【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體設(shè)備裝機，具體涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置。
技術(shù)介紹
1、特氣管道安裝是半導(dǎo)體設(shè)備裝機過程中的一個關(guān)鍵環(huán)節(jié)，它不僅涉及到氣體的純度和穩(wěn)定性，還與安全生產(chǎn)、成本效益以及工藝適配性密切相關(guān)。
2、當(dāng)前，多數(shù)機臺需要在設(shè)備到場之后才能進行特氣管道的最終定位安裝，這一現(xiàn)象主要是由于半導(dǎo)體制造工藝復(fù)雜性和對環(huán)境條件的高度敏感性所決定的。為了確保特氣系統(tǒng)的高純度氣體供應(yīng)，必須盡量減少從氣源到用氣點之間的污染機會，這就要求特氣管道的安裝盡可能貼近實際使用場景，并且要根據(jù)具體設(shè)備的位置進行精確調(diào)整。此外，預(yù)先配管往往基于設(shè)計圖紙或預(yù)估的設(shè)備布局，然而實際到場的設(shè)備可能會因為尺寸差異、接口位置變動等因素導(dǎo)致預(yù)設(shè)管道與實際情況不符，從而影響裝機效率和配管精度。這種情況下，如果提前進行了大量的固定安裝工作，則可能造成材料浪費和額外的時間成本來重新規(guī)劃管道路徑。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)的目的在于提供一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置，解決了半導(dǎo)體設(shè)備機臺未到裝機現(xiàn)場前無法精準配管的問題。
2、本專利技術(shù)的目的可以通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：
3、一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置，包括為特氣管道走向提供參照面的模具，所述模具的一側(cè)方向設(shè)置有用于調(diào)整特氣管道空間位置及傾斜角度的調(diào)節(jié)機構(gòu)；
4、所述調(diào)節(jié)機構(gòu)包括支撐架、安裝板、管道接頭、平移機構(gòu)和轉(zhuǎn)動機構(gòu)，所述管道接頭設(shè)置在安裝板的側(cè)壁處，且所述管道接頭用于與特氣
5、作為本專利技術(shù)進一步的方案：還包括設(shè)置在模具一端方向處的臨時固定架，所述臨時固定架包括基板、伸縮架、懸臂組件和固定管夾，所述伸縮架固定安裝在基板的頂部，所述懸臂組件與伸縮架連接，所述固定管夾安裝在懸臂組件的端部下表面，且所述固定管夾用于固定特氣管道。
6、作為本專利技術(shù)進一步的方案：所述支撐架包括頂板、框架、底板和基座，所述頂板和底板分別連接在框架的頂端和底端，所述基座連接在底板的底部。
7、作為本專利技術(shù)進一步的方案：所述轉(zhuǎn)動機構(gòu)包括轉(zhuǎn)盤、托盤、轉(zhuǎn)銷、支撐座和支撐桿，兩個所述支撐座對稱安裝在頂板的頂部，所述轉(zhuǎn)銷穿過兩個支撐座并與其轉(zhuǎn)動連接，所述托盤通過支撐桿與轉(zhuǎn)銷靠近兩端的頂部連接，所述轉(zhuǎn)盤與托盤轉(zhuǎn)動套接。
8、作為本專利技術(shù)進一步的方案：所述安裝板的一側(cè)固定安裝有l(wèi)形板，所述l形板的端部設(shè)置有u形口，且所述u形口內(nèi)轉(zhuǎn)動安裝有角度可調(diào)節(jié)的激光光源。
9、作為本專利技術(shù)進一步的方案：所述平移機構(gòu)包括固定座、下移動板、上移動板、t形塊以及帶通槽的安裝架，所述固定座固定安裝在轉(zhuǎn)盤頂部，所述下移動板與固定座滑動連接，所述上移動板與下移動板滑動連接，所述安裝架連接在上移動板的頂部，所述通槽開設(shè)在安裝架靠近安裝板的一側(cè)，所述t形塊滑動安裝在安裝架內(nèi)，且所述t形塊的一端穿過通槽與安裝板連接。
10、作為本專利技術(shù)進一步的方案：所述轉(zhuǎn)動機構(gòu)還包括鎖緊螺母和定位螺栓，所述轉(zhuǎn)銷靠近兩端的位置處設(shè)置有與鎖緊螺母相適應(yīng)的外螺紋，且所述鎖緊螺母與轉(zhuǎn)銷螺紋套接，所述定位螺栓安裝在轉(zhuǎn)盤頂部，且所述定位螺栓用于抵緊托盤的頂部。
11、作為本專利技術(shù)進一步的方案：所述平移機構(gòu)還包括第一螺桿、第二螺桿和第三螺桿，所述固定座的一側(cè)安裝有第一l形架，所述第一螺桿的一端與下移動板轉(zhuǎn)動連接，且所述第一螺桿與第一l形架螺紋連接，所述下移動板的一側(cè)安裝有第二l形架，所述第二螺桿的一端與上移動板轉(zhuǎn)動連接，且所述第二螺桿與第二l形架螺紋連接，所述第三螺桿的一端與t形塊頂部轉(zhuǎn)動連接，且所述第三螺桿與安裝架頂部螺紋連接。
12、作為本專利技術(shù)進一步的方案：所述懸臂組件包括橫梁、開口夾套、緊固螺栓和加強柱，所述加強柱安裝在伸縮架靠近頂端的側(cè)壁處，兩個所述開口夾套分別與加強柱和伸縮架的端部連接，所述橫梁穿過開口夾套設(shè)置。
13、作為本專利技術(shù)進一步的方案：所述橫梁遠離固定管夾的端部下表面安裝有配重塊，所述橫梁遠離配重塊的端部下表面安裝有調(diào)節(jié)螺桿，所述調(diào)節(jié)螺桿通過軸承座與固定管夾的頂部相連接。
14、本專利技術(shù)的有益效果：
15、1、本專利技術(shù)中，通過模具方便模擬機臺位置，方便為特氣管道走向提供參照面，做好后續(xù)裝管避讓，利用平移機構(gòu)方便調(diào)節(jié)安裝板進行xyz三軸方向的平移，利用轉(zhuǎn)動機構(gòu)方便安裝板實現(xiàn)xyz三軸方向的轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)，從而可根據(jù)實際需要精調(diào)管道接頭的位置，利用管道接頭方便其與特氣管道的對接，從而實現(xiàn)特氣配管道空間位置及傾斜角度的調(diào)節(jié)。
16、2、本專利技術(shù)中，通過設(shè)計模擬機臺的模具，并根據(jù)設(shè)備原廠圖配好相應(yīng)位置的管道接頭，從而可以實現(xiàn)特氣管道預(yù)先配管。當(dāng)機臺實際到達后，可以迅速且精準地將特氣管道與設(shè)備對接，從而大大節(jié)省時間成本，提高了整個裝機過程的效率和準確性。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護點】
1.一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置，包括為特氣管道(1)走向提供參照面的模具(2)，其特征在于，所述模具(2)的一側(cè)方向設(shè)置有用于調(diào)整特氣管道(1)空間位置及傾斜角度的調(diào)節(jié)機構(gòu)(3)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置，其特征在于，還包括設(shè)置在模具(2)一端方向處的臨時固定架(4)，所述臨時固定架(4)包括基板(41)、伸縮架(42)、懸臂組件(43)和固定管夾(44)，所述伸縮架(42)固定安裝在基板(41)的頂部，所述懸臂組件(43)與伸縮架(42)連接，所述固定管夾(44)安裝在懸臂組件(43)的端部下表面，且所述固定管夾(44)用于固定特氣管道(1)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置，其特征在于，所述支撐架(31)包括頂板(311)、框架(312)、底板(313)和基座(314)，所述頂板(311)和底板(313)分別連接在框架(312)的頂端和底端，所述基座(314)連接在底板(313)的底部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置，其特征在于，所述安裝板(32)的一側(cè)固定安裝有L形板(5)，所述L形板(5)的端部設(shè)置有U形口，且所述U形口內(nèi)轉(zhuǎn)動安裝有角度可調(diào)節(jié)的激光光源(6)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置，其特征在于，所述平移機構(gòu)(34)包括固定座(341)、下移動板(342)、上移動板(343)、T形塊(344)以及帶通槽(345)的安裝架(346)，所述固定座(341)固定安裝在轉(zhuǎn)盤(351)頂部，所述下移動板(342)與固定座(341)滑動連接，所述上移動板(343)與下移動板(342)滑動連接，所述安裝架(346)連接在上移動板(343)的頂部，所述通槽(345)開設(shè)在安裝架(346)靠近安裝板(32)的一側(cè)，所述T形塊(344)滑動安裝在安裝架(346)內(nèi)，且所述T形塊(344)的一端穿過通槽(345)與安裝板(32)連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動機構(gòu)(35)還包括鎖緊螺母(356)和定位螺栓(357)，所述轉(zhuǎn)銷(353)靠近兩端的位置處設(shè)置有與鎖緊螺母(356)相適應(yīng)的外螺紋，且所述鎖緊螺母(356)與轉(zhuǎn)銷(353)螺紋套接，所述定位螺栓(357)安裝在轉(zhuǎn)盤(351)頂部，且所述定位螺栓(357)用于抵緊托盤(352)的頂部。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置，其特征在于，所述平移機構(gòu)(34)還包括第一螺桿(347)、第二螺桿(348)和第三螺桿(349)，所述固定座(341)的一側(cè)安裝有第一L形架，所述第一螺桿(347)的一端與下移動板(342)轉(zhuǎn)動連接，且所述第一螺桿(347)與第一L形架螺紋連接，所述下移動板(342)的一側(cè)安裝有第二L形架，所述第二螺桿(348)的一端與上移動板(343)轉(zhuǎn)動連接，且所述第二螺桿(348)與第二L形架螺紋連接，所述第三螺桿(349)的一端與T形塊(344)頂部轉(zhuǎn)動連接，且所述第三螺桿(349)與安裝架(346)頂部螺紋連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置，其特征在于，所述懸臂組件(43)包括橫梁(431)、開口夾套(432)、緊固螺栓(433)和加強柱(434)，所述加強柱(434)安裝在伸縮架(42)靠近頂端的側(cè)壁處，兩個所述開口夾套(432)分別與加強柱(434)和伸縮架(42)的端部連接，所述橫梁(431)穿過開口夾套(432)設(shè)置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置，其特征在于，所述橫梁(431)遠離固定管夾(44)的端部下表面安裝有配重塊(7)，所述橫梁(431)遠離配重塊(7)的端部下表面安裝有調(diào)節(jié)螺桿(8)，所述調(diào)節(jié)螺桿(8)通過軸承座與固定管夾(44)的頂部相連接。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置，包括為特氣管道(1)走向提供參照面的模具(2)，其特征在于，所述模具(2)的一側(cè)方向設(shè)置有用于調(diào)整特氣管道(1)空間位置及傾斜角度的調(diào)節(jié)機構(gòu)(3)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置，其特征在于，還包括設(shè)置在模具(2)一端方向處的臨時固定架(4)，所述臨時固定架(4)包括基板(41)、伸縮架(42)、懸臂組件(43)和固定管夾(44)，所述伸縮架(42)固定安裝在基板(41)的頂部，所述懸臂組件(43)與伸縮架(42)連接，所述固定管夾(44)安裝在懸臂組件(43)的端部下表面，且所述固定管夾(44)用于固定特氣管道(1)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置，其特征在于，所述支撐架(31)包括頂板(311)、框架(312)、底板(313)和基座(314)，所述頂板(311)和底板(313)分別連接在框架(312)的頂端和底端，所述基座(314)連接在底板(313)的底部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動機構(gòu)(35)包括轉(zhuǎn)盤(351)、托盤(352)、轉(zhuǎn)銷(353)、支撐座(354)和支撐桿(355)，兩個所述支撐座(354)對稱安裝在頂板(311)的頂部，所述轉(zhuǎn)銷(353)穿過兩個支撐座(354)并與其轉(zhuǎn)動連接，所述托盤(352)通過支撐桿(355)與轉(zhuǎn)銷(353)靠近兩端的頂部連接，所述轉(zhuǎn)盤(351)與托盤(352)轉(zhuǎn)動套接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置，其特征在于，所述安裝板(32)的一側(cè)固定安裝有l(wèi)形板(5)，所述l形板(5)的端部設(shè)置有u形口，且所述u形口內(nèi)轉(zhuǎn)動安裝有角度可調(diào)節(jié)的激光光源(6)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備裝機用的預(yù)配管定位安裝裝置，其特征在于，所述平移機構(gòu)(34)包括固定座(341)、下移動板(342)、上移動板(343)、t形塊(344)以及帶通槽(345)的安裝架(346)，所述固定座(341)固定安裝在轉(zhuǎn)盤(351)頂部，所述下移動板(342)與固定座(341)滑動連接，所述上移動板...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：趙江民，袁和，
申請(專利權(quán))人：合肥玖福半導(dǎo)體技術(shù)有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
還沒有人留言評論。發(fā)表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。