【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體薄膜制備，尤其涉及一種輔助液相外延碲鎘汞材料外延后的取片裝置及方法。
技術(shù)介紹
1、碲鎘汞(hgcdte)是由負(fù)禁帶寬度(eg＝-0.3ev)的化合物hgte和正禁帶寬度(eg＝1.6ev)的cdte混合而成的贗二元化合物，通過(guò)改變鎘組分可調(diào)節(jié)其禁帶寬度，使其探測(cè)范圍可以覆蓋所有的紅外波段，是目前最成功的、應(yīng)用最廣泛的紅外探測(cè)器材料。碲鎘汞材料通常使用分子束外延(mbe)法、金屬有機(jī)物汽相外延(movpe)法和液相外延(lpe)法進(jìn)行制備。
2、液相外延為準(zhǔn)平衡生長(zhǎng)，是現(xiàn)在技術(shù)最為成熟的外延方法。目前液相外延一般采用水平、垂直兩種技術(shù)路線。水平液相外延技術(shù)成熟，使用范圍廣，隨著紅外焦平面探測(cè)器規(guī)格增加，對(duì)碲鎘汞外延片可用區(qū)域的尺寸以及質(zhì)量要求逐漸提高。目前水平液相外延工藝碲鎘汞薄膜通常在高純石墨舟內(nèi)進(jìn)行，碲鋅鎘襯底放置在石墨滑條上的襯底槽內(nèi)，由于襯底厚度存在差異，通常在襯底下方放置墊片以調(diào)節(jié)高度。外延過(guò)程中通過(guò)拉舟將熔融狀態(tài)下的碲鎘汞生長(zhǎng)溶液置于碲鋅鎘襯底上方，緩慢降溫實(shí)現(xiàn)碲鎘汞外延膜在碲鋅鎘襯底上的生長(zhǎng)，待碲鎘汞外延膜生長(zhǎng)完成后，再次拉舟移除碲鎘汞生長(zhǎng)溶液，實(shí)現(xiàn)生長(zhǎng)溶液與碲鎘汞外延片的脫離。生長(zhǎng)完成后，操作人員手指抵住碲鎘汞外延片下方的墊片，向上發(fā)力使碲鎘汞外延片從襯底槽內(nèi)脫出。但是現(xiàn)有的取片方式導(dǎo)致碲鎘汞外延片裂紋或者裂片的幾率高，嚴(yán)重影響了碲鎘汞外延材料的成品率及產(chǎn)出。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種輔助液相外延碲鎘汞材料外延后的取片裝置及
2、本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種輔助液相外延碲鎘汞材料外延后的取片裝置，所述取片裝置呈條狀，包括：
3、凸起101，設(shè)置在規(guī)格調(diào)整套環(huán)103范圍內(nèi)，用于與襯底槽相抵；
4、規(guī)格調(diào)整套環(huán)103，適配于目標(biāo)碲鎘汞外延片的尺寸包括相應(yīng)的規(guī)格，用于套設(shè)在所述凸起101上；
5、側(cè)邊擋板102，設(shè)置在所述取片裝置的兩側(cè)，用于固定石墨舟滑條。
6、可選的，所述規(guī)格調(diào)整套環(huán)103的高度與凸起101的高度一致。
7、本申請(qǐng)實(shí)施例還提出一種輔助液相外延碲鎘汞材料外延后的取片方法，基于如前述的輔助液相外延碲鎘汞材料外延后的取片裝置實(shí)現(xiàn)，包括如下步驟：
8、根據(jù)碲鎘汞外延片的尺寸規(guī)格選取合適的規(guī)格調(diào)整套環(huán)103，并將調(diào)整套環(huán)103套在抵住襯底槽的凸起101上；
9、將取片裝置放在石墨舟滑條下方，通過(guò)側(cè)邊擋板102固定石墨舟滑條；
10、基于在水平于側(cè)向擋板102方向上的移動(dòng)滑條，使得抵住襯底槽的凸起101與襯底槽內(nèi)的墊片接觸，以完成定位；
11、抵住石墨舟滑條表面以及取片裝置的下表面，通過(guò)抵住襯底槽的凸起101向上擠壓碲鎘汞外延片下方的墊片，使得碲鎘汞外延片從襯底槽內(nèi)脫出。
12、可選的，選取的規(guī)格調(diào)整套環(huán)103的高度與凸起101的高度一致。
13、可選的，將調(diào)整套環(huán)103套在抵住襯底槽的凸起101上之后還包括：
14、調(diào)整規(guī)格調(diào)整套環(huán)103與抵住襯底槽的凸起101緊密貼合。
15、本申請(qǐng)實(shí)施例輔助取片裝置及取片方法能夠降低取片時(shí)出現(xiàn)裂紋、裂片的概率，保證碲鎘汞外延片的完整性。
16、上述說(shuō)明僅是本申請(qǐng)技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本申請(qǐng)的技術(shù)手段，而可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本申請(qǐng)的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉本申請(qǐng)的具體實(shí)施方式。
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1.一種輔助液相外延碲鎘汞材料外延后的取片裝置，其特征在于，所述取片裝置呈條狀，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的輔助液相外延碲鎘汞材料外延后的取片裝置，其特征在于，所述規(guī)格調(diào)整套環(huán)(103)的高度與凸起(101)的高度一致。
3.一種輔助液相外延碲鎘汞材料外延后的取片方法，其特征在于，基于如權(quán)利要求1或2所述的輔助液相外延碲鎘汞材料外延后的取片裝置實(shí)現(xiàn)，包括如下步驟：
4.如權(quán)利要求3所述的一種輔助液相外延碲鎘汞材料外延后的取片方法，其特征在于，選取的規(guī)格調(diào)整套環(huán)(103)的高度與凸起(101)的高度一致。
5.如權(quán)利要求3所述的一種輔助液相外延碲鎘汞材料外延后的取片方法，其特征在于，將調(diào)整套環(huán)(103)套在抵住襯底槽的凸起(101)上之后還包括：
【技術(shù)特征摘要】
1.一種輔助液相外延碲鎘汞材料外延后的取片裝置，其特征在于，所述取片裝置呈條狀，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的輔助液相外延碲鎘汞材料外延后的取片裝置，其特征在于，所述規(guī)格調(diào)整套環(huán)(103)的高度與凸起(101)的高度一致。
3.一種輔助液相外延碲鎘汞材料外延后的取片方法，其特征在于，基于如權(quán)利要求1或2所述的輔助液相外延碲鎘汞...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：胡易林，邢曉帥，楊海燕，楊美華，王利軍，武彬，郝斐，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十一研究所，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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