【技術實現步驟摘要】
本專利技術實施例涉及光刻膠，特別是涉及一種zn基有機配位納米顆粒及其制備方法、光刻膠組合物及其應用。
技術介紹
1、光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料。它通常由光引發劑、光刻膠樹脂、溶材料劑、單體和其他助劑組成。其中，光引發劑是一類能在紫外光區(250～420nm)或可見光區(400～800nm)吸收一定波長的能量，產生自由基、陽離子等，從而引發單體聚合或聚合物分解的化合物。一直以來，傳統的光刻膠和近幾年廣泛研究的金屬基光刻膠，都需要在光引發劑的作用下，發生化學變化，進而產生溶解度變化。
2、但是，光子需要首先被光引發劑吸收發生分解，然后光引發劑產物再和光刻膠樹脂反應，為了保證光引發劑在溶劑中的溶解度，光引發劑的添加量有限，因此曝光效率低、光刻膠靈敏度低，大大影響了生產效率。此外，光引發劑化學性質不穩定、價格昂貴，因此增加了生產過程中的成本和難度。
技術實現思路
1、基于此，有必要針對傳統光刻膠曝光效率低且成本高的問題，提出一種新的zn基有機配位納米顆粒及其制備方法、包含其的光刻膠組合物及其應用。
2、本專利技術一方面，提供一種zn基有機配位納米顆粒，采用如下制備方法獲得：
3、將含鋅化合物、含氮有機配體以及a化合物在有機溶劑中混合攪拌后進行后處理得到，所述a化合物為苯甲酰甲酸及其衍生物。
4、可選的，所述a化合物相對于所述含鋅化合物的摩爾百分比范圍為≥2:1。
5、可選的，所述a化合物為通式(ⅰ)所示的化合物，其
6、可選的，所述通式(ⅰ)所示的化合物的結構式為
7、可選的，所述含氮有機配體選自二乙胺、四氫吡咯、哌啶或二異丙基乙胺，所述含鋅化合物選自醋酸鋅、二水合醋酸鋅、氯化鋅或硫酸鋅。
8、本專利技術另一方面，提供一種zn基有機配位納米顆粒的制備方法，包括如下步驟：
9、將含鋅化合物、含氮有機配體以及a化合物在有機溶劑中混合攪拌，得到澄清溶液，所述a化合物為苯甲酰甲酸及其衍生物；
10、對所述澄清溶液進行后處理，所述后處理包括：在50℃下攪拌6h-24h，然后用旋蒸儀真空旋蒸1h，再在真空烘箱中50℃真空烘干5h。
11、可選的，所述a化合物相對于所述含鋅化合物的摩爾百分比范圍為≥2:1。
12、可選的，所述含氮有機配體選自二乙胺、四氫吡咯、哌啶或二異丙基乙胺等有機胺；所述含鋅化合物選自醋酸鋅、二水合醋酸鋅、氯化鋅或硫酸鋅。
13、本專利技術另一方面，提供一種光刻膠組合物，包括前述的納米顆粒。
14、可選的，光刻膠組合物還包括有機分散溶劑，所述有機分散溶劑選自乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇單乙醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、1-乙氧基-2丙醇、甲醇、乙醇、丙醇中的任意一種或多種。
15、可選的，所述zn基有基配位納米顆粒的固含量范圍為1wt％～10wt％。
16、本專利技術另一方面，提供一種光刻方法，采用前述的光刻膠組合物，將所述光刻膠組合物滴加到基底，旋轉，加熱，再用電子束、中紫外、深紫外或極紫外曝光，采用顯影劑顯影。
17、可選的，中紫外下曝光劑量為5mj/cm2～500mj/cm2。
18、可選的，所述顯影劑選自茚、茚滿、喹啉、1-甲基萘、甲苯、鄰二甲苯、間二甲苯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、異丙醇、乙醇、正丙醇、四氫化萘、十氫化萘、正丁醇、正己烷及環己烷中的任意一種或多種的混合物，顯影溫度為20℃～50℃。
19、本專利技術另一方面，提供一種zn基有機配位納米顆粒的用途，用于光刻膠領域，包括電子束、中紫外、深紫外或極紫外光刻膠。
20、本專利技術實施例提供的zn基有機配位納米顆粒光刻膠，一方面，可以在沒有光引發劑的條件下，通過光刻膠結構中的苯甲酰甲酸吸收光子自引發，直接獲得曝光圖形，從而提高了曝光效率；另一方面，本專利技術提供的zn基有機配位納米顆粒光刻膠中不含光引發劑，降低了生產過程中的成本。
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1.一種Zn基有機配位納米顆粒，其特征在于，采用如下制備方法獲得：
2.如權利要求1所述的Zn基有機配位納米顆粒，其特征在于，所述A化合物相對于所述含鋅化合物的摩爾百分比范圍為≥2:1。
3.如權利要求2所述的Zn基有機配位納米顆粒，其特征在于，所述A化合物為通式(Ⅰ)所示的化合物，其中，R1、
4.如權利要求3所述的Zn基有機配位納米顆粒，其特征在于，所述通式(Ⅰ)所示的化合物的結構式為
5.如權利要求1-4任一項所述的Zn基有機配位納米顆粒，其特征在于，所述含氮有機配體選自二乙胺、四氫吡咯、哌啶或二異丙基乙胺，所述含鋅化合物選自醋酸鋅、二水合醋酸鋅、氯化鋅或硫酸鋅。
6.一種Zn基有機配位納米顆粒的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
7.如權利要求6所述的Zn基有機配位納米顆粒的制備方法，其特征在于，所述A化合物相對于所述含鋅化合物的摩爾百分比范圍為≥2:1。
8.如權利要求6所述的Zn基有機配位納米顆粒的制備方法，其特征在于，所述含氮有機配體選自二乙胺、四氫吡咯、哌啶或二異丙基乙胺；>
9.一種光刻膠組合物，其特征在于，包括權利要求1-5任一項所述的Zn基有機配位納米顆粒。
10.如權利要求9所述的光刻膠組合物，其特征在于，還包括有機分散溶劑，所述有機分散溶劑選自乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇單乙醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、1-乙氧基-2丙醇、甲醇、乙醇、丙醇中的任意一種或多種。
11.如權利要求10所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述Zn基有基配位納米顆粒的固含量范圍為1wt％～10wt％。
12.一種光刻方法，其特征在于，采用權利要求9-11任一項所述的光刻膠組合物，將所述光刻膠組合物滴加到基底，旋轉，加熱，再用電子束、中紫外、深紫外或極紫外曝光，采用顯影劑顯影。
13.根據權利要求12所述的光刻方法，其特征在于，中紫外下曝光劑量為5mJ/cm2～500mJ/cm2。
14.根據權利要求12所述的光刻方法，其特征在于，所述顯影劑選自茚、茚滿、喹啉、1-甲基萘、甲苯、鄰二甲苯、間二甲苯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙醇、正丙醇、異丙醇、四氫化萘、十氫化萘、正丁醇、正己烷及環己烷中的任意一種或多種的混合物，顯影溫度為20℃～50℃。
15.根據權利要求1-5任一項所述的Zn基有機配位納米顆粒的用途，其特征在于，用于光刻膠領域，包括電子束、中紫外、深紫外或極紫外光刻膠。
...【技術特征摘要】
1.一種zn基有機配位納米顆粒，其特征在于，采用如下制備方法獲得：
2.如權利要求1所述的zn基有機配位納米顆粒，其特征在于，所述a化合物相對于所述含鋅化合物的摩爾百分比范圍為≥2:1。
3.如權利要求2所述的zn基有機配位納米顆粒，其特征在于，所述a化合物為通式(ⅰ)所示的化合物，其中，r1、
4.如權利要求3所述的zn基有機配位納米顆粒，其特征在于，所述通式(ⅰ)所示的化合物的結構式為
5.如權利要求1-4任一項所述的zn基有機配位納米顆粒，其特征在于，所述含氮有機配體選自二乙胺、四氫吡咯、哌啶或二異丙基乙胺，所述含鋅化合物選自醋酸鋅、二水合醋酸鋅、氯化鋅或硫酸鋅。
6.一種zn基有機配位納米顆粒的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
7.如權利要求6所述的zn基有機配位納米顆粒的制備方法，其特征在于，所述a化合物相對于所述含鋅化合物的摩爾百分比范圍為≥2:1。
8.如權利要求6所述的zn基有機配位納米顆粒的制備方法，其特征在于，所述含氮有機配體選自二乙胺、四氫吡咯、哌啶或二異丙基乙胺；
9.一種光刻膠組合物，其特征在于，包括權利要求1-5任一項所述的zn基有機配位納...
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