【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及傳感器，尤其涉及一種氧化銦薄膜的制備方法、氣體傳感器的制備方法及氣體傳感器。
技術介紹
1、二氧化氮(no2)是一種具有刺激性氣味的有毒、有害氣體，其排放主要來自于機動車尾氣以及化石燃料燃燒。大氣中的no2含量過高時，將會引發酸雨、光化學煙霧、近地面臭氧等污染事件，同時no2會對人體的皮膚、眼睛以及呼吸系統等造成嚴重損傷，即使1ppm的低濃度下，長時間暴露于no2環境中也會導致肺損傷、肺水腫甚至死亡。為了人體健康與環境保護，亟需實現對no2的準確、快速檢測。
技術實現思路
1、本專利技術提供了一種氧化銦薄膜的制備方法、氣體傳感器及其制備方法，旨在解決現有的氧化銦薄膜的氣敏性能較差導致無法對no2進行準確、快速檢測的問題。
2、第一方面，本專利技術提供了一種氧化銦薄膜的制備方法，所述方法包括：
3、將銦離子化合物、去離子水、尿素溶液和表面活性劑混合以進行水熱反應，得到氧化銦粉末；
4、將所述氧化銦粉末加入到分散劑溶液中，得到氣敏材料墨水；
5、使用所述氣敏材料墨水進行電流體動力學打印，以在微熱板的表面形成氧化銦薄膜。
6、第二方面，本專利技術提供了一種氣體傳感器的制備方法，所述方法包括：
7、采用本申請實施例提供的任一項所述氧化銦薄膜的制備方法在微熱板的表面形成氧化銦薄膜；
8、對形成有所述氧化銦薄膜的微熱板進行封裝處理，得到氣體傳感器。
9、第三方面，本專利技術提供了一種氣
10、本申請提供的一種氧化銦薄膜的制備方法、氣體傳感器及其制備方法，通過將銦離子化合物、去離子水、尿素溶液和表面活性劑混合以進行水熱反應，得到氧化銦粉末；將氧化銦粉末加入到分散劑溶液中，得到氣敏材料墨水；使用氣敏材料墨水進行電流體動力學打印，以在微熱板的表面形成氧化銦薄膜。由此可以通過水熱反應制得尺寸更小的、具有更高的比表面積和更多的孔道結構的氧化銦粉末，從而有利于no2分子在氧化銦表面的吸附、擴散傳輸以及后續氣敏反應進行，然后通過該氧化銦粉末制得的氣敏材料墨水對微熱板進行電流體動力學打印成膜，成膜精度高、效果好，有利于氣敏性能的提升，從而使得制得的氣體傳感器對no2氣體展現優異的氣敏性能，具有優異的選擇性和穩定性，且制作工藝簡單、成本低，在規?；苽錃怏w傳感器方面具有廣闊應用前景。
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1.一種氧化銦薄膜的制備方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述將銦離子化合物、去離子水、尿素溶液和表面活性劑混合以進行水熱反應，得到氧化銦粉末，包括：
3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述運行參數將所述反應溶液加入到所述水熱反應釜中進行水熱反應，得到氧化銦粉末，包括：
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述將所述氧化銦粉末加入到分散劑溶液中，得到氣敏材料墨水，包括：
6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述使用所述氣敏材料墨水進行電流體動力學打印，以在微熱板的表面形成氧化銦薄膜，包括：
7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述打印參數包括針頭內徑、起始電壓和兩極距離，所述針頭內徑為30-100μm，所述起始電壓為1-2kV，所述兩極距離為0.3-1mm。
8.根據權利要求1-7任一項所述的方法，其特征在于，所述氧化銦粉末的粒徑小于或等于5μm。
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10.一種氣體傳感器，其特征在于，所述氣體傳感器為通過使用如權利要求9所述的氣體傳感器的制備方法制備得到的。
...【技術特征摘要】
1.一種氧化銦薄膜的制備方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述將銦離子化合物、去離子水、尿素溶液和表面活性劑混合以進行水熱反應，得到氧化銦粉末，包括：
3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述運行參數將所述反應溶液加入到所述水熱反應釜中進行水熱反應，得到氧化銦粉末，包括：
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述將所述氧化銦粉末加入到分散劑溶液中，得到氣敏材料墨水，包括：
6.根據權利要求1所述的方法...
【專利技術屬性】
技術研發人員：卿篤安，王永廣，
申請(專利權)人：深圳市諾安智能股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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