【技術實現步驟摘要】
本申請涉及半導體，尤其涉及一種紅外探測器響應率非均勻性校正方法及系統。
技術介紹
1、紅外焦平面探測技術具有光譜響應波段寬、可獲得更多地面目標信息、能晝夜工作等顯著優點，廣泛應用于農牧業、森林資源的調查、開發和管理、氣象預報、地熱分布、地震、火山活動，太空天文探測等領域。碲鎘汞紅外探測器響應率非均勻性是紅外探測重要技術指標之一，直接影響紅外探測器對目標的探測能力。
2、碲鎘汞紅外探測器是紅外探測技術的代表產品之一，如圖1所示，是由紅外光敏材料(碲鎘汞芯片)和硅基讀出電路通過設備倒樁互連制備而成。其工作原理是：由碲鎘汞芯片接收目標的紅外輻射，使芯片內部發生電子躍遷產生光生電子、光生空穴形成微弱電流，然后讀出電路將此微弱電流讀出并轉化為電壓信號輸出。受到碲鎘汞材料生長和器件制備工藝的影響，對相同強度的紅外輻射，紅外探測器不同像素產生的信號不同，因此響應率非均勻性會影響成像質量，圖2是響應率非均勻性很差的紅外探測器對均勻輻射的電平響應，進而限制紅外探測器的應用范圍。因此需要對紅外探測器的響應率非均勻性進行校正，是提升紅外探測器性能的關鍵技術問題。
技術實現思路
1、本申請實施例提供一種紅外探測器響應率非均勻性校正方法及系統，實現在需要進行信號增強的像素表面制備微透鏡結構進行信號增強，在需要降低信號的像素邊緣制備金屬遮光結構，通過調節像素信號響應大小，對紅外探測器響應率非均勻性進行校正，提升其性能。
2、本申請實施例提供一種紅外探測器響應率非均勻性校正方法，包括：<...
【技術保護點】
1.一種紅外探測器響應率非均勻性校正方法，其特征在于，包括：
2.如權利要求1所述的紅外探測器響應率非均勻性校正方法，其特征在于，根據計算的最佳值區間以及所述系數矩陣還包括：為無需校正的像素配置系數為0。
3.如權利要求1所述的紅外探測器響應率非均勻性校正方法，其特征在于，根據配置后的系數矩陣進行光刻圖形設計包括：
4.如權利要求3所述的紅外探測器響應率非均勻性校正方法，其特征在于，為負值系數設置的像素邊緣遮光結構，其中負值系數的絕對值越大遮光結構的尺寸越大；以及，
5.如權利要求4所述的紅外探測器響應率非均勻性校正方法，其特征在于，為負值系數設置的像素邊緣遮光結構包括：
6.一種紅外探測器響應率非均勻性校正系統，其特征在于，包括處理器和存儲器，所述存儲器上存儲有計算機程序，所述計算機程序被處理器執行時實現如權利要求1至5中任一項所述的紅外探測器響應率非均勻性校正方法的步驟。
【技術特征摘要】
1.一種紅外探測器響應率非均勻性校正方法，其特征在于，包括：
2.如權利要求1所述的紅外探測器響應率非均勻性校正方法，其特征在于，根據計算的最佳值區間以及所述系數矩陣還包括：為無需校正的像素配置系數為0。
3.如權利要求1所述的紅外探測器響應率非均勻性校正方法，其特征在于，根據配置后的系數矩陣進行光刻圖形設計包括：
4.如權利要求3所述的紅外探測器響應率非均勻性校正方法，其特征在于，為...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張軼，游聰婭，劉銘，劉世光，何溫，
申請(專利權)人：中國電子科技集團公司第十一研究所，
類型：發明
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。