【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及廢氣處理，尤其涉及一種廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔。
技術介紹
1、隨著泛半導體行業的日益繁榮，產能激增，在生產過程中會產生各種廢氣（nf3、ph3、b2h6、sih4等），這些氣體大多對人體和環境危害嚴重。排放出的廢氣多數比空氣重，如果排放進大氣，經過蔓延后會沉積在地面上，并達到很高的濃度，造成嚴重的環境污染，危害人體健康。如若遇到火種，將造成火災，甚至產生爆炸。因此廢氣處理設備市場需求量非常大，不過由于半導體廠商內部設施及環境的不一樣，廢氣處理設備也對各類實用的專用裝置有較大需求。目前，廢氣處理設備包括進氣腔，在廢氣進入進氣腔的過程中，粉塵堵塞進氣腔（硅烷與氧氣反應產生大量二氧化硅）導致設備停止運行。
技術實現思路
1、本專利技術提供一種廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，用以解決現有技術存在粉塵堵塞進氣腔，導致設備停止運行的問題。
2、本專利技術提供一種廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，包括：
3、進氣腔裝置，所述進氣腔裝置的內部具有進氣腔，所述進氣腔裝置的底部設置有出氣端口，所述出氣端口設置有徑向向內延伸的限位環，所述進氣腔裝置的側壁設置有多個進氣端口；
4、腔內刮刀裝置，包括驅動部件、支撐架、多個刮刀和多個下滾輪，所述支撐架可轉動地設置于所述進氣腔內，所述驅動部件與所述支撐架連接，所述驅動部件用于驅動所述支撐架轉動；多個所述刮刀間隔設置于所述支撐架的外周，所述刮刀用于在所述支撐架轉動時刮除所述進氣腔側壁上的粉塵；多個所述
5、多個進氣裝置，多個所述進氣裝置與多個所述進氣端口一一對應連通，所述進氣裝置用于向所述進氣腔裝置的內部輸入空氣。
6、根據本專利技術提供的一種廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，所述刮刀與所述進氣腔的側壁平行，相鄰兩個所述刮刀之間的距離相等。
7、根據本專利技術提供的一種廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，所述腔內刮刀裝置還包括：
8、多個刮底模塊，多個所述刮底模塊沿周向間隔設置于所述支撐架的底部，多個所述下滾輪分別通過下滾輪軸一一對應地安裝于多個所述刮底模塊，所述刮底模塊用于將落在所述限位環上的粉塵推向所述出氣端口。
9、根據本專利技術提供的一種廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，所述腔內刮刀裝置還包括：
10、多個上滾輪，多個所述上滾輪沿周向間隔設置于所述支撐架的上部，所述上滾輪水平設置，所述上滾輪通過上滾輪軸安裝于所述支撐架，所述上滾輪與所述進氣腔的側壁滾動配合。
11、根據本專利技術提供的一種廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，所述驅動部件包括：
12、驅動組件，所述驅動組件設置于所述進氣腔裝置的頂部；
13、驅動軸，所述驅動軸的一端與所述驅動組件連接；
14、齒盤，所述齒盤設置于所述支撐架的上部；
15、驅動棒，所述驅動棒設置于所述進氣腔的內部，所述驅動棒與所述驅動軸的另一端連接，所述驅動棒底部的邊緣間隔設置有多個定位塊，所述定位塊用于與所述齒盤的凸齒嚙合。
16、根據本專利技術提供的一種廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，所述驅動部件還包括：
17、連接桿，所述連接桿的一端與所述驅動棒連接，所述連接桿的另一端穿過所述進氣腔裝置的頂部之后通過聯軸器與所述驅動軸的另一端連接；
18、油封，套設于所述連接桿的外周，且位于所述連接桿的外周面與所述進氣腔裝置的頂壁之間；
19、密封圈，套設于所述連接桿的外周，且位于所述連接桿的外周面與所述進氣腔裝置的頂壁之間。
20、根據本專利技術提供的一種廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，所述進氣腔裝置包括：
21、進氣腔殼體，所述進氣腔形成于所述進氣腔殼體的內部，所述進氣腔殼體的側壁設置有多個所述進氣端口，多個所述進氣端口沿周向間隔布置，相鄰兩個所述進氣端口沿上下方向錯位布置，所述進氣腔殼體側壁的內部和所述進氣腔殼體頂壁的內部設置有夾層腔，所述進氣腔殼體的外側壁下部設置有與所述夾層腔連通的第一接口，所述進氣腔殼體的頂壁外側設置有與所述夾層腔連通的第二接口，所述限位環位于所述進氣腔殼體的底部。
22、根據本專利技術提供的一種廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，所述進氣腔殼體的頂部設置有與所述進氣腔連通的熱源安裝口，所述熱源安裝口用于安裝離子火炬或天然氣燒嘴。
23、根據本專利技術提供的一種廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，還包括：
24、溢流法蘭，包括法蘭主體與法蘭蓋，所述法蘭主體與所述法蘭蓋均設置于所述限位環的底部，所述法蘭主體位于所述法蘭蓋的外周，所述法蘭主體的內側設置有徑向向內延伸的第一凸環，所述第一凸環位于所述法蘭蓋的下方，所述第一凸環的上表面形成有導流槽，所述法蘭主體的外側設置有與所述導流槽連通的進液口；所述法蘭蓋下表面遠離所述法蘭主體的一側形成有第二凸環，所述第二凸環位于所述第一凸環遠離所述法蘭主體一側，所述第二凸環與所述第一凸環遠離所述法蘭主體的一側配合圍成與所述導流槽連通的環形流道，所述環形流道的出液口向下。
25、根據本專利技術提供的一種廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，所述第二凸環朝向所述第一凸環的一側為弧面。
26、本專利技術提供的廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，通過驅動部件驅動支撐架轉動，刮刀在支撐架轉動時刮除進氣腔側壁上的粉塵，防止進氣腔內部粉塵堵塞進氣腔，避免廢氣處理設備因為進氣腔堵塞而停止工作。
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1.一種廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，其特征在于，所述刮刀與所述進氣腔的側壁平行，相鄰兩個所述刮刀之間的距離相等。
3.根據權利要求1所述的廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，其特征在于，所述腔內刮刀裝置還包括：
4.根據權利要求1所述的廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，其特征在于，所述腔內刮刀裝置還包括：
5.根據權利要求1至4任一項所述的廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，其特征在于，所述驅動部件包括：
6.根據權利要求5所述的廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，其特征在于，所述驅動部件還包括：
7.根據權利要求1至4任一項所述的廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，其特征在于，所述進氣腔裝置包括：
8.根據權利要求7所述的廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，其特征在于，所述進氣腔殼體的頂部設置有與所述進氣腔連通的熱源安裝口，所述熱源安裝口用于安裝離子火炬或天然氣燒嘴。
9.根據權利要求7所述的廢氣處理設備用多入
10.根據權利要求9所述的廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，其特征在于，所述第二凸環朝向所述第一凸環的一側為弧面。
...【技術特征摘要】
1.一種廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，其特征在于，所述刮刀與所述進氣腔的側壁平行，相鄰兩個所述刮刀之間的距離相等。
3.根據權利要求1所述的廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，其特征在于，所述腔內刮刀裝置還包括：
4.根據權利要求1所述的廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，其特征在于，所述腔內刮刀裝置還包括：
5.根據權利要求1至4任一項所述的廢氣處理設備用多入口帶刮刀進氣腔，其特征在于，所述驅動部件包括：
6.根據權利要求5所述的廢氣處...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張坤，王繼飛，章文軍，閆瀟，許信，
申請(專利權)人：北京京儀自動化裝備技術股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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