào)，其長度可調(diào)。
3.如權(quán)利要求1所述的一種用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器，其特征在于，所述折角槍頭轉(zhuǎn)接器與所述微小尺寸槍頭之間通過金屬螺絲低阻抗固定連接。
4.如權(quán)利要求1所述的一種用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器，其特征在于，所述槍頭底座的小直徑端與所述折角槍頭轉(zhuǎn)接器固定連接，大直徑端通過螺紋接口或卡扣接口與所述槍體可靠連接。
5.如權(quán)利要求1所述的一種用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器，其特征在于，所述槍頭底座以及所述槍體為塑料結(jié)構(gòu)。
6.如權(quán)利要求1所述的一種用于集成電路測試的靜電放電發(fā)生器，其特征在于，所述槍頭底座的中空內(nèi)壁采用金屬屏蔽涂層工藝噴涂，以減小靜電放電脈沖傳輸通路上的對外輻射效應(yīng)，且所述槍頭底座的中空內(nèi)壁金屬屏蔽涂層不與所述折角槍頭轉(zhuǎn)...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：李金龍，王中，金善益，張?zhí)m菊，田禾箐，
申請(專利權(quán))人：上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院中國上海測試中心，華東國家計(jì)量測試中心，上海市計(jì)量器具強(qiáng)制檢定中心，
類型：發(fā)明
國別省市：
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