一種顯示基板承載裝置、顯示基板放置及釋放方法、固化裝置，用于顯示面板的制造，顯示基板承載裝置包括：氣浮平臺，配置為以氣浮方式承載顯示基板；升降桿支架，與所述氣浮平臺平行設(shè)置；以及升降桿，設(shè)置在所述升降桿支架邊緣處，配置為支撐所述顯示基板的邊緣并轉(zhuǎn)運所述顯示基板，其中，所述升降桿支架配置為相對于所述氣浮平臺在垂直于所述氣浮平臺的方向上移動使得升降桿向所述氣浮平臺傳送所述顯示基板，或自所述氣浮平臺取出所述顯示基板。
【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本公開涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，具體而言，涉及一種顯示基板承載裝置、顯示基板放置及釋放方法、固化裝置。
技術(shù)介紹
1、在半導(dǎo)體器件例如oled顯示面板的制備工藝中，可以采用噴墨打印、噴墨涂覆等多種方式在oled顯示基板上形成像素發(fā)光層、液體光學(xué)膠(optical?clear?resin)層等，隨后需要將oled顯示基板轉(zhuǎn)移至固化設(shè)備來進行固化實現(xiàn)oled顯示基板層結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本公開提供一種顯示基板承載裝置，用于顯示面板的制造，包括：
2、氣浮平臺，配置為以氣浮方式承載顯示基板；
3、升降桿支架，與所述氣浮平臺平行設(shè)置；以及
4、升降桿，設(shè)置在所述升降桿支架邊緣處，配置為支撐所述顯示基板的邊緣并轉(zhuǎn)運所述顯示基板，
5、其中，所述升降桿支架配置為相對于所述氣浮平臺在垂直于所述氣浮平臺的方向上移動使得升降桿向所述氣浮平臺傳送所述顯示基板，或自所述氣浮平臺取出所述顯示基板。
6、在一些實施例中，所述升降桿包括：
7、支撐升降桿，設(shè)置在所述升降桿支架的邊緣處，配置為支撐所述顯示基板，所述支撐升降桿包括：
8、支撐升降桿主體，可拆卸地設(shè)置在所述升降桿支架的邊緣處；以及
9、支撐桿，設(shè)置在所述支撐升降桿主體上，垂直于所述支撐升降桿主體設(shè)置，配置為支撐所述顯示基板的邊緣，
10、其中，所述氣浮平臺邊緣設(shè)置有凹口，配置為允許所述支撐桿遠離所述支撐升降桿主體的自由端穿過。
>11、在一些實施例中，支撐桿整體呈圓柱桿狀，所述支撐桿遠離所述支撐升降桿主體的自由端呈球形。12、在一些實施例中，所述支撐升降桿的數(shù)量為多個，沿所述升降桿支架的邊緣均勻布設(shè)。
13、在一些實施例中，所述升降桿包括：
14、限位升降桿，設(shè)置在升降桿支架的角部處，配置為限定所述顯示基板的位置，所述限位升降桿包括：
15、限位升降桿主體，可拆卸地設(shè)置在所述升降桿支架的角部處；
16、限位件，可拆卸地安裝在所述限位升降桿主體上，配置為限定所述顯示基板的角部位置。
17、在一些實施例中，所述限位件包括：
18、直角彎折件，具有相鄰設(shè)置的兩直角邊，用于限定所述顯示基板的角部處相鄰直角邊的位置；以及
19、支撐墊，設(shè)置在所述直角彎折件彎折部處，配置為支撐所述顯示基板的角部，
20、其中，所述氣浮平臺角部設(shè)置有缺口，配置為允許所述支撐墊穿過。
21、在一些實施例中，所述限位升降桿的數(shù)量為四個，分別設(shè)置在所述升降桿支架的四個角部處。
22、在一些實施例中，所述氣浮平臺包括：
23、支撐平臺，所述支撐平臺上均勻排布多個噴氣區(qū)域；以及
24、氣體分配裝置，設(shè)置在所述支撐平臺一側(cè)，配置為向所述多個噴氣區(qū)域提供氣體使得所述多個噴氣區(qū)域的噴氣壓強均衡。
25、在一些實施例中，所述顯示基板承載裝置包括：
26、載臺，配置為承載所述氣浮平臺和升降桿支架；以及
27、支撐柱，設(shè)置在所述載臺和所述氣浮平臺之間，配置為支撐所述氣浮平臺，
28、其中，所述升降桿支架設(shè)置在所述載臺和所述氣浮平臺之間，所述升降桿支架具有鏤空區(qū)域，所述支撐柱穿過所述鏤空區(qū)域。
29、本公開一些實施例提供一種顯示基板放置方法，采用前述實施例所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，所述顯示基板放置方法包括以下步驟：
30、機械臂傳送顯示基板至所述氣浮平臺上方；
31、升降桿支架靠近所述氣浮平臺使得所述升降桿穿過所述氣浮平臺邊緣支撐并定位所述顯示基板；
32、顯示基板脫離所述機械臂，升降桿支架遠離所述氣浮平臺使得所述升降桿攜帶顯示基板靠近所述氣浮平臺直至所述顯示基板脫離所述升降桿支撐由所述氣浮平臺氣浮支撐。
33、本公開一些實施例提供一種顯示基板釋放方法，采用前述實施例所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，所述顯示基板釋放方法包括以下步驟：
34、升降桿支架靠近所述氣浮平臺使得所述升降桿穿過所述氣浮平臺邊緣支撐所述顯示基板并攜帶所述顯示基板遠離所述氣浮平臺；
35、機械臂移動至所述氣浮平臺上方抓取所述顯示基板，并攜帶顯示基板轉(zhuǎn)移至下一工序；
36、升降桿支架遠離所述氣浮平臺使得所述升降桿復(fù)位。
37、本公開一些實施例提供一種固化裝置，包括前述實施例所述的顯示基板承載裝置。
38、本公開實施例的上述方案可以有以下有益效果：
39、升降桿設(shè)置在升降桿支架邊緣處，使得升降桿支撐顯示基板的邊緣將其傳送至氣浮平臺上，避免了在氣浮平臺設(shè)計運行升降桿穿過的通孔，改善了相關(guān)技術(shù)中由于通孔引起的pin?mura的缺陷。
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【技術(shù)保護點】
1.一種顯示基板承載裝置，用于顯示面板的制造，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，所述升降桿包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，支撐桿整體呈圓柱桿狀，所述支撐桿遠離所述支撐升降桿主體的自由端呈球形。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，所述支撐升降桿的數(shù)量為多個，沿所述升降桿支架的邊緣均勻布設(shè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，所述升降桿包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，所述限位件包括：
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，所述限位升降桿的數(shù)量為四個，分別設(shè)置在所述升降桿支架的四個角部處。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至3、5、6中的任一項所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，所述氣浮平臺包括：
9.根據(jù)權(quán)利要求1至3、5、6中的任一項所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，所述顯示基板承載裝置包括：
10.一種顯示基板放置方法，采用權(quán)利要求1至9中任一項所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，所述顯示基板放置方法包括以下步驟：
11.一種顯示基板釋放方法，采用權(quán)利要求1至9中任一項所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，所述顯示基板釋放方法包括以下步驟：
12.一種固化裝置，其特征在于，包括權(quán)利要求1至9中任一項所述的顯示基板承載裝置。
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【技術(shù)特征摘要】
1.一種顯示基板承載裝置，用于顯示面板的制造，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，所述升降桿包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，支撐桿整體呈圓柱桿狀，所述支撐桿遠離所述支撐升降桿主體的自由端呈球形。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，所述支撐升降桿的數(shù)量為多個，沿所述升降桿支架的邊緣均勻布設(shè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，所述升降桿包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，所述限位件包括：
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的顯示基板承載裝置，其特征在于，所...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：夏蘆運，李寧，杜浣飛，
申請(專利權(quán))人：科迪華顯示技術(shù)紹興有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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