【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本申請涉及傳感器，尤其是涉及一種恒溫電容式壓力傳感裝置。
技術(shù)介紹
1、電容式壓力傳感器是一種利用電容敏感元件將被測壓力轉(zhuǎn)換成與之成一定關(guān)系的電量輸出的壓力傳感器。其工作原理基于電容效應(yīng)，即當(dāng)被測物體受壓時產(chǎn)生微小形變，進而改變電容量的原理來進行壓力測量。
2、單電容式壓力傳感器一般由一個電極和一個彈性導(dǎo)電薄膜組成，當(dāng)彈性導(dǎo)電薄膜感受壓力而變形時，薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化，這種電容值的變化通過測量電路被轉(zhuǎn)換成與電壓成一定關(guān)系的電信號輸出，從而實現(xiàn)對壓力的測量。但電容信號是一種極其敏感的信號，在使用電容式壓力傳感器進行檢測的過程中，易受周圍環(huán)境溫度的影響，導(dǎo)致出現(xiàn)檢測精度不佳、零點不穩(wěn)定、檢測結(jié)果隨溫度變化等現(xiàn)象。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、有鑒于此，本申請?zhí)峁┝艘环N恒溫電容式壓力傳感裝置，主要目的在于解決在使用電容式壓力傳感器進行檢測的過程中，易受周圍環(huán)境溫度的影響，導(dǎo)致出現(xiàn)檢測精度不佳、零點不穩(wěn)定、檢測結(jié)果隨溫度變化等現(xiàn)象的技術(shù)問題。
2、本申請?zhí)峁┝艘环N恒溫電容式壓力傳感裝置，包括：
3、傳感組件，所述傳感組件包括外殼、第一電極和第二電極，所述第一電極和第二電極設(shè)置在所述外殼內(nèi)；
4、第一加熱膜，所述第一加熱膜設(shè)置在所述外殼的內(nèi)壁上；
5、第二加熱膜，所述第二加熱膜設(shè)置在所述第二電極的表面；
6、控制組件，所述控制組件與所述第一加熱膜和所述第二加熱膜連接，所述控制組件用于測量所述外殼內(nèi)的溫度，并根據(jù)預(yù)
7、在一種可行的實施方式中，所述第一加熱膜包括：
8、第一基膜，所述第一基膜為柔性基膜，所述第一基膜的面積小于或等于所述外殼內(nèi)壁的面積；
9、第一加熱組件，所述第一加熱組件沿所述外殼內(nèi)壁的周向彎曲設(shè)置在所述第一基膜上；
10、所述第一加熱組件包括多個加熱絲組。
11、在一種可行的實施方式中，所述第二加熱膜包括：
12、第二基膜，所述第二基膜為柔性基膜，呈環(huán)狀設(shè)置在所述第二電極的表面邊緣處；
13、第二加熱組件，所述第二加熱組件設(shè)置在所述第二基膜上，所述第二加熱組件呈環(huán)狀與所述第二基膜同心設(shè)置；
14、所述第二加熱組件包括多個加熱絲組。
15、在一種可行的實施方式中，所述控制組件包括：
16、測溫電路模塊，所述測溫電路模塊設(shè)置在所述外殼的內(nèi)壁上，所述測溫電路模塊用于根據(jù)溫度變化輸出對應(yīng)變化的電壓。
17、在一種可行的實施方式中，所述測溫電路模塊包括：
18、熱敏電阻，所述熱敏電阻用于測量所述外殼內(nèi)的溫度；
19、檢測電路，所述檢測電路與所述熱敏電阻連接，所述檢測電路包括分壓電路和放大器電路，所述檢測電路用于檢測所述熱敏電阻分得的電壓并放大。
20、在一種可行的實施方式中，所述控制組件還包括：
21、加熱功率模塊，所述加熱功率模塊與所述第一加熱膜和所述第二加熱膜連接，所述加熱功率模塊包括分壓電路、電壓比較電路、整形電路和晶體管，所述加熱功率模塊用于根據(jù)所述預(yù)設(shè)溫度和所述測溫電路模塊輸出的電壓控制所述第一加熱膜和所述第二加熱膜的電壓。
22、在一種可行的實施方式中，所述傳感組件還包括：
23、第一導(dǎo)電孔，所述第一導(dǎo)電孔開設(shè)在所述第一電極上；
24、第二導(dǎo)電孔，所述第二導(dǎo)電孔開設(shè)在所述第二電極上；
25、導(dǎo)電件，所述導(dǎo)電件一端通過第一導(dǎo)電孔連接在所述第一電極上，所述導(dǎo)電件另一端通過第二導(dǎo)電孔連接在所述第二電極上。
26、在一種可行的實施方式中，所述第二電極包括：
27、第一夾持件，所述第一夾持件為絕緣環(huán)狀件；
28、第二夾持件，所述第二夾持件為絕緣環(huán)狀件，所述第二夾持件與所述第一夾持件連接；
29、導(dǎo)電薄膜，所述導(dǎo)電薄膜設(shè)置在所述第一夾持件與所述第二夾持件的連接處，所述導(dǎo)電薄膜夾持在所述第一夾持件與所述第二夾持件之間。
30、在一種可行的實施方式中，所述第一電極包括：
31、基座；
32、導(dǎo)電涂層，所述導(dǎo)電涂層設(shè)置在所述基座朝向所述第二電極的一側(cè)，所述導(dǎo)電涂層的面積小于所述第一電極的投影面積；
33、電容轉(zhuǎn)化模塊，所述電容轉(zhuǎn)化模塊設(shè)置在所述基座背向所述第二電極的一側(cè)，所述電容轉(zhuǎn)化模塊用于將電容信號轉(zhuǎn)化為電壓信號；
34、導(dǎo)電棒，所述導(dǎo)電棒設(shè)置在所述基座內(nèi)部，所述導(dǎo)電棒連通所述導(dǎo)電涂層和所述電容轉(zhuǎn)化模塊。
35、在一種可行的實施方式中，所述第一電極還包括：
36、散熱孔，所述散熱孔的數(shù)量為多個，開設(shè)在所述第一電極的邊緣處，所述散熱孔環(huán)繞所述導(dǎo)電涂層設(shè)置。
37、本申請?zhí)峁┝艘环N恒溫電容式壓力傳感裝置，包括：傳感組件，所述傳感組件包括外殼、第一電極和第二電極，所述第一電極和第二電極設(shè)置在所述外殼內(nèi)；第一加熱膜，所述第一加熱膜設(shè)置在所述外殼的內(nèi)壁上；第二加熱膜，所述第二加熱膜設(shè)置在所述第二電極的表面；控制組件，所述控制組件與所述第一加熱膜和所述第二加熱膜連接，所述控制組件用于測量所述外殼內(nèi)的溫度，并根據(jù)預(yù)設(shè)溫度控制所述第一加熱膜和所述第二加熱膜的電壓。本申請通過在外殼內(nèi)壁和第二電極表面分別設(shè)置第一加熱膜和第二加熱膜，并結(jié)合控制組件對外殼內(nèi)部溫度進行精確調(diào)控，有效減少了環(huán)境溫度波動對電容式壓力傳感器檢測精度的影響。控制組件能夠?qū)崟r監(jiān)測外殼內(nèi)的溫度，并根據(jù)預(yù)設(shè)溫度自動調(diào)節(jié)加熱膜的電壓，實現(xiàn)對傳感器工作環(huán)境的主動控制。這種設(shè)計確保了傳感器在恒定溫度條件下工作，從而大大提高了壓力測量的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。恒溫環(huán)境有助于減少因溫度變化引起的電容值漂移，進而維持傳感器零點的穩(wěn)定性。這對于需要長期穩(wěn)定運行和高精度測量的應(yīng)用場景尤為重要，確保了測量結(jié)果的可靠性和一致性。
38、本申請的其它特征和優(yōu)點將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本申請而了解。本申請的目的和其他優(yōu)點可通過在所寫的說明書、權(quán)利要求書、以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)和獲得。
39、下面通過附圖和實施例，對本申請的技術(shù)方案做進一步的詳細描述。
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1.一種恒溫電容式壓力傳感裝置，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一加熱膜包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第二加熱膜包括：
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述控制組件包括：
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述測溫電路模塊包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述控制組件還包括：
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述傳感組件還包括：
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第二電極包括：
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一電極包括：
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述第一電極還包括：
【技術(shù)特征摘要】
1.一種恒溫電容式壓力傳感裝置，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一加熱膜包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第二加熱膜包括：
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述控制組件包括：
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述測溫電路模塊包括：
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：鄭旭，張心強，孫小孟，蘇濤，徐亞輝，林琳，郜晨希，劉瑞琪，張沙，李超波，
申請(專利權(quán))人：中國科學(xué)院微電子研究所，
類型：發(fā)明
國別省市：
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