【技術實現步驟摘要】
本公開涉及碲鋅鎘材料領域，更具體地涉及一種不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法。
技術介紹
1、碲鋅鎘襯底是采用碲鋅鎘(cd1-xznxte，x＝0.04，czt)晶體為材料制造而成的襯底。其優異的光電性能可在室溫下使用，應用領域主要集中在紅外探測器與高能探測器量大方面。作為襯底材料，其表面質量要求甚高，一般表面粗糙度要求小于1nm，表面平整度ttv小于3μm，ra≤1nm。
2、碲鋅鎘材料脆性大、硬度低，而碲鋅鎘單晶材料由于長晶晶粒控制隨機性較大，多是不規則晶片，在制作襯底片的過程中，需要對表面進行拋光加工。要達到高質量表面要求的襯底片，通常進行多次拋光。
3、傳統加工工藝中，需將晶體切片，然后對晶片進行研磨，研磨后進行第一次拋光，對研磨面損傷層去除，然后進行第二次拋光，對表面表面粗糙度進行修整。使用雙面拋光無法解決不規則片的拋光問題。使用單拋機拋光工藝，由于拋光盤自轉以及拋光的壓頭的自轉，晶片表面線速度由邊緣向中心點逐減，晶片表面材料去除率也同樣，在此情況下，晶片表面形成邊緣低中間高的凸起狀態，也就形成常見的塌邊狀態，而在長時間拋光中，邊緣也容易導致崩邊。
4、現加工技術分別有單方面解決大尺寸不規則碲鋅鎘襯底拋光時拋光崩邊、ttv差以及塌邊的方案，但卻沒有一套有效同時解決三方面問題的加工方案。
5、隨著碲鋅鎘晶體生長技術的發展，碲鋅鎘襯底片面陣需求也越來越大。而傳統拋光中導致的面型凸起，邊緣塌邊現象，嚴重影響了襯底片的使用率，這也導致成本上升。因此需要針對不規則大尺寸的襯底的
技術實現思路
1、鑒于
技術介紹
中存在的問題，本公開的一目的在于提供一種不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法，其能夠同時解決崩邊、ttv以及塌邊三個方面的問題。
2、由此，一種不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法包括步驟：s1，晶片清潔：將不規則大尺寸的區分好ab面的碲鋅鎘晶片清潔干凈；s2，提供基片：使用藍寶石晶圓作為基片，藍寶石晶圓的尺寸使得藍寶石晶圓的表面輪廓涵蓋碲鋅鎘晶片，藍寶石晶圓的表面ttv≤1μm；s3，上蠟貼片，包括子步驟：s31，在上蠟機上在藍寶石晶圓的表面上上白石蠟，s32，使碲鋅鎘晶片的a面與藍寶石晶圓對中地貼合，s33，加壓冷卻，通過加壓冷卻使得碲鋅鎘晶片與藍寶石晶圓貼合并粘接固定在一起；s4，減薄機單面減薄，包括子步驟：s41，將貼合并粘接固定在一起的碲鋅鎘晶片與藍寶石晶圓放到減薄機的工作臺上，砂輪的端面相對工作臺的傾角為0.0057°，在砂輪與工作臺相對的方向上，砂輪的端面的投影涵蓋工作臺的旋轉中心，s42，使用砂輪對碲鋅鎘晶片的b面進行磨削加工，砂輪加工采用多步加工，加工后的碲鋅鎘晶片的b面ttv為1-3μm、由邊緣向中心點凹、表面粗糙度≤10nm；s5，單拋機cmp拋光，包括子步驟：s51，將單面減薄的碲鋅鎘晶片和藍寶石晶圓安裝到壓頭上，s52，將壓頭安裝到單拋機上，通過拋光盤上的拋光墊并在拋光墊與壓頭之間噴射拋光液進行拋光，s53，拋光后的碲鋅鎘晶片的b面的表面粗糙度ra<1nm，ttv為0-1μm；s6，下蠟：從單拋機上取下碲鋅鎘晶片和藍寶石晶圓，將碲鋅鎘晶片的a面與藍寶石晶圓之間的白石蠟去除干凈；s7，重復步驟s1至步驟s6，針對碲鋅鎘晶片的a面進行表面加工，最終得到碲鋅鎘晶片是ttv≤2μm、ra≤1nm。
3、本公開的有益效果如下：在根據本公開的不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法中，在步驟s4的減薄機單面減薄中，通過子步驟s4的砂輪的端面相對工作臺的傾角為0.0057°、在砂輪與工作臺相對的方向上砂輪的端面的投影涵蓋工作臺的旋轉中心，在經過子步驟s42的砂輪的多步加工后，加工后的碲鋅鎘晶片的b面由邊緣向中心點凹，如此就避免了
技術介紹
中的邊緣低中間高的凸起(塌邊)狀態，進而避免崩邊；在步驟s4的基礎上進一步進行步驟s5的單拋機cmp拋光，達到b面的表面粗糙度ra<1nm、ttv為0-1μm；通過步驟s7的重復步驟s1至步驟s6，最終得到碲鋅鎘晶片是ttv≤2μm、ra≤1nm、而且無崩邊、無塌邊。也就是說，根據本公開的不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法能夠同時解決崩邊、ttv以及塌邊三個方面的問題。
【技術保護點】
1.一種不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法，其特征在于，包括步驟：
2.根據權利要求1所述的不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法，其特征在于，
3.根據權利要求1所述的不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法，其特征在于，
4.根據權利要求1所述的不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法，其特征在于，
5.根據權利要求1所述的不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法，其特征在于，
6.根據權利要求1所述的不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法，其特征在于，
7.根據權利要求6所述的不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法，其特征在于，
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9.根據權利要求1所述的不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法，其特征在于，
10.根據權利要求1所述的不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法，其特征在于，
【技術特征摘要】
1.一種不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法，其特征在于，包括步驟：
2.根據權利要求1所述的不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法，其特征在于，
3.根據權利要求1所述的不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法，其特征在于，
4.根據權利要求1所述的不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法，其特征在于，
5.根據權利要求1所述的不規則大尺寸碲鋅鎘襯底片的表面加工方法，其特征在于，
【專利技術屬性】
技術研發人員：朱照想，黎子鋒，狄聚青，肖溢，
申請(專利權)人：廣東晶智光電科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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