【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種加工裝置，尤其涉及一種激光加工裝置。
技術介紹
1、市售的脈沖激光，有部分在控制出光上，都會有剛啟動時前面幾發脈沖能量不足的問題。因此，當有些工藝需要使用單發并足夠的脈沖能量來進行加工時，則無法用此類的脈沖激光來進行。若還是使用此類的脈沖激光來進行工藝，則可能因為能量不足的激光脈沖在加工元件上產生預期外的效果，而造成了工藝的不穩定性。
2、也就是說，脈沖激光在剛啟動的瞬間，會有部分脈沖的功率與目標功率有差異(一般是低于目標功率)，功率不足的脈沖對于工藝的結果會有不穩定且難以預測的不良影響。
3、一種現有技術是在激光裝置的出口加上光電調制器，以光閘門(gate)開關的時間來選擇性的允許脈沖通過。在脈沖激光尚未達到額定功率的穩定狀態時，光閘門會是阻斷的，而直到脈沖激光達到額定功率，光閘門才會開通。然而，光電調制器成本高，難以大規模設置于量產機臺中。
技術實現思路
1、本專利技術是針對一種激光加工裝置，其可提升工藝的穩定性或多樣性。
2、本專利技術的一實施例提出一種激光加工裝置，包括激光單元、振鏡模塊、聚焦模塊、屏蔽及加工載臺。激光單元用以發射激光脈沖光束。振鏡模塊設置于激光脈沖光束的路徑上，用以反射激光脈沖光束，且具有第一模態以及第二模態，用以選擇性地以第一模態將激光脈沖光束反射成為第一光束，或以第二模態將激光脈沖光束反射成為第二光束，第一光束與第二光束具有不同的射向。聚焦模塊接收振鏡模塊于第二模態所反射的第二光束，并聚焦于焦點。屏
3、本專利技術的一實施例提出一種激光加工裝置，包括激光單元、振鏡模塊、聚焦模塊及加工載臺。激光單元用以發射激光脈沖光束，其中激光脈沖光束包括第一激光脈沖光束與第二激光脈沖光束，且第一激光脈沖光束的能量小于第二激光脈沖光束的能量。振鏡模塊設置于激光脈沖光束的路徑上，用以反射激光脈沖光束，且具有第一模態以及第二模態，用以選擇性地以第一模態將第一激光脈沖光束反射成為第一光束，或以第二模態將第二激光脈沖光束反射成為第二光束。第一光束與第二光束具有不同的射向。聚焦模塊接收振鏡模塊于第二模態所反射的第二光束，并聚焦于焦點。加工載臺設置于焦點位置，用以承載加工元件，其中加工元件接收第二光束的照射。
4、在本專利技術的實施例的激光加工裝置中，由于利用振鏡模塊選擇性地以第一模態將激光脈沖光束反射成為第一光束，或以第二模態將激光脈沖光束反射成為第二光束，因此可以將能量達穩定的第二光束反射至聚焦模塊以聚焦，而有效提升工藝的穩定性?；蛘?，本專利技術的實施例的激光加工裝置可以使第一光束與第二光束形成不同的工藝條件，以提升工藝的多樣性。
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1.一種激光加工裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述激光單元所發射的所述激光脈沖光束包括第一激光脈沖光束與第二激光脈沖光束，其中所述第一激光脈沖光束的能量小于所述第二激光脈沖光束的能量，且所述第一激光脈沖光束由所述振鏡模塊以所述第一模態反射，所述第二激光脈沖光束由所述振鏡模塊以所述第二模態反射。
3.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述激光單元所發射的所述激光脈沖光束包括多個具有第一頻率的激光脈沖光束，且所述振鏡模塊以第二頻率于所述第一模態與所述第二模態間切換。
4.根據權利要求3所述的激光加工裝置，其特征在于，所述第二頻率小于所述第一頻率，且所述第二模態與所述多個具有所述第一頻率的激光脈沖光束的至少一個的時序重疊。
5.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述振鏡模塊于所述第一模態下使所述第一光束入射所述聚焦模塊的角度不同于所述第二模態下使所述第二光束入射所述聚焦模塊的角度，且所述振鏡模塊用以在所述第一模態與所述第二模態之間切換，以改變所述焦點于聚焦平面上的位置。
6.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述激光脈沖光束的截面能量為非均勻分布，且所述激光脈沖光束的截面積大于所述光圈的截面積，所述振鏡模塊于所述第一模態下使所述第一光束通過所述光圈的部分的能量密度不同于所述第二模態下使所述第二光束通過所述光圈的部分的能量密度，且所述振鏡模塊用以在所述第一模態與所述第二模態之間切換，以改變所述激光脈沖光束通過所述聚焦模塊的能量。
7.根據權利要求6所述的激光加工裝置，其特征在于，所述聚焦模塊還具有位于靠近所述振鏡模塊一側的前焦點，其中所述前焦點與所述焦點為兩共軛焦點，且所述光圈設置于所述前焦點。
8.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，還包括光吸收體，設置于所述第一光束的光路徑上。
9.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述屏蔽為光吸收體，用以吸收所述第一光束或部分的所述第二光束。
10.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述屏蔽為曲面反射鏡，所述曲面反射鏡改變所述第一光束或部分的所述第二光束的反射角度，且所述激光加工裝置還包括光吸收體，設置于所述曲面反射鏡所反射的光的路徑上。
11.一種激光加工裝置，其特征在于，包括：
12.根據權利要求11所述的激光加工裝置，其特征在于，所述激光單元所發射的所述激光脈沖光束包括多個具有第一頻率的激光脈沖光束，且所述振鏡模塊以第二頻率于所述第一模態與所述第二模態間切換。
13.根據權利要求12所述的激光加工裝置，其特征在于，所述第二頻率小于所述第一頻率，且所述第二模態與所述多個具有所述第一頻率的激光脈沖光束的至少一個的時序重疊。
14.根據權利要求11所述的激光加工裝置，其特征在于，還包括光吸收體，設置于所述第一光束的光路徑上。
15.根據權利要求11所述的激光加工裝置，其特征在于，所述振鏡模塊于所述第一模態下使所述第一光束入射所述聚焦模塊的角度不同于所述第二模態下使所述第二光束入射所述聚焦模塊的角度，且所述振鏡模塊用以在所述第一模態與所述第二模態之間切換，以改變所述焦點于聚焦平面上的位置。
16.根據權利要求11所述的激光加工裝置，其特征在于，所述聚焦模塊還具有位于靠近所述振鏡模塊一側的前焦點，其中所述前焦點與所述焦點為兩共軛焦點，且所述前焦點重合于所述激光脈沖光束與所述振鏡模塊的交會點。
...【技術特征摘要】
1.一種激光加工裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述激光單元所發射的所述激光脈沖光束包括第一激光脈沖光束與第二激光脈沖光束，其中所述第一激光脈沖光束的能量小于所述第二激光脈沖光束的能量，且所述第一激光脈沖光束由所述振鏡模塊以所述第一模態反射，所述第二激光脈沖光束由所述振鏡模塊以所述第二模態反射。
3.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述激光單元所發射的所述激光脈沖光束包括多個具有第一頻率的激光脈沖光束，且所述振鏡模塊以第二頻率于所述第一模態與所述第二模態間切換。
4.根據權利要求3所述的激光加工裝置，其特征在于，所述第二頻率小于所述第一頻率，且所述第二模態與所述多個具有所述第一頻率的激光脈沖光束的至少一個的時序重疊。
5.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述振鏡模塊于所述第一模態下使所述第一光束入射所述聚焦模塊的角度不同于所述第二模態下使所述第二光束入射所述聚焦模塊的角度，且所述振鏡模塊用以在所述第一模態與所述第二模態之間切換，以改變所述焦點于聚焦平面上的位置。
6.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述激光脈沖光束的截面能量為非均勻分布，且所述激光脈沖光束的截面積大于所述光圈的截面積，所述振鏡模塊于所述第一模態下使所述第一光束通過所述光圈的部分的能量密度不同于所述第二模態下使所述第二光束通過所述光圈的部分的能量密度，且所述振鏡模塊用以在所述第一模態與所述第二模態之間切換，以改變所述激光脈沖光束通過所述聚焦模塊的能量。
7.根據權利要求6所述的激光加工裝置，其特征在于，所述聚焦模塊還具有位于靠近所述振鏡模塊一側的前焦點，其中所述前焦點與所述焦點為兩共軛焦...
【專利技術屬性】
技術研發人員：陳彥穆，童智堅，
申請(專利權)人：錼創顯示科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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