【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及檢測，具體涉及氣體傳輸系統組件中的顆粒物的分析方法。
技術介紹
1、在半導體制造中，由于高潔凈度要求，一些氣體傳輸系統組件(如隔膜閥、調壓閥、質量流量控制器、流量計和過濾器等)也被要求具有極高的潔凈程度。顆粒作為在半導體制造中最為常見的污染物，也會存在于氣體傳輸系統組件中，通常情況下可以通過顆粒計數器對顆粒物的尺寸和數量進行監測，但無法對顆粒物的元素組成進行確認，不利于排查顆粒物的污染來源。而對氣體傳輸系統組件進行拆解或破壞又容易引入額外的污染。所以難以在非破壞情況下同時獲得氣體傳輸系統組件內部的顆粒物尺寸、數量和元素組成。
技術實現思路
1、針對現有技術存在的問題，本專利技術提供一種氣體傳輸系統組件中顆粒物的分析方法，已解決上述至少一個技術問題。
2、本專利技術的技術方案是：一種氣體傳輸系統組件中顆粒物的分析方法，其特征在于，包括如下步驟：
3、步驟一，顆粒物捕集；
4、將潔凈的壓縮空氣接至氣體傳輸系統組件的進氣端，在氣體傳輸系統組件的出氣端放置一片碳膠帶，碳膠帶一面粘接在金屬基座上；出氣端的氣孔對準碳膠帶中央，碳膠帶距離出氣端5-20mm；保持氣體傳輸系統組件為常開狀態，控制壓縮空氣的傳輸氣壓在1-20bar，對氣體傳輸系統組件的顆粒物進行吹掃捕集，時間為10-30min；
5、步驟二，sem-eds分析；
6、將將捕集好的帶有金屬基座的碳膠帶立即轉移至掃描電鏡樣品倉內，抽真空；
7、抽真空后
8、進一步優選地，步驟一中，氣體傳輸系統組件是隔膜閥、調壓閥、質量流量控制器、流量計或者過濾器。
9、進一步優選地，步驟一中，碳膠帶與氣體流出的端口距離為5-20mm。
10、進一步優選地，步驟一中，壓縮空氣的傳輸氣壓在1-20bar。
11、進一步優選地，步驟一中，對氣體傳輸系統組件的顆粒物吹掃捕集的時間為10-30min。
12、進一步優選地，步驟二中，抽真空后，打開掃描電鏡電子束，設置加速電壓為20kv，束斑尺寸為4.0-6.0，工作距離為10.5mm，bse模式下，以碳膠帶和鋁箔作為本底，調整亮度對比度，使碳膠帶和鋁箔的bse圖像灰度分別為1000和23000，設定顆粒物檢測的ecd為0.5μm，設定bse圖像中顆粒物自動識別的灰度閾值范圍為8000-32767，采用牛津能譜儀aztecclean功能對碳膠帶表面顆粒物進行掃描和分析。
13、一種氣體傳輸系統組件中顆粒物的分析方法，其特征在于，包括如下步驟：
14、步驟一，顆粒物捕集；
15、將潔凈的壓縮空氣接至氣體傳輸系統組件的出氣端，在氣體傳輸系統組件的進氣端放置一片碳膠帶，碳膠帶一面粘接在金屬基座上；進氣端的氣孔對準碳膠帶中央，碳膠帶距離出氣端5-20mm；保持氣體傳輸系統組件為常開狀態，控制壓縮空氣的傳輸氣壓在1-20bar，對氣體傳輸系統組件的顆粒物進行吹掃捕集，時間為10-30min；
16、步驟二，sem-eds分析；
17、將將捕集好的帶有金屬基座的碳膠帶立即轉移至掃描電鏡樣品倉內，抽真空；
18、抽真空后進行sem掃描電鏡能譜分析，對碳膠帶表面顆粒物進行掃描和分析。
19、進一步優選地，步驟一中，氣體傳輸系統組件是過濾器。
20、進一步優選地，步驟二中，抽真空后，打開掃描電鏡電子束，設置加速電壓為20kv，束斑尺寸為4.0-6.0，工作距離為10.5mm，bse模式下，以碳膠帶和鋁箔作為本底，調整亮度對比度，使碳膠帶和鋁箔的bse圖像灰度分別為1000和23000，設定顆粒物檢測的ecd為0.5μm，設定bse圖像中顆粒物自動識別的灰度閾值范圍為8000-32767，采用牛津能譜儀aztecclean功能對碳膠帶表面顆粒物進行掃描和分析。
21、相比于現有技術，本專利技術的有益效果為：
22、本專利技術提供了一種氣體傳輸系統組件中顆粒物的分析方法，主要包括捕集顆粒物、掃描電鏡分析等步驟。采用sem-eds進行統計分析和檢測，牛津能譜儀的aztecclean功能可以人為根據元素設定顆粒物的類別并顯示出來，并可以得到所設置的最小檢測粒徑以上的顆粒尺寸分布，以及元素信息。
23、1、可以有效的統計氣體傳輸系統組件中顆粒物的數量、尺寸和元素組成。
24、2、一次制備成功率高，具有一定的可重復性。
25、3、方法操作簡單，效率高，自動化測試顆粒物，勞動強度低。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種氣體傳輸系統組件中顆粒物的分析方法，其特征在于，包括如下步驟：
2.根據權利要求1所述的一種氣體傳輸系統組件中顆粒物的分析方法，其特征在于：步驟一中，氣體傳輸系統組件是隔膜閥、調壓閥、質量流量控制器、流量計或者過濾器。
3.根據權利要求1所述的一種氣體傳輸系統組件中顆粒物的分析方法，其特征在于：步驟二中，抽真空后，打開掃描電鏡電子束，設置加速電壓為20kv，束斑尺寸為4.0-6.0，工作距離為10.5mm，BSE模式下，以碳膠帶和鋁箔作為本底，調整亮度對比度，使碳膠帶和鋁箔的BSE圖像灰度分別為1000和23000，設定顆粒物檢測的ECD為0.5μm，設定BSE圖像中顆粒物自動識別的灰度閾值范圍為8000-32767，采用牛津能譜儀AZtecClean功能對碳膠帶表面顆粒物進行掃描和分析。
4.一種氣體傳輸系統組件中顆粒物的分析方法，其特征在于，包括如下步驟：
5.根據權利要求1所述的一種氣體傳輸系統組件中顆粒物的分析方法，其特征在于：步驟一中，氣體傳輸系統組件是過濾器。
6.根據權利要求1所述的一種氣體傳輸系統
...【技術特征摘要】
1.一種氣體傳輸系統組件中顆粒物的分析方法，其特征在于，包括如下步驟：
2.根據權利要求1所述的一種氣體傳輸系統組件中顆粒物的分析方法，其特征在于：步驟一中，氣體傳輸系統組件是隔膜閥、調壓閥、質量流量控制器、流量計或者過濾器。
3.根據權利要求1所述的一種氣體傳輸系統組件中顆粒物的分析方法，其特征在于：步驟二中，抽真空后，打開掃描電鏡電子束，設置加速電壓為20kv，束斑尺寸為4.0-6.0，工作距離為10.5mm，bse模式下，以碳膠帶和鋁箔作為本底，調整亮度對比度，使碳膠帶和鋁箔的bse圖像灰度分別為1000和23000，設定顆粒物檢測的ecd為0.5μm，設定bse圖像中顆粒物自動識別的灰度閾值范圍為8000-32767，采用牛津能譜儀aztecclean功能對碳膠帶表面顆粒物進...
【專利技術屬性】
技術研發人員：鄒冰杰，賀賢漢，
申請(專利權)人：上海富樂德智能科技發展有限公司，
類型：發明
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。