【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體材料加工，具體為一種氣相法鈍化半導(dǎo)體材料的設(shè)備。
技術(shù)介紹
1、氣相法鈍化是一種在半導(dǎo)體表面涂覆一層能夠防止雜質(zhì)進(jìn)一步擴(kuò)散的物質(zhì)，從而提高半導(dǎo)體器件的品質(zhì)和穩(wěn)定性的技術(shù)，具體來說，氣相法鈍化通常利用化學(xué)氣相沉積(cvd)技術(shù)來實(shí)現(xiàn)，cvd是一種在氣相中通過化學(xué)反應(yīng)來沉積材料的方法，它可以將一種或多種氣體引入反應(yīng)室中，這些氣體在反應(yīng)室中通過化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生固態(tài)薄膜材料，然后沉積在半導(dǎo)體晶片表面，在半導(dǎo)體表面鈍化的過程中，常用的鈍化材料如氧化鎵、硅氧化物等，可以通過cvd方法沉積在半導(dǎo)體表面上，形成一層具有高介電常數(shù)、高絕緣性和化學(xué)穩(wěn)定性的鈍化層。現(xiàn)有的氣相法鈍化半導(dǎo)體材料的設(shè)備實(shí)用性較差，并且在將氣體引入反應(yīng)室時(shí)氣流極易沖擊半導(dǎo)體樣品，影響加工質(zhì)量。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本專利技術(shù)提供了一種氣相法鈍化半導(dǎo)體材料的設(shè)備，以解決上述
技術(shù)介紹
中提出現(xiàn)有的問題。
2、為實(shí)現(xiàn)以上目的，本專利技術(shù)通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種氣相法鈍化半導(dǎo)體材料的設(shè)備，包括設(shè)備外殼，所述設(shè)備外殼的外表面設(shè)置有按鈕開關(guān)，所述設(shè)備外殼的內(nèi)部設(shè)置有觸摸屏plc一體機(jī)、抽真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥、破真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥和電動(dòng)絲桿升降機(jī)構(gòu)，所述設(shè)備外殼的頂部設(shè)置有材料升華/蒸發(fā)腔室和反應(yīng)腔室，所述材料升華/蒸發(fā)腔室和反應(yīng)腔室的外側(cè)設(shè)置有氣體流量調(diào)節(jié)閥，所述材料升華/蒸發(fā)腔室和反應(yīng)腔室的頂部均鉸接有封蓋，所述材料升華/蒸發(fā)腔室和反應(yīng)腔室的底部均設(shè)置有三通氣管，所述抽真空氣動(dòng)擋板
3、優(yōu)選的，所述封蓋的下表面設(shè)置有密封玻璃，所述封蓋的上表面設(shè)置有觀察口，所述材料升華/蒸發(fā)腔室和反應(yīng)腔室上表面的邊側(cè)處設(shè)置有蓋撐和密閉把手。
4、優(yōu)選的，所述抽真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥和破真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥均設(shè)置有兩組，所述三通氣管的端部與抽真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥和破真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥相連接，兩組所述抽真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥通過波紋管及三通管相連通。
5、優(yōu)選的，所述電動(dòng)絲桿升降機(jī)構(gòu)與升降柱相連接，所述升降柱的數(shù)量為四個(gè)，所述反應(yīng)腔室的下表面設(shè)置有膠圈法蘭，所述電動(dòng)絲桿升降機(jī)構(gòu)通過膠圈法蘭與反應(yīng)腔室相連接，所述電動(dòng)絲桿升降機(jī)構(gòu)的底部設(shè)置有電機(jī)。
6、優(yōu)選的，所述勻流板設(shè)置有三個(gè)，三個(gè)所述勻流板分別設(shè)置在控制蝶閥的輸出端、第一可加熱樣品臺(tái)的下方和第二可加熱樣品臺(tái)的下方。
7、有益效果
8、本專利技術(shù)提供了一種氣相法鈍化半導(dǎo)體材料的設(shè)備。具備以下有益效果：
9、(1)、該氣相法鈍化半導(dǎo)體材料的設(shè)備，通過觸摸屏plc一體機(jī)實(shí)現(xiàn)集成控制整個(gè)設(shè)備的工作，設(shè)備自動(dòng)抽真空，固體粉末從材料升華/蒸發(fā)腔室變?yōu)闅怏w后自動(dòng)進(jìn)入反應(yīng)腔室，氣體覆蓋至樣品一定時(shí)間后自動(dòng)破真空，方便取出加工后的樣品，能夠使整個(gè)加工過程自動(dòng)化程度較高，可控制蒸發(fā)/升華室、反應(yīng)腔室內(nèi)的氣氛，大尺寸半導(dǎo)體材料樣品的鈍化更均勻，工藝一致性較高，鈍化效果更好，不僅適合固體材料的蒸發(fā)/升華，還可擴(kuò)展到液體鈍化劑的蒸發(fā)鈍化，并且設(shè)備的工作效率較高。
10、(2)、該氣相法鈍化半導(dǎo)體材料的設(shè)備，通過設(shè)有的勻流板，可以使進(jìn)入材料升華/蒸發(fā)腔室和反應(yīng)腔室的氣體被分流，氣流均勻分散到腔室內(nèi)，防止氣流沖擊樣品，減少了加工過程中氣流沖擊力對(duì)樣品的影響，提高了加工質(zhì)量。
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1.一種氣相法鈍化半導(dǎo)體材料的設(shè)備，包括設(shè)備外殼(1)，其特征在于：所述設(shè)備外殼(1)的外表面設(shè)置有按鈕開關(guān)(3)，所述設(shè)備外殼(1)的內(nèi)部設(shè)置有觸摸屏PLC一體機(jī)(2)、抽真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥(12)、破真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥(13)和電動(dòng)絲桿升降機(jī)構(gòu)(23)，所述設(shè)備外殼(1)的頂部設(shè)置有材料升華/蒸發(fā)腔室(4)和反應(yīng)腔室(5)，所述材料升華/蒸發(fā)腔室(4)和反應(yīng)腔室(5)的外側(cè)設(shè)置有氣體流量調(diào)節(jié)閥(10)，所述材料升華/蒸發(fā)腔室(4)和反應(yīng)腔室(5)的頂部均鉸接有封蓋(6)，所述材料升華/蒸發(fā)腔室(4)和反應(yīng)腔室(5)的底部均設(shè)置有三通氣管(11)，所述抽真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥(12)的外表面設(shè)置有波紋管及三通管(14)，所述材料升華/蒸發(fā)腔室(4)和反應(yīng)腔室(5)的外表面均設(shè)置有真空規(guī)(15)，所述材料升華/蒸發(fā)腔室(4)和反應(yīng)腔室(5)的內(nèi)部均設(shè)置有熱電偶(16)和勻流板(22)，所述材料升華/蒸發(fā)腔室(4)的內(nèi)部設(shè)置有第一可加熱樣品臺(tái)(17)，所述第一可加熱樣品臺(tái)(17)的上表面設(shè)置有凹槽(19)，所述反應(yīng)腔室(5)的內(nèi)部設(shè)置有第二可加熱樣品臺(tái)(18)，所述第二可加
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣相法鈍化半導(dǎo)體材料的設(shè)備，其特征在于：所述封蓋(6)的下表面設(shè)置有密封玻璃(35)，所述封蓋(6)的上表面設(shè)置有觀察口(9)，所述材料升華/蒸發(fā)腔室(4)和反應(yīng)腔室(5)上表面的邊側(cè)處設(shè)置有蓋撐(7)和密閉把手(8)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣相法鈍化半導(dǎo)體材料的設(shè)備，其特征在于：所述抽真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥(12)和破真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥(13)均設(shè)置有兩組，所述三通氣管(11)的端部與抽真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥(12)和破真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥(13)相連接，兩組所述抽真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥(12)通過波紋管及三通管(14)相連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣相法鈍化半導(dǎo)體材料的設(shè)備，其特征在于：所述電動(dòng)絲桿升降機(jī)構(gòu)(23)與升降柱(20)相連接，所述升降柱(20)的數(shù)量為四個(gè)，所述反應(yīng)腔室(5)的下表面設(shè)置有膠圈法蘭(24)，所述電動(dòng)絲桿升降機(jī)構(gòu)(23)通過膠圈法蘭(24)與反應(yīng)腔室(5)相連接，所述電動(dòng)絲桿升降機(jī)構(gòu)(23)的底部設(shè)置有電機(jī)(25)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣相法鈍化半導(dǎo)體材料的設(shè)備，其特征在于：所述勻流板(22)設(shè)置有三個(gè)，三個(gè)所述勻流板(22)分別設(shè)置在控制蝶閥(21)的輸出端、第一可加熱樣品臺(tái)(17)的下方和第二可加熱樣品臺(tái)(18)的下方。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種氣相法鈍化半導(dǎo)體材料的設(shè)備，包括設(shè)備外殼(1)，其特征在于：所述設(shè)備外殼(1)的外表面設(shè)置有按鈕開關(guān)(3)，所述設(shè)備外殼(1)的內(nèi)部設(shè)置有觸摸屏plc一體機(jī)(2)、抽真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥(12)、破真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥(13)和電動(dòng)絲桿升降機(jī)構(gòu)(23)，所述設(shè)備外殼(1)的頂部設(shè)置有材料升華/蒸發(fā)腔室(4)和反應(yīng)腔室(5)，所述材料升華/蒸發(fā)腔室(4)和反應(yīng)腔室(5)的外側(cè)設(shè)置有氣體流量調(diào)節(jié)閥(10)，所述材料升華/蒸發(fā)腔室(4)和反應(yīng)腔室(5)的頂部均鉸接有封蓋(6)，所述材料升華/蒸發(fā)腔室(4)和反應(yīng)腔室(5)的底部均設(shè)置有三通氣管(11)，所述抽真空氣動(dòng)擋板閥及電磁閥(12)的外表面設(shè)置有波紋管及三通管(14)，所述材料升華/蒸發(fā)腔室(4)和反應(yīng)腔室(5)的外表面均設(shè)置有真空規(guī)(15)，所述材料升華/蒸發(fā)腔室(4)和反應(yīng)腔室(5)的內(nèi)部均設(shè)置有熱電偶(16)和勻流板(22)，所述材料升華/蒸發(fā)腔室(4)的內(nèi)部設(shè)置有第一可加熱樣品臺(tái)(17)，所述第一可加熱樣品臺(tái)(17)的上表面設(shè)置有凹槽(19)，所述反應(yīng)腔室(5)的內(nèi)部設(shè)置有第二可加熱樣品臺(tái)(18)，所述第二可加熱樣品臺(tái)(18)的內(nèi)部設(shè)置有升降柱(20)，所述材料升華/蒸發(fā)腔室(4)的外表面設(shè)置有控制蝶閥(21)和保溫板(26)，所述控制蝶閥(21)遠(yuǎn)離材料升華/蒸發(fā)腔室(4)的一端設(shè)置在反應(yīng)腔室(5)的外表面，所述保溫板(26)的內(nèi)部設(shè)置有電熱絲(27)，所述設(shè)備外殼(1)的內(nèi)壁設(shè)置有絲桿升降開關(guān)電源(28)、絲桿驅(qū)動(dòng)器(29)、繼電器...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：請(qǐng)求不公布姓名，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：深圳市鑄安安全技術(shù)有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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