【技術實現步驟摘要】
本公開涉及半導體芯片封裝及測試，更具體地，涉及一種基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統。
技術介紹
1、在芯片封裝與測試領域中，探針針頭與芯片電極的接觸質量直接影響測試結果的準確性與芯片性能的穩定性，尤其是在微小芯片或多探針接觸的測試場景中，確保探針與電極的可靠接觸至關重要。傳統的接觸檢測方法主要依賴機械或光學檢測，但在實際應用中，這些方法存在以下缺陷：
2、（1）機械接觸不靈敏：機械檢測難以靈敏地反映微小接觸點的壓力變化，容易造成檢測偏差，無法及時判斷探針與芯片的穩定接觸情況。
3、（2）光學檢測局限：光學檢測方法對外部環境的光照、探針位置的微小偏移等因素非常敏感，影響檢測的精確度，并且光學設備成本高昂，不適用于大規模自動化測試。
4、（3）接觸壓力不均勻問題：在探針接觸芯片電極的過程中，接觸壓力不均勻會導致局部接觸不良或過壓損傷現象的出現，從而影響芯片的電氣性能與使用壽命。
5、在此背景下，基于壓力敏感的多通道薄膜傳感器的接觸檢測技術逐漸受到關注。多通道壓敏薄膜傳感器具有靈敏的壓力檢測能力和高分辨率的空間分布測量能力，能夠提供壓力分布信息和探針接觸點的位置數據。這種傳感器的獨特優勢在于其可以在探針接觸的同時，實時監測多個接觸點的壓力情況，從而提高檢測精度和可靠性。
技術實現思路
1、有鑒于此，本公開提供了一種基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，用以解決傳統依賴機械或光學接觸檢測方法中存在的靈敏度低、區域受限以及接觸壓
2、本公開的一個方面提供了一種基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，包括：載物臺，其中，載物臺配置有多個通道的壓敏薄膜傳感器；待測芯片，真空吸附于多個通道的壓敏薄膜傳感器表面；金屬探針，與待測芯片的電極接觸，用于在外力作用下對待測芯片施加壓力；其中，在對待測芯片的電極施加電壓的情況下，下壓金屬探針，使其對待測芯片施加壓力，此時，通過采集多個通道的壓敏薄膜傳感器的輸出信號來檢測金屬探針的壓力狀態與位置參數。
3、根據本公開的實施例，基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統還包括：傳感器信號輸出微帶線，用于輸出多個通道的壓敏薄膜傳感器的輸出信號。
4、根據本公開的實施例，載物臺設有多個真空吸附孔，用于在真空條件下吸附待測芯片。
5、根據本公開的實施例，載物臺還設有多個固定孔，用于與基座固定。
6、根據本公開的實施例，載物臺還設有多個固定槽，用于固定多個通道的壓敏薄膜傳感器。
7、根據本公開的實施例，多個通道的壓敏薄膜傳感器包括：電阻型壓敏傳感器或電容型壓敏傳感器。
8、根據本公開的實施例，多個通道的壓敏薄膜傳感器中的每個壓敏薄膜傳感器對應有一個感應單元，每個感應單元對應有一個獨立的電阻值或電容值。
9、根據本公開的實施例，在壓力p的作用下，電阻型壓敏傳感器中第i行第j列的感應單元對應的電阻變化為：
10、
11、其中，表示第i行第j列的感應單元在壓力p下的電阻，表示無壓力時的電阻，表示材料的電阻敏感系數。
12、根據本公開的實施例，在壓力p的作用下，電容型壓敏傳感器中第i行第j列的感應單元對應的電容變化為：
13、
14、其中，表示第i行第j列的感應單元在壓力p下的電容，表示無壓力時的電容，表示材料厚度變化與壓力的敏感系數。
15、根據本公開的實施例，基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統還包括：數據處理模塊，用于對多個通道的壓敏薄膜傳感器的輸出信號進行模數轉換、信號濾波以及去噪處理，并生成二維的壓力映射圖。
16、本公開實施例提供的基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，至少具有以下有益效果：
17、（1）本公開實施例提供的基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，在典型芯片經由金屬探針對半導體芯片加電測試的場景中，通過引入多通道壓敏薄膜傳感器，實現對各探針的壓力狀態與位置參數的實時檢測。
18、（2）本公開實施例提供的基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，通過采集多個通道的壓敏薄膜傳感器傳遞出的信號，經由模數轉換、信號濾波與去噪，生成二維的壓力映射圖，然后再結合實驗測定的最佳壓力值與參考位置，與映射圖中的數值比對，由此判斷探針的下壓位置和力度是否合適。通過該系統，可以實時監測各金屬探針的壓力狀態與位置參數，減少顯微觀察依賴，為半導體芯片測試、接觸質量評估提供數據支持。
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1.一種基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，其特征在于，還包括：
3.根據權利要求2所述的基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，其特征在于，所述載物臺設有多個真空吸附孔，用于在真空條件下吸附所述待測芯片。
4.根據權利要求2所述的基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，其特征在于，所述載物臺還設有多個固定孔，用于與基座固定。
5.根據權利要求2所述的基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，其特征在于，所述載物臺還設有多個固定槽，用于固定所述多個通道的壓敏薄膜傳感器。
6.根據權利要求1所述的基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，其特征在于，所述多個通道的壓敏薄膜傳感器包括：電阻型壓敏傳感器或電容型壓敏傳感器。
7.根據權利要求6所述的基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，其特征在于，所述多個通道的壓敏薄膜傳感器中的每個壓敏薄膜傳感器對應有一個感應單元，每個感應單元對應有一個獨立的電阻值或電
8.根據權利要求7所述的基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，其特征在于，在壓力P的作用下，所述電阻型壓敏傳感器中第i行第j列的感應單元對應的電阻變化為：
9.根據權利要求7所述的基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，其特征在于，在壓力P的作用下，所述電容型壓敏傳感器中第i行第j列的感應單元對應的電容變化為：
10.根據權利要求1所述的基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，其特征在于，還包括：
...【技術特征摘要】
1.一種基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，其特征在于，還包括：
3.根據權利要求2所述的基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，其特征在于，所述載物臺設有多個真空吸附孔，用于在真空條件下吸附所述待測芯片。
4.根據權利要求2所述的基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，其特征在于，所述載物臺還設有多個固定孔，用于與基座固定。
5.根據權利要求2所述的基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，其特征在于，所述載物臺還設有多個固定槽，用于固定所述多個通道的壓敏薄膜傳感器。
6.根據權利要求1所述的基于多通道壓敏薄膜傳感器的探針接觸檢測系統，其特征在于，所述...
【專利技術屬性】
技術研發人員：金亞，袁海慶，李明，祝寧華，
申請(專利權)人：中國科學院半導體研究所，
類型：發明
國別省市：
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