【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及靶材制備，具體涉及一種motini靶材及其制備方法與應(yīng)用。
技術(shù)介紹
1、當前，平面顯示面板尺寸及品質(zhì)的提升，對靶材的純度、致密度以及尺寸的提出了較高的要求。純mo靶材的性能良好，但是由于純mo靶材濺射出的薄膜耐腐蝕性和致密度還有待改善，現(xiàn)有技術(shù)中通常會在mo中加入ti、ni、nb、w、ta等金屬，從而改善靶材的耐蝕性、致密度等問題。然而平面顯示面板用靶材尺寸通常較大，采用傳統(tǒng)的壓延擴大靶材尺寸，成本較高，不適合大規(guī)模生產(chǎn)。因此制備一種大尺寸、純度與致密度高的motini靶材具有十分重要的意義。
2、cn?104532201a公開了一種鉬鈦合金濺射靶材板的制備方法，將mo粉和ti粉混合均勻后進行冷等靜壓，將預(yù)成形坯抽真空后在氦氣氣氛下燒結(jié)，得到燒結(jié)毛坯，最后經(jīng)過機加工至成品。該方法通過常規(guī)制得鉬鈦合金靶材，尺寸有限，難以滿足大尺寸mo合金靶材的生產(chǎn)。
3、cn?115637412a公開了一種鉬合金靶材及其制作工藝，所述鉬合金靶材配方各成分的質(zhì)量百分數(shù)為：mo?55～65％，ni?15～25％，ti?15～25％，re?0.1～5％，w?0.1～2％，nb?0.1～2％，mn?0.1～0.2％，co?0.1～0.2％，采用冷等靜壓壓制成胚，然后使用熱等靜壓燒結(jié)，然后機械加工、綁定。該專利技術(shù)提供的制作工藝可以使得鉬合金靶材的耐溫性能、耐氧化性能以及蝕刻性能得到改善，但對于靶材的純度、致密度等性能還有待提升。
4、cn?103740979a公開了一種高密度、大尺寸、高均勻性鉬鈦合金靶
5、因此，針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，需要提供一種大尺寸、高密度與高純度的motini靶材。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)的目的在于提供一種motini靶材及其制備方法與應(yīng)用，采用所述制備方法制備得到的motini靶材密度與純度較高，可以大尺寸批量生產(chǎn)，能夠滿足作為平面顯示面板的高性能要求。
2、為達到此專利技術(shù)目的，本專利技術(shù)采用以下技術(shù)方案：
3、第一方面，本專利技術(shù)提供了一種motini靶材的制備方法，所述制備方法包括如下步驟：
4、(1)將mo粉、ti粉以及ni粉依次進行預(yù)混處理與混粉處理，所得motini合金粉進行冷等靜壓處理，得到motini合金坯；
5、(2)將步驟(1)所得motini合金坯依次進行拼接、脫氣、第一熱等靜壓處理以及第二熱等靜壓處理，機加工后得到所述motini靶材。
6、本專利技術(shù)提供的motini靶材的制備方法，首先對原料粉末進行預(yù)混處理，使得制得的motini合金粉分散均勻，有利于成品品質(zhì)的提升；采用冷等靜壓與分段式熱等靜壓處理相結(jié)合的方式，使得制備得到的motini靶材具有較高的致密度與純度，可大尺寸批量化生產(chǎn)，能夠滿足作為平面顯示面板的高性能要求。
7、優(yōu)選地，步驟(1)所述mo粉的平均粒徑為5-8μm，例如可以是5μm、5.5μm、6μm、7μm或8μm，但不限于所列舉的數(shù)值，數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。
8、優(yōu)選地，步驟(1)所述ti粉的平均粒徑為10-300μm，例如可以是10μm、50μm、100μm、200μm或300μm，但不限于所列舉的數(shù)值，數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。
9、優(yōu)選地，步驟(1)所述ni粉的平均粒徑為5-10μm，例如可以是5μm、6μm、8μm、9μm或10μm，但不限于所列舉的數(shù)值，數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。
10、優(yōu)選地，步驟(1)所述預(yù)混處理與混粉處理均在氬氣氣氛中進行。
11、優(yōu)選地，步驟(1)所述預(yù)混處理與混粉處理均在三維混粉機中進行。
12、優(yōu)選地，步驟(1)所述預(yù)混處理的時間為3-6h，例如可以是3h、3.5h、4h、5h或6h，但不限于所列舉的數(shù)值，數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。
13、優(yōu)選地，步驟(1)所述混粉處理的時間為24-48h，例如可以是24h、30h、36h、42h或48h，但不限于所列舉的數(shù)值，數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。
14、優(yōu)選地，步驟(1)所述冷等靜壓處理的壓力為200-300mpa，例如可以是200mpa、220mpa、250mpa、280mpa或300mpa，但不限于所列舉的數(shù)值，數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。
15、優(yōu)選地，步驟(1)所述冷等靜壓處理的時間為10-20min，例如可以是10min、12min、15min、18min或20min，但不限于所列舉的數(shù)值，數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。
16、優(yōu)選地，步驟(2)所述拼接后的長度≥2m，例如可以是2m、3m、4m、5m或6m，但不限于所列舉的數(shù)值，數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。
17、優(yōu)選地，步驟(2)所述拼接之后、脫氣之前還包括將所述motini合金坯放入不銹鋼包套的步驟。
18、優(yōu)選地，步驟(2)所述脫氣的溫度為500-600℃，例如可以是500℃、520℃、550℃、580℃或600℃，但不限于所列舉的數(shù)值，數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。
19、優(yōu)選地，步驟(2)所述脫氣的時間為24-36h，例如可以是24h、28h、32h或36h，但不限于所列舉的數(shù)值，數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。
20、優(yōu)選地，步驟(2)所述脫氣中使不銹鋼包套的真空度為1×10-3pa至1×10-2pa，例如可以是1×10-3pa、2×10-3pa、5×10-3pa、8×10-3pa或1×10-2pa，但不限于所列舉的數(shù)值，數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。
21、優(yōu)選地，步驟(2)所述第一熱等靜壓處理的溫度為850-1000℃，例如可以是850℃、900℃、950℃、980℃或1000℃，但不限于所列舉的數(shù)值，數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。
22、優(yōu)選地，步驟(2)所述第一熱等靜壓處理的壓力為120-180mpa，例如可以是120mpa、130mpa、150mpa、160mpa或180mpa，但不限于所列舉的數(shù)值，數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。
23、優(yōu)選地，步驟(2)所述第一熱等靜壓處理的時間為1-3h，例如可以是1h本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護點】
1.一種MoTiNi靶材的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括如下步驟：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟(1)所述Mo粉的平均粒徑為5-8μm；
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，步驟(1)所述預(yù)混處理與混粉處理均在氬氣氣氛中進行；
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的制備方法，其特征在于，步驟(1)所述冷等靜壓處理的壓力為200-300MPa；
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的制備方法，其特征在于，步驟(2)所述拼接后的長度≥2m；
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的制備方法，其特征在于，步驟(2)所述第一熱等靜壓處理的溫度為850-1000℃；
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的制備方法，其特征在于，步驟(2)所述第二熱等靜壓處理的溫度為900-1050℃；
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項所述的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括如下步驟：
9.一種MoTiNi靶材，其特征在于，所述MoTiNi靶材通過權(quán)利要求1-8任一項所述MoTiNi靶材的
10.一種如權(quán)利要求9所述MoTiNi靶材的應(yīng)用，其特征在于，所述MoTiNi靶材用于平面顯示面板領(lǐng)域。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種motini靶材的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括如下步驟：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟(1)所述mo粉的平均粒徑為5-8μm；
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，步驟(1)所述預(yù)混處理與混粉處理均在氬氣氣氛中進行；
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的制備方法，其特征在于，步驟(1)所述冷等靜壓處理的壓力為200-300mpa；
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的制備方法，其特征在于，步驟(2)所述拼接后的長度≥2m；
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：姚力軍，黃潔文，周友平，吳東青，
申請(專利權(quán))人：寧波江豐電子材料股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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