【技術實現步驟摘要】
本申請涉及顯示，具體涉及一種陣列基板、掩膜板、凹槽的刻蝕方法和顯示面板。
技術介紹
1、近年來，有機發光顯示面板逐漸成為顯示領域的主流產品，因其具有高畫質、省電、機身薄及應用范圍廣等優點，而被廣泛應用于手機、電視、筆記本電腦、臺式電腦等各種消費性電子產品。
2、然而，目前顯示面板中彎折區的金屬走線存在易斷裂、易短路的問題。
技術實現思路
1、為了解決上述技術問題，提出了本申請。本申請實施例提供了一種陣列基板、掩膜板、凹槽的刻蝕方法和顯示面板，降低了彎折區的金屬走線出現斷裂、短路的風險。
2、第一方面，本申請一實施例提供了一種陣列基板，具有相鄰設置的電路區和彎折區；陣列基板包括襯底和多個無機層，多個無機層順序疊置在基板一側；其中，多個無機層包括凹槽，凹槽位于彎折區；在垂直于基板的方向上，凹槽貫穿多個無機層；凹槽包括相對設置的第一側壁和第二側壁，第一側壁位于第二側壁靠近電路區一側；第一側壁和第二側壁中的至少一者具有多級臺階結構。
3、結合第一方面，在第一方面的某些實現方式中，第一側壁和第二側壁上的臺階結構的數量相等。
4、優選的，凹槽在由電路區指向彎折區的方向上的截面關于垂直于基板的虛擬軸線對稱。
5、結合第一方面，在第一方面的某些實現方式中，多級臺階結構包括第一臺面和第一連接部，凹槽的底壁、第一連接部和第一臺面依次連接；多個無機層包括阻擋層，第一臺面位于阻擋層內，或第一臺面位于阻擋層背離襯底的表面。
6、優選的，
7、優選的，凹槽貫穿襯底的部分，凹槽的底壁位于襯底內。
8、結合第一方面，在第一方面的某些實現方式中，多級臺階結構還包括第二臺面和第二連接部，凹槽的開口邊緣、第二連接部和第二臺面依次連接；多個無機層包括緩沖層，緩沖層位于阻擋層背離襯底一側，第二臺面位于緩沖層背離襯底的表面，或第二臺面位于緩沖層內。
9、優選的，陣列基板還包括有源層，有源層疊置在緩沖層背離襯底一側，有源層和緩沖層接觸。
10、優選的，多級臺階結構還包括第三連接部，第一臺面、第三連接部和第二臺面依次連接。
11、結合第一方面，在第一方面的某些實現方式中，多級臺階結構還包括第二臺面和第二連接部，凹槽的開口邊緣、第二連接部和第二臺面依次連接；多個無機層還包括層間介質層，層間介質層位于阻擋層背離襯底一側，第二臺面位于層間介質層內，或第二臺面位于層間介質層背離襯底的表面。
12、優選的，多個無機層還包括柵極絕緣層和電容絕緣層，柵極絕緣層和電容絕緣層位于層間介質層靠近襯底一側，電容絕緣層位于柵極絕緣層和層間介質層之間，層間介質層和電容絕緣層接觸。
13、優選的，多級臺階結構還包括第三臺面、第三連接部和第四連接部，第一臺面、第三連接部、第三臺面、第四連接部、第二臺面依次連接。
14、優選的，多個無機層還包括緩沖層，緩沖層位于阻擋層和柵極絕緣層之間；第三臺面位于緩沖層背離襯底的表面，或第三臺面位于緩沖層內。
15、結合第一方面，在第一方面的某些實現方式中，多級臺階結構包括第二臺面和第二連接部，凹槽的開口邊緣、第二連接部和第二臺面依次連接；多個無機層包括電容絕緣層，第二臺面位于電容絕緣層內，或第二臺面位于電容絕緣層背離襯底的表面。
16、優選的，多級臺階結構還包括第一臺面和第一連接部，凹槽的底壁、第一連接部和第一臺面依次連接；多個無機層還包括阻擋層，阻擋層位于襯底和電容絕緣層之間，第一臺面位于阻擋層背離襯底的表面，或第一臺面位于阻擋層內。
17、優選的，多級臺階結構還包括第五連接部，第一臺面、第五連接部和第二臺面依次連接。
18、結合第一方面，在第一方面的某些實現方式中，還包括導線，導線由電路區延伸至彎折區，在彎折區，導線位于凹槽內；優選的，陣列基板還包括保護層，位于凹槽內，并位于導線背離襯底一側；優選的，陣列基板還包括平坦化層，位于電路區，并位于無機層背離襯底一側，平坦化層和保護層同層且同材料。
19、第二方面，本申請一實施例提供了一種掩膜板，掩膜板包括依次相鄰排布的第一不透區、第一半透區、全透區、第二半透區和第二不透區。
20、第三方面，本申請一實施例提供了一種凹槽的刻蝕方法，刻蝕方法包括：提供預置基板，預置基板包括襯底，以及疊置在襯底上的多個無機層和多個導電層，相鄰導電層之間設置有至少一個無機層；多個導電層包括像素電路，多個無機層包括多個過孔和初始凹槽，過孔和初始凹槽貫穿部分無機層，過孔暴露像素電路，初始凹槽位于像素電路一側；采用本申請第二方面提供的掩膜板對初始凹槽內的剩余無機層進行圖形化處理，得到凹槽；其中，第一半透區、全透區和第二半透區在襯底上的正投影均位于初始凹槽的槽底在襯底上的正投影范圍內。
21、第四方面，本申請一實施例提供了一種顯示面板，顯示面板包括上述任一實施例提供的陣列基板。
22、本申請實施例提供的陣列基板具有相鄰設置的電路區和彎折區；陣列基板包括襯底和多個無機層，多個無機層順序疊置在基板一側；其中，多個無機層具有凹槽，至少部分凹槽位于彎折區；在垂直于基板的方向上，凹槽貫穿多個無機層；凹槽包括相對設置的第一側壁和第二側壁，第一側壁位于第二側壁靠近電路區一側；第一側壁和第二側壁中的至少一者具有多級臺階結構。
23、由于凹槽貫穿多個無機層，從而凹槽處不存在無機層，從而當陣列基板在凹槽處彎折時，避免了原來凹槽處的無機層斷裂的問題，從而避免了位于凹槽處的金屬走線隨無機層斷裂而斷裂的問題；并且，由于第一側壁和第二側壁中的至少一者具有多級臺階結構，從而將多個無機層的較大的高度差劃分為了多個較小的高度差，多個較小的高度差和多級臺階結構一一對應，從而使得后續制備得到的金屬走線在每一級臺階結構處均具有較小的高度差，進而降低了每一級臺階結構處的金屬走線存在蝕刻殘留物的風險，從而降低了相鄰金屬走線出現短路的風險。
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1.一種陣列基板，其特征在于，具有相鄰設置的電路區和彎折區；所述陣列基板包括：
2.根據權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述第一側壁和所述第二側壁上的所述臺階結構的數量相等；
3.根據權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述多級臺階結構包括第一臺面和第一連接部，所述凹槽的底壁、所述第一連接部和所述第一臺面依次連接；多個所述無機層包括阻擋層，所述第一臺面位于所述阻擋層內，或所述第一臺面位于所述阻擋層背離所述襯底的表面；
4.根據權利要求3所述的陣列基板，其特征在于，所述多級臺階結構還包括第二臺面和第二連接部，所述凹槽的開口邊緣、所述第二連接部和所述第二臺面依次連接；多個所述無機層包括緩沖層，所述緩沖層位于所述阻擋層背離所述襯底一側，所述第二臺面位于所述緩沖層背離所述襯底的表面，或所述第二臺面位于所述緩沖層內；
5.根據權利要求3所述的陣列基板，其特征在于，所述多級臺階結構還包括第二臺面和第二連接部，所述凹槽的開口邊緣、所述第二連接部和所述第二臺面依次連接；多個所述無機層還包括層間介質層，所述層間介質層位于所述阻擋層背離所述襯底
6.根據權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述多級臺階結構包括第二臺面和第二連接部，所述凹槽的開口邊緣、所述第二連接部和所述第二臺面依次連接；多個所述無機層包括電容絕緣層，所述第二臺面位于所述電容絕緣層內，或所述第二臺面位于所述電容絕緣層背離所述襯底的表面；
7.根據權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，還包括導線，所述導線由所述電路區延伸至所述彎折區，在所述彎折區，所述導線位于所述凹槽內；
8.一種掩膜板，其特征在于，包括依次相鄰排布的第一不透區、第一半透區、全透區、第二半透區和第二不透區。
9.一種凹槽的刻蝕方法，其特征在于，包括：
10.一種顯示面板，其特征在于，包括權利要求1至7中任一項所述的陣列基板。
...【技術特征摘要】
1.一種陣列基板，其特征在于，具有相鄰設置的電路區和彎折區；所述陣列基板包括：
2.根據權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述第一側壁和所述第二側壁上的所述臺階結構的數量相等；
3.根據權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述多級臺階結構包括第一臺面和第一連接部，所述凹槽的底壁、所述第一連接部和所述第一臺面依次連接；多個所述無機層包括阻擋層，所述第一臺面位于所述阻擋層內，或所述第一臺面位于所述阻擋層背離所述襯底的表面；
4.根據權利要求3所述的陣列基板，其特征在于，所述多級臺階結構還包括第二臺面和第二連接部，所述凹槽的開口邊緣、所述第二連接部和所述第二臺面依次連接；多個所述無機層包括緩沖層，所述緩沖層位于所述阻擋層背離所述襯底一側，所述第二臺面位于所述緩沖層背離所述襯底的表面，或所述第二臺面位于所述緩沖層內；
5.根據權利要求3所述的陣列基板，其特征在于，所述多級臺階結構還包括第二臺面和第二連接部，所述凹槽的開口邊緣、所...
【專利技術屬性】
技術研發人員：金玉，王歡，徐磊，張麗，徐文杰，
申請(專利權)人：江蘇匯顯顯示技術有限公司，
類型：發明
國別省市：
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